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    • 가스 분석기 (Residual Gas Analyser, RGA)

    가스 분석기 (Residual Gas Analyser, RGA)

    고성능과 접근성의 완벽한 균형

    잔류 가스 분석기(Residual Gas Analyser, RGA)

    RGA 잔류 가스 분석기

    당사의 잔류 가스 분석기(Residual Gas Analyser, RGA) 제품군에는 세 가지 옵션이 있습니다. 어떤 제품을 선택하든 간단하고 효율적으로 작동할 수 있으며, 고성능 및 효율적인 RGA의 편안함을 제공합니다.

    고유 장점

    총 압력 측정

    전체 공정 제어용

    듀얼 필라멘트

    최고의 안정성과 가동 시간

    유닛 상 디스플레이

    PC 없이 기본 측정용

    고객이 부품 교체 가능
    탈기 기능
    이온원 및 EM 보호

    모든 RGA에 사용하기 쉬운 전용 소프트웨어 장착

    랩톱에서 실시간으로 프로세스를 추적하고 최대 16개의 장치에 대한 상세 분석을 수행할 수 있습니다.

    미리보기의 경우, 유닛에 독특한 디스플레이가 내장되어 있어 노트북을 연결하지 않고도 주요 가스 유형과 전체 시스템의 압력을 볼 수 있습니다.

    RGA는 가스 및 그 구성을 분석합니다. 이는 다음 경우에 필요합니다.

    • 누출 감지 및 식별
    • 오염 물질을 찾아 식별합니다.
    • 가스 순도를 확인합니다.
    • 제품/프로세스 품질 보증
    • 공정 & 장비 진단 및 제어
    • 프로세스 성능 및 산출량 최적화

    다양한 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션:

    • 반도체 공정
    • 박막 및 디스플레이
    • 진공 열 처리
    • 진공 동결 건조
    • 연구&개발(R&D)
    • 고에너지 물리학

    PRA 일차 가스 분석기

    고성능과 접근성의 완벽한 균형을 제공

    • 기본 모델이나 감도/범위가 더 넓은 모델이 필요한 경우, 프로세스 요구 사항에 맞게 4가지 변형 모델이 제공됩니다.
    • PRA는 프로세스 분석을 위한 완벽한 시작점입니다.
    잔류 가스 분석기 RGA

    WRA 광범위 잔류 가스 분석기

    업계 최고의 사양을 갖춘 최고급 모델

    • 1-200 또는 1-300 amu의 두 가지 모델이 있으며, 공정의 광범위한 가스/부산물을 측정할 수 있습니다.
    • PRA에 비해 민감도가 향상되어 측정이 더욱 정확합니다.
    잔류 가스 분석기 RGA

    eRGA1 잔류 가스 분석 시스템

    • 다양한 압력에 대한 맞춤형 옵션을 제공하는 정밀한 가스 분석. 컴팩트한 설계로 Edwards PRA/WRA 잔류 가스 분석기와 T 스테이션 85 터보 분자 펌핑 스테이션이 통합되었습니다.
    • 다양한 입구 옵션 중에서 선택하여 모든 공정에 유연하게 연결할 수 있습니다. 누출 감지, 오염 물질 식별, 가스 순도 검증 및 공정 진단에 이상적입니다.
    • 사용자 친화적인 소프트웨어와 테이블 상판 구성으로 사용이 간편합니다.
    • 다양한 응용 분야 및 시장에 적합한 eRGA1은 신뢰성과 유연성을 갖춘 정확한 분석을 보장합니다.

    eRGA1 시스템으로 가스 분석의 힘을 경험해 보십시오.

    복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
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