PRA & WRA RGA - Datasheet
Restgasanalysatoren
Das perfekte Zusammenspiel aus hoher Leistung und Benutzerfreundlichkeit
RGA-Restgasanalyse
Unser Sortiment an Restgasanalysatoren umfasst drei Varianten. Ganz gleich, für welche Variante Sie sich entscheiden, sie alle sind einfach und effektiv zu bedienen und bieten Ihnen den Komfort eines leistungsstarken und effizienten RGA.
Einzigartige Vorteile
Alle RGAs sind mit einer speziellen und benutzerfreundlichen Software ausgestattet
Sie ermöglicht es Ihnen, von Ihrem Laptop aus Ihren Prozess in Echtzeit zu verfolgen und detaillierte Analysen von bis zu 16 verschiedenen Einheiten durchzuführen.
Zur schnellen Übersicht sind die RGAs jeweils mit einem eigenen Display versehen, auf dem sich die Hauptgastypen sowie der Gesamtdruck des Systems ablesen lassen, ohne dass ein Laptop angeschlossen werden muss.
RGAs analysieren Gase und deren Zusammensetzung, dies ist erforderlich für:
- Lecksuche und -erkennung
- Finden und Identifizieren von Verunreinigungen
- Prüfen der Gasreinheit
- Produkt-/Prozessqualitätssicherung
- Prozess- und Gerätediagnose und -steuerung
- Optimieren von Prozessleistung und Ergebnissen
Die perfekte Lösung in einer Vielzahl von Anwendungen:
- Halbleiterprozesse
- Dünnfilm und Anzeige
- Vakuumwärmebehandlung
- Vakuumgefriertrocknung
- Forschung und Entwicklung
- Hochenergiephysik
PRA Primärgasanalysator
Er verfügt über ein perfektes Zusammenspiel aus hoher Leistung und Benutzerfreundlichkeit.
- Erhältlich in vier Modellen, um Ihren Prozessanforderungen gerecht zu werden, egal, ob Sie nur ein Basismodell oder eines mit mehr Empfindlichkeit/Reichweite benötigen.
- Ein PRA-Gerät ist der perfekte Ausgangspunkt für die Analyse Ihrer Prozesse.
WRA Restgasanalysator mit breitem Anwendungsbereich
Spitzenmodelle mit marktführenden Leistungsdaten.
- Erhältlich in zwei Ausführungen – 1-200 oder 1-300 amu. So können Sie ein breites Spektrum an Gasen/Nebenprodukten in Ihren Prozessen messen.
- Hinzu kommt eine erhöhte Empfindlichkeit verglichen mit dem PRA, die noch präzisere Messungen ermöglicht.
Restgasanalysesystem eRGA1
- Präzise Gasanalyse mit anpassbaren Optionen für unterschiedliche Drücke. Das kompakte Design umfasst einen PRA/WRA-Restgasanalysator und einen Turbomolekularpumpstand T-Station 85 von Edwards.
- Wählen Sie aus mehreren Einlassoptionen für Flexibilität beim Anschluss in jedem Prozess. Ideal für Leckerkennung, Verschmutzungserkennung, Überprüfung der Gasreinheit und Prozessdiagnose.
- Dank benutzerfreundlicher Software und Tischkonfiguration ist das System einfach zu bedienen.
- Der eRGA1 ist für verschiedene Anwendungen und Märkte geeignet und gewährleistet eine genaue Analyse sowie Zuverlässigkeit und Flexibilität.
Erleben Sie mit dem eRGA1-System die Möglichkeiten der Gasanalyse.
Restgasanalysator eRGA1 – Öffnung und Bypass
Restgasanalysator eRGA1 – UHV-Ventil mit hoher Leitfähigkeit
Restgasanalysator eRGA1 – UHV-Dosierventil
