Your browser is not supported

You are using a browser we do not support any longer. To continue visiting our website, please choose one of the following supported browsers.

Search Edwards Vacuum
Terjemahan laman web ini menggunakan AI

Penganalisis Gas Residual

Keseimbangan sempurna antara prestasi tinggi dan aksesibiliti

Penganalisis gas residual

Penganalisis gas residu RGA

Pelbagai Penganalisis Gas Residual kami hadir dengan tiga varian: apa jua yang anda pilih, semuanya mudah dan berkesan untuk digunakan, memberikan anda keselesaan dengan RGA yang berprestasi tinggi dan cekap di sisi anda.

Manfaat Unik

Pengukuran tekanan total

untuk kawalan proses penuh

Dua filamen

untuk kebolehpercayaan dan masa operasi yang tertinggi

Pada paparan unit

untuk pengukuran asas tanpa PC

Bahagian yang boleh diganti oleh pelanggan
Fungsi Degas
Perlindungan Sumber Ion dan EM

Semua RGA dilengkapi dengan perisian yang khusus dan mudah digunakan.

Ia membolehkan anda menjejak proses anda secara masa nyata dari komputer riba anda dan melakukan analisis terperinci bagi sehingga 16 unit yang berbeza.

Bagi mereka yang ingin melihat gambaran ringkas, unit ini dilengkapi dengan paparan terbina dalam yang unik yang dapat menunjukkan jenis gas utama serta tekanan keseluruhan sistem anda tanpa perlu menyambung melalui komputer riba.

RGA melakukan analisis gas dan komposisinya, ini diperlukan untuk:

  • Pengesanan dan pengenalan kebocoran
  • Cari dan kenal pasti pencemar
  • Sahkan ketulenan gas
  • Jaminan kualiti produk/proses
  • Diagnostik dan kawalan proses & peralatan
  • Mengoptimumkan prestasi proses dan hasil

Penyelesaian sempurna dalam pelbagai aplikasi:

  • Proses semikonduktor
  • Filem nipis dan paparan
  • Rawatan haba vakum
  • Pengeringan beku vakum
  • Penyelidikan & pembangunan
  • Fizik tenaga tinggi

Penganalisis gas utama PRA

Menyampaikan keseimbangan sempurna antara prestasi tinggi dan aksesibiliti.

  • Tersedia dalam empat varian untuk memenuhi keperluan proses anda, sama ada anda hanya memerlukan model asas atau sesuatu yang lebih sensitif/berkisar.
  • PRA adalah titik permulaan yang sempurna untuk menganalisis proses anda.
Penganalisis Gas Residual RGA

Penganalisis gas residu julat luas WRA

Model teratas, dengan spesifikasi yang memimpin pasaran.

  • Tersedia dalam dua varian 1-200 atau 1-300 amu, anda boleh mengukur pelbagai jenis gas/produk sampingan dari proses anda.
  • Ini dipadankan dengan peningkatan sensitiviti berbanding PRA untuk membolehkan ketepatan yang lebih tinggi daripada pengukuran anda.
Penganalisis gas residu RGA

Sistem Penganalisis Gas Residual eRGA1

  • Analisis gas yang tepat dengan pilihan yang boleh disesuaikan untuk tekanan yang berbeza. Reka bentuknya yang padat mengintegrasikan Analis Gas Residual Edwards PRA/WRA dan sebuah stesen pam turbomolekul T-station 85.
  • Pilih dari pelbagai pilihan saluran masuk untuk fleksibiliti dalam menyambung kepada mana-mana proses. Sesuai untuk pengesanan kebocoran, pengenalan pencemar, pengesahan ketulenan gas, dan diagnostik proses.
  • Dengan perisian mesra pengguna dan konfigurasi meja, ia mudah digunakan.
  • Sesuai untuk pelbagai aplikasi dan pasaran, eRGA1 memastikan analisis yang tepat dengan kebolehpercayaan dan fleksibiliti.

Alami kuasa analisis gas dengan sistem eRGA1.

Pekerja Edwards berdiri di koridor sambil tersenyum
PENYELESAIAN PERKHIDMATAN

Hapuskan Waktu Henti yang Tidak Dirancang. Maksimumkan Kecekapan. Minimakan Kos — Kekal Terdepan dengan ServicePlan™