SEMI S30 關於 SubFab 中高能材料與安全的準則
在 SubFab 環境是存放所有設備以保持晶圓廠的無塵室正常運作的設施間，可能是個危險的環境。其中一項風險是由高能材料所構成，這是一些半導體製程的副產物。
影片與文字稿
半導體製程中的高能材料是什麼？
高能材料是指具有危險性放熱、自燃，或遇水反應的化學物質。換言之：所有這些物質都會儲存大量能量，在熱力或機械作用或衝擊波的啟動下，這些能量會不受控制地快速釋放。
降低高能材料的風險：SEMI S30 準則
SEMI S30 準則是一套在半導體研發與製程中採購、儲存、處理和使用高能材料的安全標準。準則是最基本的安全預防措施，並適用於從化學品供應到排減的所有製程階段。
愛德華資深應用經理 Steve Cottle 介紹 SEMI S30 安全指南，說明此指南在半導體產業為何如此重要。
SEMI S30 準則為何對 SubFab 而言很重要？
許多製造半導體中的製程採用反應化學。因此用於製程的化學品是高能材料，有時製程的副產品也是。當沒有正確處理這些材料時，就會有爆炸或火災的風險。因此，SEMI S30 準則有助於確保 SubFab 設施的人員與安裝安全。
半導體製造商如何確保 SubFab 的安全？
時間告訴我們，SubFab 比晶圓生產的無塵室更容易發生事故。SubFab 的安全性應從一開始系統和安裝設計並投入運行時就納入考量。也就是說，一切都從最高品質與最合適設計的真空與排氣管理系統選擇開始。
經驗顯示，設計真空與減排系統時，最安全的方法包括專屬的真空建模軟體與技術測試。本公司愛德華團隊的全球應用專家皆具備設計、測試與改善此類安裝的專業知識。
愛德華的真空與排氣管理系統已在各種高能材料製程中證明了其優點，我們也密切監控其性能。到目前為止，所有這些安裝都符合 SEMI S30 準則所有相關部分的要求。
當您設計 SubFab 時，應該把一切都考慮周全，不留任何偶然因素。藉由使用 SEMI S30 準則作為基礎，並運用愛德華的專業知識來設計最適合的安裝，我們可以打造全球最安全的 SubFab。
Steve Cottle
資深應用經理
