Wytyczne SEMI S30 dotyczące materiałów energetycznych i bezpieczeństwa w SubFab

Materiały energetyczne to substancje chemiczne, które są niebezpiecznie egzotermiczne, piroforyczne lub reaktywne w wodzie. Innymi słowy: wszystkie te substancje magazynują duże ilości energii, które mogą być szybko i niekontrolowanie uwalniane, inicjowane przez działania termiczne lub mechaniczne lub fale uderzeniowe.

Wytyczne SEMI S30 to zbiór kryteriów bezpieczeństwa dotyczących pozyskiwania, przechowywania, obsługi i stosowania materiałów energetycznych w badaniach i rozwoju półprzewodników oraz procesach produkcyjnych. Wytyczne stanowią minimalny zestaw środków ostrożności i dotyczą każdej fazy procesu, od dostawy substancji chemicznych po oczyszczanie.

Steve Cottle, starszy kierownik ds. zastosowań w firmie Edwards, przedstawia wytyczne bezpieczeństwa SEMI S30 i wyjaśnia, dlaczego są one tak ważne w branży półprzewodnikowej.

W wielu procesach produkcji półprzewodników stosuje się chemię reaktywną. W związku z tym substancje chemiczne wykorzystywane w procesie są materiałami energetycznymi, a czasami są to również produkty uboczne procesu. W przypadku niewłaściwego obchodzenia się z tymi materiałami zawsze istnieje ryzyko wybuchu lub pożaru. Dlatego wytyczne SEMI S30 pomagają zapewnić bezpieczeństwo personelu i instalacji w obiektach SubFab.

Czas nauczył nas, że SubFab jest jeszcze bardziej podatny na incydenty niż pomieszczenie czyste, w którym odbywa się produkcja płytek. Bezpieczeństwo SubFab powinno być kwestią priorytetową od samego początku, kiedy systemy i instalacja są projektowane i oddawane do eksploatacji. Wszystko zaczyna się więc od właściwego doboru najwyższej jakości i najbardziej odpowiedniej konstrukcji systemów zarządzania próżnią i spalinami.

Doświadczenie pokazuje, że najbezpieczniejsza metoda projektowania systemu próżniowego i układu oczyszczania spalin obejmuje opatentowane oprogramowanie do modelowania próżni i testowanie technologii. Nasze zespoły specjalistów ds. zastosowań na całym świecie dysponują wiedzą fachową w zakresie projektowania, testowania i doskonalenia takich instalacji.

Systemy kontroli próżni i wylotu firmy Edwards udowodniły swoje zalety w różnych procesach z wykorzystaniem materiałów energetycznych i ściśle monitorujemy ich wydajność. Do tej pory wszystkie te instalacje są zgodne z intencją wszystkich odpowiednich części wytycznych SEMI S30.

Projektując SubFab, nie należy pozostawiać niczego przypadkowi. Wykorzystując wytyczne SEMI S30 jako podstawę i stosując wiedzę firmy Edwards w celu zaprojektowania najbardziej odpowiednich instalacji, możemy zbudować najbezpieczniejsze podfabryki na świecie.