eRGA1 - Datasheet
残留ガス分析
高性能と操作性の完璧なバランス
RGA残留ガス分析器
当社の残留ガス分析器には、3つのバリエーションがあります。いずれもシンプルで効果的な操作性能を備えており、高い性能と効率を実現するRGAがそばにある安心感を得られます。
独自のメリット
すべてのRGAに専用の使いやすいソフトウェアが搭載されています
これにより、お手持ちのラップトップからリアルタイムでプロセスを追跡し、装置の詳しい分析を最大16台まで行うことができます。
スナップショットビューを希望される場合、装置には独自の組込ディスプレイが搭載されているため、PCに接続することなく、お客様のシステムにおける主要なガスのタイプや、全体の圧力を確認することができます。
RGAは、以下などの用途で必要なガスとその組成を分析します。
- リーク検出とリーク箇所の特定
- 汚染物質の検出と特定
- ガス純度の確認
- 製品/プロセスの品質保証
- 装置/プロセスの診断と制御
- プロセスのパフォーマンスと生産性を最適化
幅広い用途に最適なソリューション
- 半導体プロセス
- 薄膜およびディスプレイ
- 真空熱処理
- 真空フリーズドライ
- 研究開発
- 高エネルギー物理学
PRA：ベーシックなガス分析器
高性能と操作性の完璧なバランスを実現。
- ベーシックなモデルから、より高感度・高範囲な測定が可能なモデルまで、プロセスのニーズに合わせて4つのタイプをご用意しています。
- PRAは、プロセス分析の第一歩に最適です。
WRA：広範な残留ガス分析器
市場をリードする仕様を備えた、製品ラインのトップモデル。
- 1～200 amuと1～300 amuの2種類があり、プロセスで発生するさまざまなガス/副生成物を測定できます。
- PRAより高い感度を備え、さらに高い精度での測定が可能です。
eRGA1残留ガス分析システム
- さまざまな圧力に対してカスタマイズ可能なオプションを備えた正確なガス分析を行います。コンパクトな設計により、エドワーズPRA/WRA残留ガス分析器とTステーション85ターボ分子ポンプステーションが統合されています。
- 複数のインレットオプションから選択できるため、あらゆるプロセスに柔軟に接続できます。リーク検出、汚染物質の同定、ガス純度の検証、およびプロセス診断に最適です。
- 使いやすいソフトウェアとテーブルトップ構成により、簡単に使用できます。
- eRGA1は、さまざまな用途や市場に適しており、信頼性と柔軟性に優れた正確な分析を実現します。
eRGA1システムでガス分析のパワーを体験してください。
eRGA1残留ガス分析器のオリフィスおよびバイパス
eRGA1残留ガス分析器UHV高伝導バルブ
eRGA1残留ガス分析器UHVリークバルブ
