แนวทาง SEMI S30 สําหรับวัสดุที่มีพลังงานและความปลอดภัยใน SubFab

วัสดุที่มีพลังงานคือสารเคมีที่คายความร้อน ไพโรฟอร์ หรือทําปฏิกิริยากับน้ําอย่างอันตราย กล่าวอีกนัยหนึ่งคือ: สารเหล่านี้ทั้งหมดจะจัดเก็บพลังงานในปริมาณมาก ซึ่งอาจปล่อยออกมาอย่างรวดเร็วและไม่สามารถควบคุมได้ ซึ่งเกิดจากการกระทําทางความร้อนหรือเชิงกล หรือคลื่นกระแทก

แนวทาง SEMI S30 เป็นชุดเกณฑ์ความปลอดภัยสําหรับการจัดหา การจัดเก็บ การจัดการ และการใช้วัสดุที่มีพลังงานในกระบวนการวิจัยและพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการผลิต แนวทางนี้เป็นชุดข้อควรระวังด้านความปลอดภัยขั้นต่ํา และใช้กับทุกขั้นตอนของกระบวนการ ตั้งแต่การจ่ายสารเคมีไปจนถึงการบําบัด

Steve Cottle ผู้จัดการอาวุโสด้านการใช้งานที่ Edwards แนะนําแนวทางความปลอดภัย SEMI S30 และอธิบายว่าเหตุใดแนวทางดังกล่าวจึงมีความสําคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

กระบวนการหลายอย่างในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ใช้สารเคมีเชิงปฏิกิริยา ดังนั้น สารเคมีที่ใช้ในกระบวนการจึงเป็นวัสดุที่มีพลังงาน และบางครั้งก็เป็นผลพลอยได้ของกระบวนการด้วยเช่นกัน มีความเสี่ยงต่อการระเบิดหรือไฟไหม้เสมอหากจัดการวัสดุเหล่านี้อย่างไม่ถูกต้อง ดังนั้น แนวทาง SEMI S30 จึงช่วยรับรองความปลอดภัยของบุคลากรและการติดตั้งในโรงงาน SubFab

เวลาสอนเราว่า SubFab มีแนวโน้มที่จะเกิดอุบัติเหตุมากกว่าห้องปลอดเชื้อ ซึ่งเป็นที่ที่เกิดการผลิตแผ่นชิพ ความปลอดภัยของ SubFab ควรเป็นสิ่งที่ต้องคํานึงถึงตั้งแต่เริ่มต้น เมื่อระบบและการติดตั้งได้รับการออกแบบและนําไปใช้งาน ดังนั้น ทุกอย่างเริ่มต้นด้วยการเลือกระบบการจัดการสุญญากาศและไอเสียที่เหมาะสม ซึ่งมีคุณภาพสูงสุดและการออกแบบที่เหมาะสมที่สุด

ประสบการณ์แสดงให้เห็นว่าวิธีที่ปลอดภัยที่สุดในการออกแบบระบบสุญญากาศและการบําบัด ได้แก่ ซอฟต์แวร์การสร้างแบบจําลองสุญญากาศที่เป็นกรรมสิทธิ์และการทดสอบเทคโนโลยี ทีมผู้เชี่ยวชาญด้านการใช้งานทั่วโลกของ Edwards มีความเชี่ยวชาญในการออกแบบ ทดสอบ และปรับปรุงการติดตั้งดังกล่าว

ระบบการจัดการสุญญากาศและไอเสียของ Edwards ได้พิสูจน์คุณสมบัติของตนในกระบวนการต่างๆ โดยใช้วัสดุที่มีพลังงานสูง และเราตรวจสอบประสิทธิภาพอย่างใกล้ชิด จนถึงปัจจุบัน การติดตั้งเหล่านี้ทั้งหมดสอดคล้องกับเจตนาของส่วนที่เกี่ยวข้องทั้งหมดของแนวทาง SEMI S30

เมื่อคุณออกแบบ SubFab คุณไม่ควรปล่อยให้เกิดอะไรขึ้นได้บ้าง ด้วยการใช้แนวทาง SEMI S30 เป็นรากฐานและการใช้ความรู้ความชํานาญของ Edwards ในการออกแบบการติดตั้งที่เหมาะสมที่สุด เราจึงสามารถสร้าง SubFab ที่ปลอดภัยที่สุดในโลกได้