Hướng dẫn SEMI S30 về vật liệu năng lượng và an toàn trong SubFab

Môi trường SubFab, phòng tiện ích chứa tất cả các thiết bị để giữ cho phòng sạch của nhà máy hoạt động, có thể là một môi trường nguy hiểm. Một trong những rủi ro được đặt ra bởi các vật liệu năng lượng, một sản phẩm phụ của một số quy trình bán dẫn.

VIDEO & BẢN SAO

Vật liệu năng lượng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn là gì?

Vật liệu năng lượng là các hóa chất tỏa nhiệt nguy hiểm, dễ cháy, hoặc phản ứng với nước. Nói cách khác: tất cả các chất này lưu trữ lượng năng lượng cao, có thể được giải phóng nhanh chóng và không kiểm soát được, bắt đầu bởi các tác động nhiệt hoặc cơ học hoặc sóng xung.

Giảm thiểu rủi ro của vật liệu năng lượng: hướng dẫn SEMI S30

Hướng dẫn SEMI S30 là bộ tiêu chí an toàn cho việc mua sắm, lưu trữ, xử lý và sử dụng vật liệu năng lượng trong các quy trình R&D và sản xuất chất bán dẫn. Hướng dẫn này là một bộ biện pháp phòng ngừa an toàn tối thiểu và áp dụng cho mọi giai đoạn của quy trình, từ cung cấp hóa chất đến xử lý.

Steve Cottle, Giám đốc Ứng dụng Cấp cao tại Edwards, giới thiệu Hướng dẫn An toàn SEMI S30 và giải thích tại sao các hướng dẫn này lại quan trọng như vậy trong ngành công nghiệp bán dẫn.

Tại sao hướng dẫn SEMI S30 lại quan trọng trong SubFab?

Nhiều quy trình trong sản xuất chất bán dẫn sử dụng hóa học phản ứng. Vì vậy, các hóa chất được sử dụng cho quy trình là vật liệu năng lượng và đôi khi, các sản phẩm phụ của quy trình cũng vậy. Luôn có nguy cơ cháy nổ hoặc cháy nổ khi xử lý các vật liệu này không đúng cách. Do đó, hướng dẫn SEMI S30 giúp đảm bảo an toàn cho nhân viên và cơ sở lắp đặt tại các cơ sở SubFab.

Làm thế nào một nhà sản xuất chất bán dẫn có thể đảm bảo sự an toàn của SubFab?

Thời gian đã dạy chúng tôi rằng SubFab thậm chí còn dễ xảy ra sự cố hơn phòng sạch, nơi sản xuất wafer diễn ra. An toàn của SubFab nên là mối quan tâm ngay từ đầu, khi các hệ thống và hệ thống lắp đặt được thiết kế và vận hành. Vì vậy, tất cả bắt đầu với việc lựa chọn đúng hệ thống quản lý chân không và khí thải có chất lượng cao nhất và thiết kế phù hợp nhất.

Kinh nghiệm cho thấy rằng phương pháp an toàn nhất để thiết kế một hệ thống chân không và xử lý khí bao gồm phần mềm mô hình hóa chân không độc quyền và thử nghiệm công nghệ. Đội ngũ chuyên gia ứng dụng toàn cầu của Edwards có chuyên môn để thiết kế, kiểm tra và tinh chỉnh các hệ thống như vậy.

Hệ thống quản lý chân không và khí thải của Edwards đã chứng minh được giá trị của chúng trong các quy trình khác nhau với các vật liệu năng lượng và chúng tôi theo dõi chặt chẽ hiệu suất của chúng. Cho đến nay, tất cả các hệ thống này đều tuân thủ ý định của tất cả các phần liên quan của hướng dẫn SEMI S30.

Khi bạn thiết kế SubFab, bạn không nên để bất cứ điều gì ngẫu nhiên. Bằng cách sử dụng hướng dẫn SEMI S30 làm nền tảng và áp dụng bí quyết của Edwards để thiết kế các lắp đặt phù hợp nhất, chúng tôi có thể xây dựng các SubFab an toàn nhất trên thế giới.