วาล์วประตูสําหรับระบบสุญญากาศ

วาล์วประตู VAT เพื่อการป้องกันการรั่วไหลสูงและโดยรวม

ทําไมต้องเลือกวาล์วประตู

วาล์วประตูมีลิ่มที่เรียบง่ายแต่เป็นนวัตกรรม กลไกการซีลแบบไร้จาระบี โครงสร้างสเตนเลสสตีล และการออกแบบที่ทนทาน

วาล์วเหล่านี้เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการใช้งานที่มีผลพลอยได้จากกระบวนการในระดับสูงในกระแสก๊าซ ซึ่งเป็นวาล์วที่มีอายุการใช้งานยาวนานและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน

วาล์วประตูแบบแมนนวล BGV

วาล์วประตู BGV เป็นวาล์วประตูสเตนเลสสตีลแบบซีลกันรั่วสําหรับการใช้งานที่ต้องการการป้องกันการรั่วไหลสูงและมีไฮโดรคาร์บอนน้อยที่สุดในระบบสุญญากาศ แม้ว่าส่วนใหญ่แล้วออกแบบมาเพื่อแยกปั๊มในชั้นใต้ดินของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แต่วาล์วเกต BGV ยังเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการใช้งานอื่นๆ ที่ต้องการความแตกต่าง 1 บาร์เมื่อเปิด

ออกแบบมาเพื่อใช้ในช่วงแรงดันตั้งแต่ 1.2 บาร์สัมบูรณ์ถึง 1 x 10 ^-8 mbar (1.2 x 105 ถึง 1x10 ^-6 Pa) วาล์วประตู BGV จะทนต่อแรงดันสัมบูรณ์ 1.2 บาร์ในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง ทําให้สามารถระบายอากาศออกจากท่อสุญญากาศเหนือปั๊มได้เมื่อวาล์วปิดอยู่ วาล์วแมนนวล BGV มีตัวบ่งชี้ตําแหน่งประตูแบบมองเห็นได้ที่ด้านข้างของชุดประกอบเพื่อแสดงเมื่อเปิดอยู่

สามารถทนต่อแรงดันสัมบูรณ์ 1.2 บาร์ในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง หลีกเลี่ยงปัญหาการรีสตาร์ทโดยให้ปั๊มทํางานต่อไปในระหว่างการบํารุงรักษา
โครงสร้างสเตนเลสสตีลและการออกแบบที่ทนทาน
- อายุการใช้งานยาวนานและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน
โซลินอยด์วาล์วนิวเมติกและตัวเลือกการเดินสายล่วงหน้า
- การติดตั้งแบบ 'เสียบปลั๊กแล้วใช้งานได้ทันที' ที่กําหนดค่าไว้ล่วงหน้าอย่างง่ายดาย
กลไกการซีลที่เรียบง่ายและไม่ต้องใช้จาระบี ลดความเสียหายจากอนุภาคในกระบวนการที่มีฝุ่นมาก

วาล์วประตูแบบแมนนวล BGV

วาล์วประตูนิวเมติก BGV MK3

วาล์วประตูนิวแมติก BGV Mk3 ทํางานในลักษณะเดียวกับวาล์วประตูแบบแมนนวล อย่างไรก็ตาม วาล์วนิวแมติกมีสวิตช์ Reed ซึ่งอุปกรณ์ควบคุมของคุณสามารถใช้เพื่อระบุว่าวาล์วเปิดหรือปิดอยู่หรือไม่ นอกจากนี้ยังมีไฟ LED แสดงตําแหน่งวาล์วด้วย

วาล์วนิวแมติก BGV Mk3 แต่ละตัวจะติดตั้งโซลินอยด์ 24V d.c. และปลั๊กที่ต่อสายไว้ล่วงหน้าสําหรับการเชื่อมต่อโดยตรงกับปั๊มสุญญากาศรุ่นล่าสุดของ Edwards (iHH, iXL, iXM และ GXS) ปลั๊กซ็อกเก็ต D-sub แบบ 15 ขานี้มีจุดเชื่อมต่อเดียวสําหรับทั้งพลังงานไปยังโซลินอยด์และไฟ LED ที่เปิดใช้งานจากไฟแสดงสถานะตําแหน่งสวิตช์รีด สายเคเบิลซ็อกเก็ต "D" แบบ 15 ช่องและตัวบ่งชี้ตําแหน่งสวิตช์รีดจะมาพร้อมกับวาล์ว BGV เป็นอุปกรณ์เสริม อย่างไรก็ตาม ความยาวของสายเคเบิลอยู่ที่ประมาณ 50 ซม. และจําเป็นต้องใช้สายต่อขยายที่ยาวขึ้นเพื่อเชื่อมต่อกับปั๊มหรือตัวควบคุมในเครื่อง    

ในการเชื่อมต่อวาล์วนิวเมติก BGV Mk3 กับผลิตภัณฑ์เดิมของ Edwards ควรใช้สายเคเบิลอินเทอร์เฟซ TIM BGV Mk2 ฟังก์ชันการทํางานของไฟ LED ไม่สามารถใช้ได้กับผลิตภัณฑ์รุ่นเก่า (iGX, GX หรือ iQ และ iH ผ่านโมดูล iTIM) เนื่องจากปั๊มไม่ได้จ่ายไฟ DC 24V เพื่อเปิดใช้งานไฟ LED อย่างไรก็ตาม ฟังก์ชันพื้นฐานของตัวบ่งชี้ตําแหน่งวาล์วจะทํางานทั้งแบบเปิดและปิด เนื่องจากไม่จําเป็นต้องใช้พลังงาน และถูกกระตุ้นโดยสนามแม่เหล็ก

สามารถทนต่อแรงดันสัมบูรณ์ 1.2 บาร์ในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง หลีกเลี่ยงปัญหาการรีสตาร์ทโดยให้ปั๊มทํางานต่อไปในระหว่างการบํารุงรักษา
โครงสร้างสเตนเลสสตีลและการออกแบบที่ทนทาน อายุการใช้งานยาวนานและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน
โซลินอยด์วาล์วนิวเมติกและตัวเลือกการเดินสายล่วงหน้า
การติดตั้งแบบ 'เสียบปลั๊กแล้วใช้งานได้ทันที' ที่กําหนดค่าไว้ล่วงหน้าอย่างง่ายดาย
กลไกการซีลที่เรียบง่ายและไม่ต้องใช้จาระบี ลดความเสียหายจากอนุภาคในกระบวนการที่มีฝุ่นมาก
นอกจากนี้ยังมีเวอร์ชัน Lock Out Tag Out (LOTO) อีกด้วย

วาล์วเกต BGV แบบแมนนวลและแบบนิวแมติกทํางานอย่างไร

กลไกการปิดผนึกแบบลิ่มที่เรียบง่ายแต่เป็นนวัตกรรมใหม่ ประกอบด้วยตัวเลื่อน PEEK ทําให้วาล์วเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการใช้งานที่มีผลพลอยได้จากกระบวนการในระดับสูงในกระแสก๊าซ:

ไม่มีน้ํามัน จาระบี หรือชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ซับซ้อนภายในวาล์ว จึงขจัดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายต่อกลไกเนื่องจากการปนเปื้อนจากเศษวัสดุในกระบวนการ
ตัวเลื่อน PEEK ไม่มีการสัมผัสโลหะกับโลหะและทําหน้าที่ควบคุมการบีบอัดของโอริง
เมื่อประตูปิด แปรงโอริงจะข้ามผิวหน้าสัมผัสซีลสั้นๆ ก่อนที่ประตูจะปิดผนึก ซึ่งจะช่วยทําความสะอาดเศษวัสดุออกจากผิวหน้าสัมผัสซีล ทําให้การปิดผนึกดีขึ้น

วาล์วประตูสเตนเลสสตีล BGV พร้อมคุณสมบัติความปลอดภัย LOTO

วาล์วประตูนิวแมติก BGV LOTO มีประโยชน์ทั้งหมดของกลุ่มผลิตภัณฑ์ BGV มาตรฐาน พร้อมคุณสมบัติความปลอดภัย LOTO และพลังงานต่ํา 

วาล์วประตู BGV LOTO เป็นวาล์วประตูสเตนเลสสตีลแบบซีลกันรั่วสําหรับการใช้งานที่ต้องการการป้องกันการรั่วไหลสูงและมีไฮโดรคาร์บอนน้อยที่สุดในระบบสุญญากาศ แม้ว่าส่วนใหญ่ออกแบบมาเพื่อแยกปั๊มในชั้นใต้ดินของโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แต่วาล์ว BGV ยังเหมาะสําหรับการใช้งานอื่นๆ ที่ต้องการความแตกต่าง 1 บาร์เมื่อเปิด

กลไกความปลอดภัย Lock-Out-Tag-Out (LOTO) ที่เป็นเอกลักษณ์ช่วยให้บุคลากรสามารถทํางานกับระบบสุญญากาศได้อย่างอิสระโดยไม่ต้องกลัวว่าวาล์วจะเปิดโดยไม่ได้ตั้งใจ วาล์วถูกยึดไว้ในตําแหน่งปิดโดยใช้สลักเพื่อล็อควาล์วปิดเพื่อป้องกันไม่ให้เปิด หากจําเป็นต้องล็อควาล์วให้ปิดอยู่ สามารถใส่สลักล็อคเข้าไปในพิน LOTO และล็อคด้วยกุญแจล็อคได้      

ออกแบบมาเพื่อใช้ในช่วงแรงดันตั้งแต่ 1.2 บาร์สัมบูรณ์ถึง 1 x 10 ^-9 mbar (1.2 x 105 ถึง 1x10 ^-7Pa) วาล์ว BGV จะทนต่อแรงดันสัมบูรณ์ 1.2 บาร์ในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง ทําให้สามารถระบายอากาศออกจากท่อสุญญากาศเหนือปั๊มได้เมื่อวาล์วปิดอยู่

ความต้องการกระตุ้นกําลังไฟต่ําเพียง 1 W ช่วยให้สามารถเชื่อมต่อโดยตรงกับปั๊มแห้งรุ่นล่าสุดของ Edwards โดยไม่ต้องมีแหล่งจ่ายไฟภายนอกเพิ่มเติมใดๆ และช่วยให้ติดตั้งได้ง่ายแบบ 'เสียบปลั๊กแล้วใช้งานได้ทันที

สวิตช์รีดสามารถใช้โดยอุปกรณ์ควบคุมของคุณเพื่อระบุว่าวาล์วเปิดหรือปิดอยู่หรือไม่ นอกจากนี้ยังมีไฟ LED เพื่อแสดงตําแหน่งวาล์วด้วยภาพ วาล์วแต่ละตัวจะติดตั้งโซลินอยด์ 24V d.c. และปลั๊กที่ต่อสายไว้ล่วงหน้าเพื่อการเชื่อมต่อโดยตรงกับปั๊มสุญญากาศรุ่นล่าสุดของ Edwards ปลั๊กซ็อกเก็ต "D" แบบ 15 ขั้วนี้มีจุดเชื่อมต่อเดียวสําหรับทั้งกระแสไฟไปยังโซลินอยด์และสัญญาณจากตัวบ่งชี้ตําแหน่งสวิตช์รีด สายเคเบิลซ็อกเก็ต "D" แบบ 15 ขั้วและไฟแสดงสถานะตําแหน่งสวิตช์รีดจะมาพร้อมกับวาล์ว BGV เป็นอุปกรณ์เสริม อย่างไรก็ตาม ความยาวของสายเคเบิลอยู่ที่ประมาณ 50 ซม. และจําเป็นต้องใช้สายต่อขยายที่ยาวขึ้นเพื่อเชื่อมต่อกับปั๊มหรือตัวควบคุมในเครื่อง   

ในการเชื่อมต่อวาล์วนิวเมติก BGV LOTO กับผลิตภัณฑ์เดิมของ Edwards ควรใช้สายเคเบิลอินเทอร์เฟซ BGV TIM ฟังก์ชันการทํางานของไฟ LED ไม่สามารถใช้ได้กับผลิตภัณฑ์รุ่นเก่า เนื่องจากปั๊มไม่ได้จ่ายไฟ DC 24V เพื่อเปิดใช้งานไฟ LED

ความปลอดภัย LOTO สเตนเลสสตีล BGV

วาล์วเกตสเตนเลสสตีล BGV ที่มีคุณสมบัติความปลอดภัย LOTO ทํางานอย่างไร

กลไกการปิดผนึกแบบลิ่มที่เรียบง่ายแต่เป็นนวัตกรรมใหม่ซึ่งรวมตัวเลื่อน PEEK เข้าด้วยกันทําให้วาล์วเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการใช้งานที่มีระดับกระบวนการสูงโดยผลิตภัณฑ์ในกระแสก๊าซ: 

ไม่มีน้ํามัน จาระบี หรือชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ซับซ้อนภายในวาล์ว ช่วยลดความเสี่ยงที่กลไกจะเสียหายเนื่องจากการปนเปื้อนจากเศษวัสดุในกระบวนการ 
ตัวเลื่อน PEEK ไม่มีการสัมผัสโลหะกับโลหะและทําหน้าที่ควบคุมการบีบอัดของโอริง 
เมื่อประตูปิด แปรงโอริงจะข้ามผิวหน้าสัมผัสซีลสั้นๆ ก่อนที่ประตูจะปิดผนึก ซึ่งจะช่วยทําความสะอาดเศษวัสดุออกจากผิวหน้าสัมผัสซีล ทําให้การปิดผนึกดีขึ้น 
วาล์ว LOTO สามารถล็อกปิดได้อย่างปลอดภัย การจัดหาสภาพแวดล้อมการทํางานที่ปลอดภัยในระหว่างการบํารุงรักษา 
การกระตุ้นพลังงานต่ําเพียง 1 W การเชื่อมต่อโดยตรงกับปั๊มแห้งรุ่นล่าสุดของ Edwards 
สามารถทนต่อแรงดันสัมบูรณ์ 1.2 บาร์ในทิศทางใดทิศทางหนึ่ง การปล่อยให้ปั๊มทํางานต่อไปในระหว่างการบํารุงรักษา 
โซลินอยด์วาล์วนิวเมติกและตัวเลือกการเดินสายล่วงหน้า การติดตั้งแบบเสียบปลั๊กแล้วใช้งานได้ทันทีที่กําหนดค่าไว้ล่วงหน้า 
โครงสร้างสเตนเลสสตีลและการออกแบบที่ทนทาน อายุการใช้งานยาวนานและความน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบัน 
กลไกการซีลที่เรียบง่ายและไม่ต้องใช้จาระบี ลดความเสียหายจากอนุภาคในกระบวนการที่มีฝุ่นมาก

เมื่อใช้วาล์วนิวเมติก BGV LOTO

วาล์วนิวแมติก BGV LOTO สามารถเสียบเข้ากับปั๊มสุญญากาศแบบแห้งรุ่นล่าสุดของเราได้โดยตรง ซึ่งช่วยให้ทํางานได้อย่างเต็มรูปแบบ ผลิตภัณฑ์รุ่นล่าสุดประกอบด้วย: ปั๊ม iXH, iXL, iXM และ GXS  

ในการเชื่อมต่อวาล์วนิวเมติก BGV LOTO กับผลิตภัณฑ์เก่าของเรา ควรใช้สายเคเบิลอินเตอร์เฟซ BGV Mk2 TIM ผลิตภัณฑ์เดิมประกอบด้วย: ปั๊ม iGX, GX (หรือ iQ และ iH ผ่านโมดูล iTIM)

วาล์วประตู HVA สําหรับสุญญากาศสูงพิเศษและอุณหภูมิการอบสูง

GV1040M

วาล์วเกตแบบแมนนวลและแบบนิวแมติก GV

กลุ่มผลิตภัณฑ์ GV ของวาล์วประตูสเตนเลสสตีลแบบซีลกันรั่วออกแบบมาสําหรับการใช้งานที่ต้องการการป้องกันการรั่วโดยรวมและไฮโดรคาร์บอนในบรรยากาศที่ตกค้างน้อยที่สุด

วาล์วคุณภาพสูงเหล่านี้ให้ความสมบูรณ์ของสุญญากาศสูงควบคู่กับค่าการนําไฟฟ้าสูงสุด วาล์วมีให้เลือกใช้กับหน้าแปลน ISO, CF (ซีลโลหะ) สําหรับการใช้งานที่สุญญากาศสูงเป็นพิเศษที่ต้องการอุณหภูมิการอบเพิ่มขึ้น

ตัววาล์วสเตนเลสสตีลเป็นแบบบัดกรีสุญญากาศ ซึ่งเป็นกระบวนการพิเศษที่รวมถึงการอบที่อุณหภูมิ 1100 ̊C ซึ่งช่วยขจัดความเป็นไปได้ของการรั่วไหลเสมือนจริง และช่วยให้มั่นใจได้ว่าผลิตภัณฑ์จะมีลักษณะการปล่อยก๊าซออกต่ํา

ท่อพับยืดสเตนเลสสตีลที่เชื่อมด้วยเลเซอร์จะซีลหัวขับจากวาล์วอย่างมีประสิทธิภาพ แนวคิดนี้ช่วยให้ง่ายต่อการซ่อมบํารุงและช่วยให้สามารถถอดเกตและกลไกการเชื่อมต่อออกได้ในขณะที่วาล์วยังคงอยู่ในตําแหน่งเดิม

การถอดประตูและกลไกการเชื่อมต่อในแหล่งกําเนิดเพื่อการซ่อมบํารุงที่ง่ายดาย
การรั่วไหลแทบจะหมดไปเนื่องจากการผลิตแบบบัดกรีสุญญากาศ
พื้นผิวด้านในและด้านนอกขัดเงาด้วยไฟฟ้า
การออกแบบที่กะทัดรัดที่มีค่าการนําไฟฟ้าสูง
ตัวเลือกแบบแมนนวลหรือแบบนิวเมติก
ตัวบ่งชี้ตําแหน่งไมโครสวิตช์เป็นมาตรฐานในเวอร์ชันนิวแมติกที่เหมาะสําหรับสนามแม่เหล็ก
ระยะเวลาการใช้งานที่ยาวนานระหว่างการบํารุงรักษา
การสั่นสะเทือนและการกระแทกต่ํา
เลือกทิศทางได้อิสระ
ช่วงกว้างตั้งแต่รู 40 มม./1.56 นิ้ว ถึงรู 320 มม./12.48 นิ้ว
ตัวเลือกหน้าแปลน - ISO, CF (ซีลโลหะ)
สุญญากาศบัดกรีที่อุณหภูมิ 1100 ̊C เพื่อขจัดการรั่วซึมเสมือนจริง