真空システム用ゲートバルブ

高い気密性と全体的な漏れ防止を可能にするVATゲートバルブ

ゲートバルブが選ばれる理由

ゲートバルブは、シンプルで革新的なウェッジ、グリースフリーのシール機構を備え、ステンレス構造で堅牢な設計です。

これらのバルブは、ガス流中にプロセス副産物が多く含まれる用途に特に適しており、過酷な環境でも長い耐用年数で信頼性の高いバルブです。

BGV手動ゲートバルブ

BGVゲートバルブはベローズシールされたステンレス製ゲートバルブで、高い気密性と真空システム内の炭化水素を最低限に抑える必要がある用途に使用されます。主に半導体工場の地下室にあるポンプの隔離用に設計されていますが、BGVゲートバルブは、開口時に1 barの差圧が望ましい他の用途にも最適です。

これらは、1.2 barの絶対圧から1 x 10^‑8 mbar（1.2 x 105～1x10^‑6 Pa）の圧力範囲で使用するように設計されています。BGVゲートバルブは、いずれの方向でも1.2 barの絶対圧に耐えるため、バルブを閉じた状態でポンプ上部の真空ラインを排気できます。BGV手動バルブには、アッセンブリーの側面にゲート位置を視覚的に表示し、バルブが開いていることを示します。

どちらの方向にも1.2 barの絶対圧に耐えることができます。メンテナンス中もポンプを作動させたままにすることで、再起動の問題を回避します。
ステンレス製の構造と堅牢な設計
- 過酷な環境での長い耐用年数と信頼性
空気圧ソレノイドと事前配線オプション
- 設定済みのシンプルな「プラグ＆プレイ」インストール
シンプルなグリースフリーシーリングメカニズム。粉塵の多いプロセスでの粒子による損傷を最小限に抑えます。

BGV手動ゲートバルブ

BGV MK3空圧式ゲートバルブ

BGV Mk3空圧式ゲートバルブは、手動ゲートバルブと同様に機能しますが、空圧式バルブにはリードスイッチがあり、バルブが開いているか閉じているかを判断するために制御装置で使用することができます。また、バルブ位置を視覚的に表示するLEDも付いています。

各BGV Mk3空圧式バルブには、24 V DCのソレノイドおよび配線済みプラグが装備されており、エドワーズの最新世代の真空ポンプ（iHH、iXL、iXM、GXS）に直接接続できます。この15ウェイD-subソケットプラグは、ソレノイドへの電源供給とリードスイッチ位置インジケータからのLED点灯の両方を1か所で接続できます。15ウェイDソケットケーブルおよびリードスイッチ位置インジケータは、オプションでBGVバルブに付属しています。ただし、ケーブルの長さは約50 cmであり、ポンプまたはローカルコントローラーに接続するには長い延長ケーブルが必要です。    

BGV Mk3空圧式バルブをエドワーズの旧製品に接続するには、BGV Mk2 TIMインターフェイスケーブルを使用する必要があります。旧製品（iTIMモジュールを介したiGX、GXまたはiQおよびiH）では、ポンプがLEDを点灯させるためのDC 24 V電源を供給していないため、LEDの機能は使用できません。ただし、バルブ位置インジケータの基本機能は、電源が不要で、磁場によってトリガーされるため、開閉に対して機能します。

どちらの方向にも1.2 barの絶対圧に耐えることができます。メンテナンス中もポンプを作動させたままにすることで、再起動の問題を回避します。
ステンレス製の構造と堅牢な設計。過酷な環境での長い耐用年数と信頼性。
空気圧ソレノイドと事前配線オプション
設定済みのシンプルな「プラグ＆プレイ」インストール
シンプルなグリースフリーシーリングメカニズム。粉塵の多いプロセスでの粒子による損傷を最小限に抑えます。
ロックアウトタグアウト（LOTO）バージョンもご用意しています。

手動および空圧式BGVゲートバルブはどのように機能しますか?

PEEKグライダーを内蔵した、シンプルで革新的なウェッジシール機構により、このバルブはガス流中にプロセス副産物が多く含まれる用途に特に適しています。

バルブ内にオイル、グリース、または複雑な可動部品がないため、プロセスの異物による汚染が原因のメカニズムの損傷リスクがありません
PEEKグライダーは、金属同士の接触をなくし、Oリングの圧縮を抑制します
ゲートが閉じる際、シール前にOリングがシール面を一瞬ブラッシングし、シール面に付着したゴミを取り除くため、より優れたシール性能を実現します。

LOTO安全機能付きBGVステンレスゲートバルブ

BGV LOTO空圧式ゲートバルブには、LOTO安全機能と低電力を備えた標準BGV範囲のすべての利点が含まれています。 

BGV LOTOゲートバルブは、優れた漏れ防止が必要な用途や真空システム内の炭化水素を最小限に抑える用途に使用するためのベローシール式ステンレス鋼製ゲートバルブです。主に半導体工場の地下室にあるポンプの分離用に設計されていますが、BGVバルブは、開口部に1 barの差が必要な他の用途にも最適です。

独自のロックアウトタグアウト（LOTO）安全メカニズムにより、作業員はバルブが誤って開くことを心配することなく、真空システムで自由に作業できます。バルブはピンで物理的に閉じた状態で保持され、バルブが開かないようにロックされます。バルブをロックする必要がある場合は、ロックアウト用掛け金をLOTOピンから挿入し、南京錠をかけます。      

これらは、絶対圧1.2 barから1 x 10^‑9 mbar（1.2 x 105～1x10^‑7Pa）の圧力範囲で使用するように設計されています。BGVバルブは、いずれの方向でも1.2 barの絶対圧に耐え、バルブを閉じた状態でポンプ上部の真空ラインを排気できます。

わずか1 Wの低電力で作動するため、エドワーズの最新世代のドライポンプに直接接続できます。外部電源を追加することなく、「プラグアンドプレイ」で簡単な設置が可能です。

リードスイッチは、バルブが開いているか閉じているかを判別するために制御装置で使用できます。また、バルブ位置を視覚的に表示するLEDも備えています。各バルブには24 V DCソレノイドと配線済みプラグが付いており、エドワーズの最新世代の真空ポンプに直接接続できます。この15ウェイ「D」ソケットプラグは、ソレノイドへの電源とリードスイッチ位置インジケータからの信号の両方を1ヵ所で接続できます。15ウェイ「D」ソケットケーブルおよびリードスイッチ位置インジケータは、オプションでBGVバルブに付属しています。ただし、ケーブルの長さは約50 cmであり、ポンプまたはローカルコントローラーに接続するには長い延長ケーブルが必要です。   

BGV LOTO空圧式バルブをエドワーズの旧製品に接続するには、BGV TIMインターフェイスケーブルを使用する必要があります。旧製品では、ポンプがLEDを作動させるためのDC 24 V電源を提供していないため、LEDの機能は使用できません。