PRA & WRA RGA - Brochure
残留ガス分析
高性能と操作性の完璧なバランス
RGA残留ガス分析器
RGAには2つのタイプがあります。どちらもシンプルで効果的な操作性能を備え、高い性能と効率を実現します
すべてのRGAには専用の使いやすいソフトウェアが搭載されており、お客様のPCからリアルタイムでプロセスを追跡し、最大16台まで装置の詳しい分析を行うことができます。
スナップショットビューを希望される場合、装置には独自の組込ディスプレイが搭載されているため、PCに接続することなく、お客様のシステムにおける主要なガスのタイプや、全体の圧力を確認することができます。
PRA：ベーシックなガス分析器
高性能と操作性の完璧なバランスを実現。
- ベーシックなモデルから、より高感度・高範囲な測定が可能なモデルまで、プロセスのニーズに合わせて4つのタイプをご用意しています。
- PRAは、プロセス分析の第一歩に最適です。
WRA：広範な残留ガス分析器
市場をリードする仕様を備えた、製品ラインのトップモデル。
- 1～200 amuと1～300 amuの2種類があり、プロセスで発生するさまざまなガス/副生成物を測定できます。
- PRAより高い感度を備え、さらに高い精度での測定が可能です。
独自のメリット
用途と市場
RGAは、以下などの用途で必要なガスとその組成を分析します。
- リーク検出とリーク箇所の特定
- 汚染物質の検出と特定
- ガス純度の確認
- 製品/プロセスの品質保証
- 装置/プロセスの診断と制御
- プロセスのパフォーマンスと生産性を最適化
幅広い用途に最適なソリューション
- 半導体プロセス
- 薄膜およびディスプレイ
- 真空熱処理
- 真空フリーズドライ
- 研究開発
- 高エネルギー物理学
- カタログ
- データシート
PRA & WRA RGA - Datasheet
