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Válvulas de gaveta para sistemas de vácuo

Válvulas de gaveta VAT para vedação elevada e total

Válvulas de gaveta para sistemas de vácuo

Por que escolher uma válvula de gaveta?

As válvulas de gaveta oferecem um mecanismo de vedação de cunha simples, mas inovador, livre de graxa, de construção em aço inoxidável e design robusto. 

Essas válvulas são especialmente adequadas para aplicações com altos níveis de subproduto de processo no fluxo de gás, são válvulas com longa vida útil e confiabilidade em ambientes adversos. 

Válvulas de gaveta manuais BGV

As válvulas de gaveta BGV são válvulas de gaveta de aço inoxidável seladas por fole para uso em aplicações que exigem alta vedação contra vazamentos e um mínimo de hidrocarbonetos no sistema de vácuo. Embora projetadas especialmente para o isolamento de bombas no porão da fábrica de semicondutores, as válvulas de gaveta BGV também são ideais em outras aplicações onde um diferencial de 1 bar na abertura é desejável.

Eles são projetados para uso na faixa de pressão de 1,2 bar absoluto a 1 x 10‑8 mbar (1,2 x 105 a 1x10‑6 Pa). As válvulas de gaveta BGV suportam 1,2 bar absoluto em qualquer direção, permitindo que a linha de vácuo acima da bomba seja ventilada com a válvula fechada. As válvulas manuais BGV possuem indicação visual da posição da gaveta na lateral do conjunto para indicar quando ela está aberta.

  • Capaz de suportar 1,2 bar absoluto em qualquer direção. Evita problemas de nova partida mantendo a bomba funcionando durante a manutenção.
  • Construção em aço inoxidável e design robusto.
    •     Longa vida útil e confiabilidade em ambientes adversos 
  • Solenoide pneumático e opção pré-cabeada.
    •    Instalação simples pré-configurada "plug and play”.
  • Mecanismo de vedação simples e sem graxa. Minimiza os danos causados por partículas em processos empoeirados.
Válvula de gaveta manual BGV

Válvula de gaveta manual BGV

Válvula de gaveta pneumática BGV MK3

Válvula de gaveta pneumática BGV MK3

Válvulas de gaveta pneumática BGV MK3

A válvula de gaveta pneumática BGV Mk3 funciona da mesma forma que a válvula de gaveta manual, no entanto, a válvula pneumática possui interruptores de palheta que podem ser usados pelo seu equipamento de controle para determinar se a válvula está aberta ou fechada, eles também contêm LEDs que fornecem uma exibição visual da posição da válvula. 

Cada válvula pneumática BGV Mk3 é equipada com um solenoide de 24 V d.c. e um plugue pré-cabeado para conexão direta com a bomba de vácuo de última geração da Edwards (iHH, iXL, iXM e GXS). Esse plugue de soquete D-sub de 15 vias oferece um único ponto de conexão para alimentação do solenoide e ativação dos LEDs dos indicadores de posição do interruptor de palheta. O cabo de soquete "D" de 15 vias e os indicadores de posição do interruptor de palheta são fornecidos opcionalmente com válvulas BGV. No entanto, o comprimento do cabo é de cerca de 50 cm e um cabo de extensão mais longo é necessário para se conectar a uma bomba ou controlador local.     

Para conectar a válvula pneumática BGV Mk3 a produtos legados da Edwards, o cabo de interface BGV Mk2 TIM deve ser usado. A funcionalidade dos LEDs não está disponível em produtos legados (iGX, GX ou iQ e iH através do módulo iTIM), pois as bombas não fornecem energia de 24 V CC para ativar os LEDs. No entanto, a função básica do indicador de posicionamento da válvula funciona para abrir e fechar, pois não é necessária energia, e é acionada pelo campo magnético.

  • Capaz de suportar 1,2 bar absoluto em qualquer direção. Evita problemas de nova partida mantendo a bomba funcionando durante a manutenção.
  • Construção em aço inoxidável e design robusto. Longa vida útil e confiabilidade em ambientes adversos.
  • Solenoide pneumático e opção pré-cabeada.
  • Instalação simples pré-configurada "plug and play”.
  • Mecanismo de vedação simples e sem graxa. Minimiza os danos causados por partículas em processos empoeirados.
  • As versões de Bloqueio e Etiquetagem (LOTO) também estão disponíveis.

Como funcionam as válvulas de gaveta BGV manuais e pneumáticas?

O mecanismo de vedação em cunha simples, mas inovador, que incorpora planadores PEEK, torna a válvula especialmente adequada para aplicações com altos níveis de subprodutos de processo no fluxo de gás:

  • Sem óleo, graxa ou peças móveis complexas dentro da válvula, eliminando os riscos de danos ao mecanismo devido à contaminação por detritos do processo
  • Os planadores PEEK não fornecem contato metal com metal e atuam para controlar a compressão do anel o-ring
  • À medida que a porta fecha, o anel o-ring passa através da superfície de vedação brevemente antes de vedar, ajudando a limpar os detritos da superfície de vedação, proporcionando assim uma melhor vedação

A válvula de gaveta BGV em aço inoxidável com recurso de segurança LOTO

As válvulas de gaveta pneumática BGV LOTO incluem todos os benefícios da linha padrão BGV, com recurso de segurança LOTO e baixa potência.  

As válvulas de gaveta BGV LOTO são válvulas de gaveta em aço inoxidável seladas por fole para uso em aplicações que exigem alta vedação contra vazamentos e um mínimo de hidrocarbonetos no sistema de vácuo. Embora projetadas especialmente para o isolamento de bombas no porão da fábrica de semicondutores, as válvulas BGV também são ideais para outras aplicações onde é desejável um diferencial de 1 bar na abertura. 

O exclusivo mecanismo de segurança LOTO (Lock-out-Tag-out, Bloqueio-Etiquetagem) permite que as pessoas trabalhem livremente no sistema de vácuo sem medo de a válvula abrir inadvertidamente. A válvula é mantida fisicamente fechada usando um pino para travá-la, evitando que ela seja aberta. Se houver necessidade de a válvula ser travada, um fecho de travamento pode ser inserido através do pino LOTO e travado com cadeado.      

Eles foram projetados para uso na faixa de pressão de 1,2 bar absoluto a 1 x 10‑9 mbar (1,2 x 105 a 1x10‑7 Pa). As válvulas BGV suportarão 1,2 bar absoluto em qualquer direção, permitindo que a linha de vácuo acima da bomba seja ventilada com a válvula fechada.

O requisito de atuação de baixa potência em apenas 1 W permite a conexão direta à linha de bombas a seco de última geração da Edwards sem qualquer fonte de alimentação externa adicional e facilita a instalação simples do tipo "plug and play". 

Os interruptores de palheta podem ser usados pelo equipamento de controle para determinar se a válvula está aberta ou fechada, eles também contêm LEDs para fornecer uma exibição visual da posição da válvula. Cada válvula é equipada com um solenoide de 24V d.c. e um plugue pré-cabeado para conexão direta à bomba de vácuo de última geração da Edwards. Esse plugue de soquete "D" de 15 vias oferece um único ponto de conexão para a alimentação do solenoide e o sinal dos indicadores de posição do interruptor de palheta. O cabo de tomada "D" de 15 vias e os indicadores de posição do interruptor de palheta são fornecidos opcionalmente com válvulas BGV. No entanto, o comprimento do cabo é de cerca de 50 cm e um cabo de extensão mais longo é necessário para conectar a uma bomba ou a um controlador local.   

Para conectar a válvula pneumática BGV LOTO aos produtos legados da Edwards, o cabo de interface BGV TIM deve ser usado. A funcionalidade dos LEDs não está disponível em produtos legados, pois as bombas não fornecem energia de 24 V CC para ativar os LEDs. 

Segurança LOTO em aço inoxidável BGV

Segurança LOTO em aço inoxidável BGV

Como funcionam as válvulas de gaveta em aço inoxidável BGV com recursos de segurança LOTO?

O mecanismo de vedação em cunha simples, mas inovador, incorporando planadores PEEK, torna a válvula especialmente adequada para aplicações com altos níveis de subprodutos de processo no fluxo de gás: 

  • Sem óleo, graxa ou peças móveis complexas dentro da válvula, eliminando os riscos de danos ao mecanismo devido à contaminação por detritos do processo 
  • Os planadores PEEK não fornecem contato metal com metal e atuam para controlar a compressão do anel o-ring 
  • À medida que a porta fecha, o anel o-ring passa através da superfície de vedação brevemente antes de vedar, ajudando a limpar os detritos da superfície de vedação, proporcionando assim uma melhor vedação 
  • As válvulas LOTO podem ser travadas com segurança. Proporciona um ambiente de trabalho seguro durante a manutenção 
  • Atuação de baixa potência em apenas 1 W. Conexão direta à bomba seca de última geração da Edwards 
  • Capaz de suportar 1,2 bar absoluto em qualquer direção. Permite que a bomba continue funcionando durante a manutenção 
  • Solenoide pneumático e opção pré-cabeada. Instalação simples pré-configurada “plug and play” 
  • Construção em aço inoxidável e design robusto. Longa vida útil e confiabilidade em ambientes adversos 
  • Mecanismo de vedação simples e sem graxa. Minimiza os danos causados por partículas em processos empoeirados 

Ao usar válvulas pneumáticas BGV LOTO

A válvula pneumática BGV LOTO pode ser conectada diretamente às nossas bombas de vácuo a seco de última geração, permitindo total funcionalidade. Os produtos de última geração incluem: bombas iXH, iXL, iXM e GXS.  

Para conectar a válvula pneumática BGV LOTO aos nossos produtos legados, o cabo de interface BGV Mk2 TIM deve ser usado. Os produtos legados incluem: bombas iGX, GX (ou iQ e iH através do módulo iTIM).

Válvulas de gaveta HVA para ultra-alto vácuo e alta temperatura de cozimento

GV1040M

GV1040M

Válvulas de gaveta manuais e pneumáticas GV

A linha GV de válvulas de gaveta em aço inoxidável seladas por fole foi projetada para aplicações que exigem alta vedação geral contra vazamentos e um mínimo de hidrocarbonetos na atmosfera residual.

Essas válvulas de qualidade superior oferecem alta integridade de vácuo juntamente com máxima condutância. As válvulas estão disponíveis com opções de flange de ISO, CF (metal selado) para aplicações em ultra-alto vácuo que exigem temperaturas de aquecimento maiores.

Os corpos das válvulas em aço inoxidável são soldados a vácuo, um processo especial que inclui um aquecimento de 1100 ˚C. Isso elimina qualquer possibilidade de vazamentos virtuais e garante um produto com caraterísticas de baixa emissão de gases.

Um fole de aço inoxidável soldado a laser veda eficazmente o atuador da válvula. O conceito proporciona facilidade de manutenção e permite que o mecanismo de gaveta e conexão seja removido enquanto a válvula permanece no local.

  • Remoção no local do mecanismo de gaveta e de conexão para facilitar a manutenção.
  • Vazamentos virtuais eliminados devido à fabricação brasada a vácuo.
  • Acabamento eletropolido por dentro e por fora.
  • Design compacto com alta condutância.
  • Opções manuais ou pneumáticas.
  • O indicador de posição do microinterruptor é padrão na versão pneumática, adequado para campos magnéticos.
  • Longos períodos de uso entre manutenções.
  • Baixa vibração e choque.
  • Livre escolha de orientação.
  • Ampla faixa de orifício de 40 mm/1,56 pol. até orifício de 320 mm/12,48 pol.
  • Opções de flange – ISO, CF (metal selado)
  • Vácuo brasado a 1100 ˚C para eliminar vazamentos virtuais.
BGV Stainless Steel Gate Valve with LOTO Safety Feature - Datasheet

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Funcionários da Edwards estão no corredor sorrindo
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