Uzatváracie ventily pre vákuové systémy

Ventily VAT Gate pre vysokú a celkovú tesnosť

Prečo si vybrať uzatvárací ventil?

Uzatváracie ventily ponúkajú jednoduchý, ale inovatívny klinový, bezmastný tesniaci mechanizmus, konštrukciu z nehrdzavejúcej ocele a robustnú konštrukciu.

Tieto ventily sú obzvlášť vhodné pre aplikácie s vysokými úrovňami vedľajších produktov procesu v prúde plynu. Sú to ventily s dlhou životnosťou a spoľahlivosťou v náročných prostrediach.

Ručné uzatváracie ventily BGV

Uzatváracie ventily BGV sú uzatváracie ventily z nehrdzavejúcej ocele utesnené vlnovcom na použitie v aplikáciách, ktoré vyžadujú vysokú tesnosť a minimálne množstvo uhľovodíkov vo vákuovom systéme. Hoci sú ventily BGV navrhnuté hlavne na izoláciu čerpadiel v suteréne polovodičovej výroby, sú ideálne aj v iných aplikáciách, kde je žiaduci rozdiel tlaku 1 bar pri otvorení.

Sú určené na použitie v rozsahu tlaku od 1,2 bar absolútneho do 1 x 10 ^-8 mbar (1,2 x 105 až 1 x 10 ^{- 6} Pa). Uzatváracie ventily BGV odolajú tlaku 1,2 bar absolútneho v oboch smeroch, čo umožňuje odvzdušnenie podtlakového vedenia nad čerpadlom pri zatvorenom ventile. Manuálne ventily BGV majú vizuálnu indikáciu polohy brány na boku zostavy, ktorá ukazuje, kedy je otvorená.

Dokáže odolať tlaku 1,2 bar absolútneho v oboch smeroch. Zabraňuje problémom s opätovným spustením tým, že počas údržby udržiava čerpadlo v chode.
Konštrukcia z nehrdzavejúcej ocele a robustná konštrukcia.
- Dlhá životnosť a spoľahlivosť v náročných prostrediach
Pneumatický elektromagnetický ventil a vopred zapojená možnosť.
- Vopred nakonfigurovaná jednoduchá inštalácia „plug and play“.
Jednoduchý bezmastný tesniaci mechanizmus. Minimalizuje poškodenie časticami v prašných procesoch.

Manuálny uzatvárací ventil BGV

Pneumatický uzatvárací ventil BGV MK3

Pneumatické uzatváracie ventily BGV MK3

Pneumatický uzatvárací ventil BGV Mk3 funguje rovnakým spôsobom ako manuálny uzatvárací ventil, avšak pneumatický ventil má jazýčkové spínače, ktoré môže vaše riadiace zariadenie použiť na určenie, či je ventil otvorený alebo zatvorený. Tieto tiež obsahujú LED diódy, ktoré poskytujú vizuálne zobrazenie polohy ventilu.

Každý pneumatický ventil BGV Mk3 je vybavený 24 V DC solenoidom a vopred zapojenou zástrčkou na priame pripojenie k vákuovému čerpadlu najnovšej generácie od spoločnosti Edwards (iHH, iXL, iXM a GXS). Táto 15-kolíková zástrčka D-sub ponúka jediný bod pripojenia pre napájanie solenoidu a aktivačné LED diódy z indikátorov polohy jazýčkového spínača. Kábel s 15-pólovou zásuvkou „D“ a indikátory polohy jazýčkového spínača sa voliteľne dodávajú s ventilmi BGV. Dĺžka kábla je však približne 50 cm a na pripojenie k čerpadlu alebo miestnemu ovládaču je potrebný dlhší predlžovací kábel.    

Na pripojenie pneumatického ventilu BGV Mk3 k starším výrobkom Edwards by sa mal použiť kábel rozhrania BGV Mk2 TIM. Funkcia LED diód nie je k dispozícii na starších výrobkoch (iGX, GX alebo iQ a iH prostredníctvom modulu iTIM), pretože čerpadlá nedodávajú jednosmerné napájanie 24 V na aktiváciu LED diód. Základná funkcia indikátora polohy ventilu však funguje na otvorenie a zatvorenie, pretože nie je potrebné žiadne napájanie a je aktivovaná magnetickým poľom.

Dokáže odolať tlaku 1,2 bar absolútneho v oboch smeroch. Zabraňuje problémom s opätovným spustením tým, že počas údržby udržiava čerpadlo v chode.
Konštrukcia z nehrdzavejúcej ocele a robustná konštrukcia. Dlhá životnosť a spoľahlivosť v náročných prostrediach.
Pneumatický elektromagnetický ventil a vopred zapojená možnosť.
Vopred nakonfigurovaná jednoduchá inštalácia „plug and play“.
Jednoduchý bezmastný tesniaci mechanizmus. Minimalizuje poškodenie časticami v prašných procesoch.
K dispozícii sú aj verzie uzamknutia a označenia (LOTO).

Ako fungujú manuálne a pneumatické uzatváracie ventily BGV?

Jednoduchý, ale inovatívny klinový tesniaci mechanizmus s klznými prvkami z PEEK robí ventil obzvlášť vhodným pre aplikácie s vysokými úrovňami vedľajších produktov procesu v prúde plynu:

Žiadny olej, mazivo ani zložité pohyblivé časti vo vnútri ventilu, čím sa eliminuje riziko poškodenia mechanizmu v dôsledku kontaminácie procesnými úlomkami
Klzné prvky z materiálu PEEK neposkytujú žiadny kontakt kov na kov a regulujú kompresiu tesniaceho krúžku
Keď sa brána zatvorí, kefky s O-krúžkami na tesniacom povrchu krátko pred utesnením pomáhajú odstrániť nečistoty z tesniaceho povrchu, čím sa dosiahne lepšie tesnenie

Uzatvárací ventil z nehrdzavejúcej ocele BGV s bezpečnostnou funkciou LOTO

Pneumatické uzatváracie ventily BGV LOTO obsahujú všetky výhody štandardného radu BGV, s bezpečnostnou funkciou LOTO a nízkym výkonom. 

Uzatváracie ventily BGV LOTO sú uzatváracie ventily z nehrdzavejúcej ocele utesnené vlnovcom na použitie v aplikáciách, ktoré vyžadujú vysokú tesnosť a minimálne množstvo uhľovodíkov vo vákuovom systéme. Hoci sú ventily BGV určené hlavne na izoláciu čerpadiel v suteréne polovodičovej výroby, sú ideálne aj pre iné aplikácie, kde je žiaduci rozdielový tlak 1 bar pri otvorení.

Jedinečný bezpečnostný mechanizmus uzamknutia a označenia (LOTO) umožňuje personálu voľne pracovať na vákuovom systéme bez obáv z neúmyselného otvorenia ventilu. Ventil je fyzicky držaný zatvorený pomocou kolíka, ktorý zaisťuje zatvorenie ventilu a zabraňuje jeho otvoreniu. Ak je potrebné uzamknúť ventil, je možné cez kolík LOTO vložiť uzamknutie a uzamknúť ho visiacou zámkou.      

Sú určené na použitie v rozsahu tlaku od 1,2 bar absolútneho do 1 x 10 ^-9 mbar (1,2 x 105 až 1 x 10 ^-7Pa). Ventily BGV odolajú tlaku 1,2 bar absolútneho v oboch smeroch, čo umožňuje odvzdušnenie podtlakového vedenia nad čerpadlom so zatvoreným ventilom.

Nízka požiadavka na aktivačný výkon len 1 W umožňuje priame pripojenie k radu suchých čerpadiel najnovšej generácie od spoločnosti Edwards bez akéhokoľvek ďalšieho externého napájania a uľahčuje jednoduchú inštaláciu typu „plug and play“.

Jazýčkové spínače môžu byť použité riadiacim zariadením na určenie, či je ventil otvorený alebo zatvorený. Tieto tiež obsahujú LED diódy na vizuálne zobrazenie polohy ventilu. Každý ventil je vybavený 24 V DC solenoidom a vopred zapojenou zástrčkou na priame pripojenie k vákuovému čerpadlu najnovšej generácie od spoločnosti Edwards. Táto 15-kolíková zásuvková zástrčka „D“ ponúka jeden bod pripojenia pre napájanie solenoidu a signál z indikátorov polohy jazýčkového spínača. Kábel s 15-pólovou zásuvkou „D“ a indikátory polohy jazýčkového spínača sa voliteľne dodávajú s ventilmi BGV. Dĺžka kábla je však približne 50 cm a na pripojenie k čerpadlu alebo miestnemu ovládaču je potrebný dlhší predlžovací kábel.   

Na pripojenie pneumatického ventilu BGV LOTO k starším výrobkom Edwards by sa mal použiť kábel rozhrania BGV TIM. Funkcia LED diód nie je k dispozícii na starších výrobkoch, pretože pumpy nedodávajú jednosmerné napájanie 24 V na aktiváciu LED diód.

BGV Bezpečnosť LOTO z nehrdzavejúcej ocele

Ako fungujú uzatváracie ventily z nehrdzavejúcej ocele BGV s bezpečnostnou funkciou LOTO?

Jednoduchý, ale inovatívny klinový tesniaci mechanizmus s klznými prvkami z PEEK robí ventil obzvlášť vhodným pre aplikácie s vysokou úrovňou procesu podľa produktu v prúde plynu: 

Žiadny olej, mazivo ani zložité pohyblivé časti vo vnútri ventilu eliminujú riziko poškodenia mechanizmu v dôsledku kontaminácie procesnými úlomkami 
Klzné prvky z materiálu PEEK neposkytujú žiadny kontakt kov na kov a regulujú kompresiu tesniaceho krúžku 
Keď sa brána zatvorí, kefky s O-krúžkami na tesniacom povrchu krátko pred utesnením pomáhajú odstrániť nečistoty z tesniaceho povrchu, čím sa dosiahne lepšie tesnenie 
Ventily LOTO je možné bezpečne uzamknúť. Zabezpečenie bezpečného pracovného prostredia počas údržby 
Aktivácia s nízkym výkonom len 1 W. Priame pripojenie k suchému čerpadlu Edwards najnovšej generácie 
Dokáže odolať tlaku 1,2 bar absolútneho v oboch smeroch. Nechajte čerpadlo bežať počas údržby 
Pneumatický elektromagnetický ventil a vopred zapojená možnosť. Vopred nakonfigurovaná jednoduchá inštalácia "plug and play 
Konštrukcia z nehrdzavejúcej ocele a robustná konštrukcia. Dlhá životnosť a spoľahlivosť v náročných prostrediach 
Jednoduchý bezmastný tesniaci mechanizmus. Minimalizuje poškodenie časticami v prašných procesoch

Pri použití pneumatických ventilov BGV LOTO

Pneumatický ventil BGV LOTO možno pripojiť priamo k našej najnovšej generácii suchých vákuových čerpadiel, čo umožňuje plnú funkčnosť. Medzi produkty najnovšej generácie patria: čerpadlá iXH, iXL, iXM a GXS.  

Na pripojenie pneumatického ventilu BGV LOTO k našim starším výrobkom by sa mal použiť kábel rozhrania BGV Mk2 TIM. Staršie produkty zahŕňajú: čerpadlá iGX, GX (alebo iQ a iH prostredníctvom modulu iTIM).

Uzatváracie ventily HVA pre ultravysoké vákuum a vysokú teplotu pečenia

GV1040M

Manuálne a pneumatické uzatváracie ventily GV

Rad uzatváracích ventilov GV z nehrdzavejúcej ocele s vlnovcovým tesnením je navrhnutý pre aplikácie vyžadujúce celkovú tesnosť a minimálne množstvo uhľovodíkov v zvyškovej atmosfére.

Tieto vysokokvalitné ventily ponúkajú vysokú integritu vákua v kombinácii s maximálnou vodivosťou. Ventily sú k dispozícii s možnosťami príruby ISO, CF (kovové tesnenie) pre aplikácie pri ultravysokom vákuu vyžadujúce zvýšené teploty vyhrievania.

Telesá ventilov z nehrdzavejúcej ocele sú vákuovo spájkované, čo je špeciálny proces, ktorý zahŕňa vyhrievanie pri 1100 ̊C. Tým sa eliminuje akákoľvek možnosť virtuálnych únikov a zaisťuje sa produkt s nízkymi vlastnosťami odplyňovania.

Laserom zváraný mech z nehrdzavejúcej ocele účinne utesňuje pohon od ventilu. Koncepcia zaisťuje jednoduchý servis a umožňuje odstrániť mechanizmus brány a ťahadla, zatiaľ čo ventil zostáva na mieste.

Odstránenie brány a mechanizmu ťahadla na mieste pre jednoduchý servis.
Eliminácia virtuálnych únikov vďaka vákuovo spájkovanej výrobe.
Elektrolyticky leštená povrchová úprava zvnútra aj zvonku.
Kompaktná konštrukcia s vysokou vodivosťou.
Manuálne alebo pneumatické možnosti.
Indikátor polohy mikrospínača ako štandard pri pneumatickej verzii vhodnej pre magnetické polia.
Dlhé obdobia používania medzi údržbami.
Nízke vibrácie a otrasy.
Voľný výber orientácie.
Široký rozsah od otvoru 40 mm/1,56 palca až po otvor 320 mm/12,48 palca.
Možnosti príruby – ISO, CF (kovové tesnenie)
Vákuovo spájkované na 1100 ̊C na elimináciu virtuálnych únikov.