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Valvole a saracinesca per sistemi sottovuoto

Valvole a saracinesca VAT per un'elevata tenuta complessiva

Valvole a saracinesca per sistemi sottovuoto

Perché scegliere una valvola a saracinesca?

Le valvole a saracinesca offrono un meccanismo di tenuta a cuneo semplice ma innovativo, senza grasso, e sono caratterizzate da una struttura in acciaio inox e un design robusto. 

Queste valvole sono particolarmente adatte ad applicazioni con elevati livelli di sottoprodotti di processo nel flusso di gas, e garantiscono una lunga durata e un'elevata affidabilità in ambienti aggressivi. 

Valvole a saracinesca manuali BGV

Le valvole a saracinesca BGV sono valvole a saracinesca in acciaio inox sigillate con soffietto per applicazioni che richiedono un'elevata tenuta alle perdite e una quantità minima di idrocarburi nel sistema sottovuoto. Anche se sono progettate principalmente per l'isolamento di pompe nei seminterrati delle fabbriche di semiconduttori, le valvole a saracinesca BGV sono ideali anche in altre applicazioni che richiedono un differenziale di 1 bar all'apertura.

Sono progettate per l'impiego nell'intervallo di pressione assoluta da 1,2 bar a 1×10‑8 mbar (da 1,2×105 a 1×10‑6 Pa). Le valvole a saracinesca BGV resistono a 1,2 bar assoluti in entrambe le direzioni, consentendo lo sfiato della linea sottovuoto sopra la pompa con la valvola chiusa. Le valvole manuali BGV sono dotate di un'indicazione visiva della posizione del punto di iniezione lato gruppo che mostra quando è aperta.

  • Resistenza a 1,2 bar assoluti in entrambe le direzioni. La pompa evita problemi di riavvio, in quanto può rimanere in funzione durante la manutenzione.
  • Struttura in acciaio inox e design robusto.
    •     Lunga durata ed elevata affidabilità in ambienti aggressivi 
  • Solenoide pneumatico con opzione precablata.
    •    Installazione "plug and play" semplice e preconfigurata.
  • Meccanismo di tenuta semplice e senza grasso. Riduce al minimo i danni dovuti alle particelle nei processi polverosi.
Valvola a saracinesca manuale BGV

Valvola a saracinesca manuale BGV

Valvola a saracinesca pneumatica BGV MK3

Valvola a saracinesca pneumatica BGV MK3

Valvole a saracinesca pneumatiche BGV MK3

La valvola a saracinesca pneumatica BGV Mk3 funziona come una valvola a saracinesca manuale, ma è dotata di interruttori a lamelle che possono essere utilizzati dall'apparecchiatura di controllo per appurare se la valvola è aperta o chiusa; include anche LED che forniscono un'indicazione visiva della posizione della valvola. 

Ogni valvola pneumatica BGV Mk3 è dotata di un solenoide 24 Vcc e di uno spinotto precablato per il collegamento diretto alla pompa per vuoto Edwards di ultima generazione (IHH, IXL, IXM e GXS). Questo connettore femmina D-sub a 15 vie offre un unico punto di collegamento per l'alimentazione del solenoide e l'attivazione dei LED dagli indicatori di posizione degli interruttori a lamelle. Il cavo della presa "D" a 15 vie e gli indicatori di posizione dell'interruttore a lamelle sono forniti come opzione con le valvole BGV. La lunghezza del cavo è circa 50 cm, per cui il collegamento a una pompa o un controller locale richiede un cavo di prolunga.     

Per collegare la valvola pneumatica BGV Mk3 a prodotti Edwards precedenti, è necessario utilizzare il cavo di interfaccia BGV Mk2 TIM. La funzionalità dei LED non è disponibile sui prodotti precedenti (iGX, GX o iQ e IH tramite modulo iTIM) poiché le pompe non forniscono l'alimentazione a 24 Vcc per l'attivazione dei LED. Tuttavia, la funzione base dell'indicatore di posizionamento della valvola funziona per l'apertura e la chiusura, non richiede alimentazione ed è attivata dal campo magnetico.

  • Resistenza a 1,2 bar assoluti in entrambe le direzioni. La pompa evita problemi di riavvio, in quanto può rimanere in funzione durante la manutenzione.
  • Struttura in acciaio inox e design robusto. Lunga durata e affidabilità in ambienti aggressivi.
  • Solenoide pneumatico con opzione precablata.
  • Installazione "plug and play" semplice e preconfigurata.
  • Meccanismo di tenuta semplice e senza grasso. Riduce al minimo i danni dovuti alle particelle nei processi polverosi.
  • Sono disponibili anche versioni LOTO (Lock out Tag out).

Come funzionano le valvole a saracinesca BGV manuali e pneumatiche?

Grazie al meccanismo di tenuta a cuneo, semplice ma innovativo, che incorpora guide in PEEK, la valvola è particolarmente adatta ad applicazioni con elevati livelli di sottoprodotti di processo nel flusso di gas:

  • La valvola non contiene olio, grasso o parti in movimento complesse, per cui si eliminano i rischi di danni al meccanismo dovuti alla contaminazione causata da detriti di processo
  • Le guide in PEEK non generano contatto tra i metalli e consentono di controllare la compressione della guarnizione torica
  • Quando la saracinesca si chiude, la guarnizione torica spazza brevemente sulla superficie di tenuta prima di sigillarla, contribuendo a eliminare i detriti e migliorando la tenuta

Valvola a saracinesca in acciaio inox BGV con funzione di sicurezza LOTO

Le valvole a saracinesca pneumatiche LOTO BGV includono tutti i vantaggi della gamma BGV standard, con l'aggiunta della funzione di sicurezza LOTO e della bassa potenza.  

Le valvole a saracinesca BGV sono valvole a saracinesca in acciaio inox sigillate con soffietto per applicazioni che richiedono un'elevata tenuta alle perdite e una quantità minima di idrocarburi nel sistema sottovuoto. Anche se sono progettate principalmente per l'isolamento di pompe nei seminterrati delle fabbriche di semiconduttori, le valvole BGV sono ideali anche in altre applicazioni che richiedono un differenziale di 1 bar all'apertura. 

L'esclusivo meccanismo di sicurezza LOTO (Lock‑out‑Tag‑out) consente al personale di intervenire liberamente sul sistema sottovuoto senza temere l'apertura accidentale della valvola. La valvola viene mantenuta fisicamente chiusa grazie a un perno che ne blocca la chiusura e ne impedisce l'apertura. Se è necessario bloccare la valvola in posizione chiusa, è possibile inserire una cerniera di blocco tramite il perno LOTO e bloccarla con un lucchetto.      

Sono progettate per l'impiego nell'intervallo di pressione da 1,2 bar assoluti a 1×10‑9 mbar (da 1,2×105 a 1×10‑7 Pa). Le valvole BGV resistono a 1,2 bar assoluti in entrambe le direzioni, consentendo lo sfiato della linea sottovuoto sopra la pompa con la valvola chiusa.

Il requisito di azionamento a bassa potenza di appena 1 W consente il collegamento diretto alla gamma di pompe a secco Edwards di ultima generazione senza alimentazione esterna aggiuntiva e facilita l'installazione "plug and play". 

Gli interruttori a lamelle possono essere utilizzati dall'apparecchiatura di controllo per determinare se la valvola è aperta o chiusa; questi interruttori sono dotati anche di LED che visualizzano la posizione della valvola. Ogni valvola è dotata di un solenoide 24 Vcc e di uno spinotto precablato per il collegamento diretto alla pompa per vuoto Edwards di ultima generazione. Questo connettore a "D" a 15 vie offre un unico punto di collegamento per l'alimentazione del solenoide e del segnale proveniente dagli indicatori di posizione dell'interruttore a lamelle. Il cavo a "D" a 15 vie e gli indicatori della posizione dell'interruttore a lamelle sono forniti come opzione con le valvole BGV. La lunghezza del cavo è circa 50 cm, per cui il collegamento a una pompa o un controller locale richiede un cavo di prolunga.   

Per collegare la valvola pneumatica BGV LOTO a prodotti Edwards precedenti, è necessario utilizzare il cavo di interfaccia BGV TIM. La funzionalità dei LED non è disponibile su prodotti precedenti poiché le pompe non forniscono l'alimentazione a 24 Vcc per l'attivazione dei LED. 

Sicurezza LOTO in acciaio inox BGV

Sicurezza LOTO in acciaio inox BGV

Come funzionano le valvole a saracinesca in acciaio inox BGV con funzione di sicurezza LOTO?

Grazie al meccanismo di tenuta a cuneo, semplice ma innovativo, che incorpora guide in PEEK, la valvola è particolarmente adatta ad applicazioni con elevati livelli di sottoprodotti di processo nel flusso di gas: 

  • La valvola non contiene olio, grasso o parti in movimento complesse, per cui si eliminano i rischi di danni al meccanismo dovuti alla contaminazione causata da detriti di processo 
  • Le guide in PEEK non generano contatto tra i metalli e consentono di controllare la compressione della guarnizione torica 
  • Quando la saracinesca si chiude, la guarnizione torica spazza brevemente sulla superficie di tenuta prima di sigillarla, contribuendo a eliminare i detriti e migliorando la tenuta 
  • Le valvole LOTO possono essere bloccate in sicurezza in posizione chiusa e garantiscono un ambiente di lavoro sicuro durante la manutenzione 
  • Azionamento a bassa potenza, appena 1 W. Collegamento diretto alla pompa a secco Edwards di ultima generazione 
  • Resistenza a 1,2 bar assoluti in entrambe le direzioni. La pompa può continuare a funzionare durante la manutenzione 
  • Solenoide pneumatico e opzione precablata. Installazione "plug and play" semplice preconfigurata 
  • Struttura in acciaio inox e design robusto. Lunga durata e affidabilità in ambienti aggressivi 
  • Meccanismo di tenuta semplice e senza grasso. Riduce al minimo i danni dovuti alle particelle nei processi polverosi 

Quando si utilizzano le valvole pneumatiche LOTO BGV

La valvola pneumatica BGV LOTO può essere collegata direttamente alle nostre pompe per vuoto a secco di ultima generazione, sfruttandone tutte le funzionalità. I prodotti di ultima generazione includono le pompe iXH, IXL, IXM e GXS.  

Per collegare la valvola pneumatica BGV LOTO ai nostri prodotti precedenti, è necessario utilizzare il cavo di interfaccia BGV Mk2 TIM. I prodotti precedenti includono le pompe IGX, GX (o iQ e IH tramite il modulo iTIM).

Valvole a saracinesca HVA per vuoto ultraelevato e alta temperatura di cottura

GV1040M

GV1040M

Valvole a saracinesca manuali e pneumatiche GV

La gamma GV di valvole a saracinesca in acciaio inox, sigillate con soffietto, è progettata per applicazioni che richiedono una tenuta complessiva e una quantità minima di idrocarburi nell'atmosfera residua.

Queste valvole di qualità superiore garantiscono un'elevata integrità del vuoto e la massima conduttanza. Le valvole sono disponibili in opzioni flangiate ISO, CF (sigillatura in metallo) per applicazioni con vuoto ultraelevato che richiedono temperature di cottura superiori.

I corpi valvola in acciaio inox sono brasati sottovuoto, un processo speciale che include una fase di riscaldamento a 1100 °C. In tal modo, si elimina totalmente l'eventualità di perdite e si garantisce un prodotto con caratteristiche di basso rilascio di gas.

Un soffietto in acciaio inox saldato a laser sigilla efficacemente l'attuatore dalla valvola. Il concetto garantisce facilità di manutenzione e consente di rimuovere il meccanismo di comando e la saracinesca con la valvola in posizione.

  • Rimozione del meccanismo di comando e della saracinesca con la valvola in posizione, per facilitare la manutenzione.
  • Eliminazione delle perdite grazie alla fabbricazione con brasatura sottovuoto.
  • Finitura elettrolucidata all'interno e all'esterno.
  • Design compatto con elevata conduttanza.
  • Opzioni manuali o pneumatiche.
  • Indicatore di posizione a microinterruttore di serie sulla versione pneumatica adatto per campi magnetici.
  • Lunghi periodi di utilizzo tra una manutenzione e l'altra.
  • Vibrazioni e urti ridotti.
  • Libertà di scelta dell'orientamento.
  • Ampia gamma di diametri da 40 mm / 1,56 pollici fino a 320 mm / 12,48 pollici.
  • Opzioni flangiate ISO e CF (sigillatura in metallo)
  • Brasatura sottovuoto a 1100 °C per eliminare le perdite.
BGV Stainless Steel Gate Valve with LOTO Safety Feature - Datasheet

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Dipendenti Edwards sorridenti nel corridoio
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