Van cổng cho hệ thống chân không

Van cổng VAT cho độ kín cao và tổng thể

Tại sao nên chọn van cổng?

Van cổng cung cấp một nêm đơn giản nhưng sáng tạo, cơ chế bịt kín không mỡ, kết cấu bằng thép không gỉ và thiết kế chắc chắn.

Các van này đặc biệt phù hợp với các ứng dụng có mức phụ phẩm quy trình cao trong dòng khí, đây là các van có tuổi thọ lâu dài và đáng tin cậy trong môi trường khắc nghiệt.

Van cổng thủ công BGV

Van cổng BGV là van cổng bằng thép không gỉ kín khí nén để sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi độ kín cao và lượng hydrocacbon tối thiểu trong hệ thống chân không. Mặc dù chủ yếu được thiết kế để cách ly các bơm trong tầng hầm của nhà máy bán dẫn, van cổng BGV cũng lý tưởng trong các ứng dụng khác nơi cần có chênh lệch 1 bar khi mở.

Chúng được thiết kế để sử dụng trong phạm vi áp suất từ 1,2 bar tuyệt đối đến 1 x 10 ^-8 mbar (1,2 x 105 đến 1x10 ^-6 Pa). Van cổng BGV sẽ chịu được 1,2 bar tuyệt đối theo bất kỳ hướng nào, cho phép đường chân không phía trên bơm được thông khí khi van đóng. Van thủ công BGV có chỉ báo trực quan về vị trí cổng ở bên cạnh cụm chi tiết để cho biết khi nào cụm chi tiết đang mở.

Có thể chịu được 1,2 bar tuyệt đối theo bất kỳ hướng nào. Tránh các vấn đề khởi động lại bằng cách duy trì bơm chạy trong quá trình bảo trì.
Kết cấu thép không gỉ và thiết kế chắc chắn.
- Tuổi thọ lâu dài và độ tin cậy trong môi trường khắc nghiệt
Solenoid khí nén và tùy chọn được nối dây sẵn.
- Cài đặt 'cắm và chạy' đơn giản được cấu hình sẵn.
Cơ chế bịt kín không mỡ đơn giản. Giảm thiểu thiệt hại do các hạt trong các quy trình bụi bẩn.

Van cổng thủ công BGV

Van cổng khí nén BGV MK3

Van cổng khí nén BGV Mk3 hoạt động theo cách tương tự như van cổng thủ công nhưng van khí nén có công tắc reed có thể được thiết bị điều khiển của bạn sử dụng để xác định van đang mở hay đóng, chúng cũng chứa đèn LED cung cấp hiển thị trực quan vị trí van.

Mỗi van khí nén BGV Mk3 được trang bị một solenoid 24V d.c. và phích cắm có dây sẵn để kết nối trực tiếp với bơm chân không thế hệ mới nhất của Edwards (iHH, iXL, iXM và GXS). Phích cắm ổ cắm D-sub 15 chiều này cung cấp một điểm kết nối duy nhất cho cả nguồn điện đến solenoid và kích hoạt đèn LED từ các chỉ báo vị trí công tắc reed. Cáp ổ cắm "D" 15 chiều và các chỉ báo vị trí công tắc reed được cung cấp tùy chọn với van BGV. Tuy nhiên, chiều dài của cáp khoảng 50cm và cần có cáp mở rộng dài hơn để kết nối với bơm hoặc bộ điều khiển cục bộ.    

Để kết nối van khí nén BGV Mk3 với các sản phẩm cũ của Edwards, cần sử dụng cáp giao diện TIM BGV Mk2. Chức năng của đèn LED không khả dụng trên các sản phẩm cũ (iGX, GX hoặc iQ và iH thông qua mô-đun iTIM) vì bơm không cung cấp nguồn điện DC 24V để kích hoạt đèn LED. Tuy nhiên, chức năng cơ bản của chỉ báo vị trí van hoạt động để mở và đóng vì không cần nguồn điện và được kích hoạt bởi từ trường.

Có thể chịu được 1,2 bar tuyệt đối theo bất kỳ hướng nào. Tránh các vấn đề khởi động lại bằng cách duy trì bơm chạy trong quá trình bảo trì.
Kết cấu thép không gỉ và thiết kế chắc chắn. Tuổi thọ lâu dài và độ tin cậy trong môi trường khắc nghiệt.
Solenoid khí nén và tùy chọn được nối dây sẵn.
Cài đặt 'cắm và chạy' đơn giản được cấu hình sẵn.
Cơ chế bịt kín không mỡ đơn giản. Giảm thiểu thiệt hại do các hạt trong các quy trình bụi bẩn.
Phiên bản khóa nguồn điện và gắn thẻ (LOTO) cũng có sẵn.

Van cổng BGV thủ công và khí nén hoạt động như thế nào?

Cơ chế niêm phong nêm đơn giản nhưng sáng tạo, kết hợp với các thanh trượt PEEK, làm cho van đặc biệt phù hợp với các ứng dụng có mức phụ phẩm quy trình cao trong dòng khí:

Không có dầu, mỡ hoặc các bộ phận chuyển động phức tạp bên trong van, loại bỏ nguy cơ hư hỏng cơ chế do nhiễm bẩn từ các mảnh vụn quy trình
Các thanh trượt PEEK không tiếp xúc kim loại với kim loại và hoạt động để kiểm soát nén của vòng chữ O
Khi cổng đóng, bàn chải vòng chữ O xuyên qua bề mặt bịt kín trong thời gian ngắn trước khi bịt kín, giúp làm sạch các mảnh vụn khỏi bề mặt bịt kín, do đó tạo ra độ kín tốt hơn

Van cổng bằng thép không gỉ BGV với tính năng an toàn LOTO

Van cổng khí nén BGV LOTO bao gồm tất cả các lợi ích của dòng BGV tiêu chuẩn, với tính năng an toàn LOTO và công suất thấp. 

Van cổng BGV LOTO là van cổng bằng thép không gỉ kín bằng ống thổi để sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi độ kín cao và lượng hydrocacbon tối thiểu trong hệ thống chân không. Mặc dù chủ yếu được thiết kế để cách ly các bơm trong tầng hầm của nhà máy bán dẫn, van BGV cũng lý tưởng cho các ứng dụng khác trong đó cần có chênh lệch 1 bar khi mở.

Cơ chế an toàn Lock-Out-Tag-Out (LOTO) độc đáo cho phép nhân viên tự do làm việc trên hệ thống chân không mà không sợ van vô tình mở ra. Van được giữ đóng bằng chốt để khóa van để ngăn không cho van mở ra. Nếu có yêu cầu đóng khóa van, có thể lắp móc khóa qua chốt LOTO và khóa bằng khóa móc.      

Chúng được thiết kế để sử dụng trong phạm vi áp suất từ 1,2 bar tuyệt đối đến 1 x 10 ^-9 mbar (1,2 x 105 đến 1x10 ^-7Pa). Van BGV sẽ chịu được 1,2 bar tuyệt đối theo bất kỳ hướng nào, cho phép đường chân không phía trên bơm được thông khí khi van đóng.

Yêu cầu kích hoạt công suất thấp chỉ với 1 W cho phép kết nối trực tiếp với dòng bơm khô thế hệ mới nhất của Edwards mà không cần bất kỳ nguồn điện bên ngoài bổ sung nào và tạo điều kiện lắp đặt đơn giản "cắm và chạy".

Thiết bị điều khiển của bạn có thể sử dụng công tắc reed để xác định van đang mở hay đóng, các công tắc này cũng chứa đèn LED để hiển thị trực quan vị trí van. Mỗi van được trang bị một solenoid 24V d.c. và phích cắm có dây sẵn để kết nối trực tiếp với bơm chân không thế hệ mới nhất của Edwards. Phích cắm ổ cắm "D" 15 chiều này cung cấp một điểm kết nối duy nhất cho cả nguồn điện đến solenoid và tín hiệu từ các chỉ báo vị trí công tắc reed. Cáp ổ cắm "D" 15 chiều và chỉ báo vị trí công tắc reed được cung cấp tùy chọn với van BGV. Tuy nhiên, chiều dài của cáp khoảng 50cm và cần có cáp mở rộng dài hơn để kết nối với bơm hoặc bộ điều khiển cục bộ.   

Để kết nối van khí nén BGV LOTO với các sản phẩm cũ của Edwards, cần sử dụng cáp giao diện BGV TIM. Chức năng của đèn LED không khả dụng trên các sản phẩm cũ vì bơm không cung cấp nguồn điện DC 24V để kích hoạt đèn LED.

An toàn LOTO Thép không gỉ BGV

Van cổng bằng thép không gỉ BGV có tính năng an toàn LOTO hoạt động như thế nào?

Cơ chế niêm phong nêm đơn giản nhưng sáng tạo, kết hợp với các thanh trượt PEEK, làm cho van đặc biệt phù hợp với các ứng dụng có mức độ quy trình cao theo sản phẩm trong dòng khí: 

Không có dầu, mỡ hoặc các bộ phận chuyển động phức tạp bên trong van, loại bỏ nguy cơ hư hỏng cơ chế do nhiễm bẩn từ các mảnh vụn quy trình 
Các thanh trượt PEEK không tiếp xúc kim loại với kim loại và hoạt động để kiểm soát nén của vòng chữ O 
Khi cổng đóng, bàn chải vòng chữ O xuyên qua bề mặt bịt kín trong thời gian ngắn trước khi bịt kín, giúp làm sạch các mảnh vụn khỏi bề mặt bịt kín, do đó tạo ra độ kín tốt hơn 
Các van LOTO có thể được khóa an toàn. Cung cấp môi trường làm việc an toàn trong quá trình bảo trì 
Kích hoạt công suất thấp chỉ với 1 W. Kết nối trực tiếp với bơm khô thế hệ mới nhất của Edwards 
Có thể chịu được 1,2 bar tuyệt đối theo bất kỳ hướng nào. Cho phép bơm tiếp tục chạy trong quá trình bảo trì 
Solenoid khí nén và tùy chọn được nối dây sẵn. Cài đặt 'cắm và chạy' đơn giản được cấu hình sẵn 
Kết cấu thép không gỉ và thiết kế chắc chắn. Tuổi thọ lâu dài và độ tin cậy trong môi trường khắc nghiệt 
Cơ chế bịt kín không mỡ đơn giản. Giảm thiểu thiệt hại do các hạt trong các quy trình bụi bẩn

Khi sử dụng van khí nén BGV LOTO

Van khí nén BGV LOTO có thể được cắm trực tiếp vào bơm chân không khô thế hệ mới nhất của chúng tôi cho phép hoạt động đầy đủ chức năng. Các sản phẩm thế hệ mới nhất bao gồm: bơm iXH, iXL, iXM và GXS.  

Để kết nối van khí nén BGV LOTO với các sản phẩm cũ của chúng tôi, cần sử dụng cáp giao diện TIM BGV Mk2. Các sản phẩm cũ bao gồm: bơm iGX, GX (hoặc iQ và iH thông qua mô-đun iTIM).

Van cổng HVA dành cho chân không siêu cao và nhiệt độ nướng cao

GV1040M

Van cổng thủ công và khí nén GV

Dòng van cổng kín bằng thép không gỉ GV được thiết kế cho các ứng dụng đòi hỏi độ kín tổng thể và lượng hydrocacbon tối thiểu trong khí quyển còn lại.

Các van chất lượng cao này cung cấp tính toàn vẹn chân không cao cùng với độ dẫn điện tối đa. Các van có sẵn với các tùy chọn mặt bích ISO, CF (đóng kín bằng kim loại) cho các ứng dụng ở chân không cực cao đòi hỏi nhiệt độ nung tăng.

Thân van bằng thép không gỉ được hàn chân không, một quy trình đặc biệt bao gồm nung ở 1100 ̊C. Điều này loại bỏ mọi khả năng rò rỉ ảo và đảm bảo sản phẩm có đặc tính thoát khí thấp.

Ống thổi bằng thép không gỉ được hàn laser giúp niêm phong bộ truyền động khỏi van một cách hiệu quả. Khái niệm này giúp dễ dàng bảo dưỡng và cho phép tháo cơ chế cổng và liên kết trong khi van vẫn ở nguyên vị trí.

Tháo cổng và cơ chế liên kết tại chỗ để dễ dàng bảo trì.
Hầu như loại bỏ rò rỉ do sản xuất hàn chân không.
Đánh bóng điện tử bên trong và bên ngoài.
Thiết kế nhỏ gọn với độ dẫn điện cao.
Các tùy chọn thủ công hoặc khí nén.
Chỉ báo vị trí công tắc vi lượng theo tiêu chuẩn trên phiên bản khí nén phù hợp với từ trường.
Thời gian sử dụng dài giữa các lần bảo trì.
Rung động và sốc thấp.
Tự do lựa chọn định hướng.
Phạm vi rộng từ đường kính 40 mm/1,56 inch đến đường kính 320 mm/12,48 inch.
Tùy chọn mặt bích - ISO, CF (được hàn kín bằng kim loại)
Hàn chân không đến 1100 ̊C để loại bỏ rò rỉ gần như.