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Analizadores de gas residual

El equilibrio perfecto entre rendimiento y accesibilidad de alto nivel

Analizadores de gas residual

Analizadores de gas residual RGA

Nuestra gama de analizadores de gas residual se presenta en tres variantes: cualquiera que sea la que elija, todas son sencillas y eficaces de manejar, y le ofrecen la comodidad de tener a su lado un RGA eficiente y de alto rendimiento.

Ventajas únicas

Medición de presión total

para un control completo del proceso

Filamento doble

para obtener la más alta confiabilidad y tiempo de actividad

Pantalla en la unidad

para mediciones básicas sin una PC

Piezas sustituibles por el cliente
Función de desgasificación
Protección de la fuente de iones y EM

Todos los RGA están equipados con un software específico y fácil de usar

Le permite realizar un seguimiento de su proceso en tiempo real desde su computadora portátil y realizar un análisis detallado de hasta 16 unidades diferentes.

Para aquellos que desean una vista instantánea, las unidades tienen una pantalla integrada única que puede mostrar los principales tipos de gas, así como la presión general del sistema sin tener que conectarse con una computadora portátil.

Los RGA realizan análisis de gases y de su composición, por lo que es necesario para lo que se indica a continuación:

  • Detección e identificación de fugas
  • Encuentre e identifique contaminantes
  • Verifique la pureza del gas
  • Garantía de calidad de productos y procesos
  • Diagnóstico & control del equipo de proceso
  • Optimice el rendimiento y la producción de los procesos

La solución perfecta en una amplia gama de aplicaciones:

  • Procesos semiconductores
  • Película delgada y pantalla
  • Tratamiento térmico al vacío
  • Secado por congelación al vacío
  • Investigación & desarrollo
  • Física de altas energías

Analizador de gas principal PRA

Ofrece el equilibrio perfecto entre rendimiento y accesibilidad de alto nivel.

  • Disponible en cuatro variantes para adecuarse a sus necesidades de proceso, ya sea que solo necesite un modelo básico o un dispositivo con más sensibilidad o rango.
  • El PRA es el punto de partida perfecto para analizar sus procesos.
Analizador de gas residual RGA

Analizador de gas residual de amplio espectro WRA

Modelos de primera línea con especificaciones líderes en el mercado.

  • Disponible en dos variantes, 1-200 o 1-300 amu, puede medir un amplio espectro de gases o subproductos de sus procesos.
  • Esto se combina con una mayor sensibilidad, en comparación con el PRA, para obtener una mayor precisión en las mediciones.
Analizador de gas residual RGA

Sistema analizador de gas residual eRGA1

  • Análisis preciso de gas con opciones personalizables para diferentes presiones. Su diseño compacto integra un analizador de gas residual Edwards PRA/WRA y una estación de bombeo turbomolecular T-station 85.
  • Elija entre varias opciones de entrada para obtener flexibilidad en la conexión a cualquier proceso. Ideal para detección de fugas, identificación de contaminantes, verificación de pureza de gas y diagnóstico de procesos.
  • Con software fácil de usar y configuración de tablero, es sencillo.
  • Adecuado para una variedad de aplicaciones y mercados, el eRGA1 ofrece un análisis preciso con fiabilidad y flexibilidad.

Experimente el poder del análisis de gas con el sistema eRGA1.

Empleados de Edwards parados en el pasillo sonriendo
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