A SEMI S30 irányelv az energetikai anyagokra és a SubFab biztonságára vonatkozóan

Az energetikai anyagok olyan vegyi anyagok, amelyek veszélyesen exotermek, piroforosak, vagy vízreaktívak. Más szóval: ezek az anyagok nagy mennyiségű energiát tárolnak, amely gyorsan és ellenőrizetlenül szabadulhat fel, hő- vagy mechanikai hatások vagy lökéshullámok hatására.

A SEMI S30 irányelvek biztonsági kritériumokat tartalmaznak az energetikai anyagok beszerzésére, tárolására, kezelésére és felhasználására vonatkozóan a félvezető-kutatási és -fejlesztési és -gyártási folyamatokban. Az irányelv a biztonsági óvintézkedések minimális készlete, és a folyamat minden fázisára vonatkozik, a vegyszerellátástól a gázkezelésig.

Steve Cottle, az Edwards vezető alkalmazási menedzsere bemutatja a SEMI S30 biztonsági irányelvet, és elmagyarázza, miért olyan fontosak ezek az irányelvek a félvezetőiparban.

A félvezetők gyártásának számos folyamata reaktív kémiát alkalmaz. Tehát a folyamathoz használt vegyi anyagok energetikus anyagok, és néha a folyamat melléktermékei is. Ezeknek az anyagoknak a helytelen kezelése esetén mindig fennáll a robbanás vagy a tűz veszélye. Ezért a SEMI S30 irányelvek segítenek a személyzet és a berendezések biztonságának biztosításában a SubFab létesítményekben.

Az idő megtanította nekünk, hogy a SubFab még incidensekre is hajlamosabb, mint a tisztatér, ahol a lapkagyártás történik. A SubFab biztonsága a kezdetektől fogva aggodalomra ad okot a rendszerek és a berendezések tervezésekor és üzembe helyezésekor. Tehát minden a legkiválóbb minőségű és a legmegfelelőbb kialakítású vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszerek megfelelő kiválasztásával kezdődik.

A tapasztalatok azt mutatják, hogy a vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszer tervezésének legbiztonságosabb módszere a szabadalmaztatott vákuummodellező szoftver és a technológia tesztelése. Az Edwards globális alkalmazásspecialista csapatai rendelkeznek a szükséges szakértelemmel az ilyen berendezések tervezéséhez, teszteléséhez és finomításához.

Az Edwards vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszerei beváltak a különböző energetikai anyagokkal végzett folyamatokban, teljesítményüket pedig szorosan figyelemmel kísérjük. Eddig ezek a telepítések megfelelnek a SEMI S30 irányelv minden vonatkozó szakaszának.

A SubFab tervezésekor semmit sem szabad a véletlenre hagyni. A SEMI S30 irányelv alapján és az Edwards szakértelmének alkalmazásával a legmegfelelőbb telepítések tervezésénél a világ legbiztonságosabb SubFab-jait építhetjük.