PRA & WRA RGA - Datasheet
가스 분석기 (Residual Gas Analyser, RGA)
고성능과 접근성의 완벽한 균형
RGA 잔류 가스 분석기
당사의 잔류 가스 분석기(Residual Gas Analyser, RGA) 제품군에는 세 가지 옵션이 있습니다. 어떤 제품을 선택하든 간단하고 효율적으로 작동할 수 있으며, 고성능 및 효율적인 RGA의 편안함을 제공합니다.
고유 장점
모든 RGA에 사용하기 쉬운 전용 소프트웨어 장착
랩톱에서 실시간으로 프로세스를 추적하고 최대 16개의 장치에 대한 상세 분석을 수행할 수 있습니다.
미리보기의 경우, 유닛에 독특한 디스플레이가 내장되어 있어 노트북을 연결하지 않고도 주요 가스 유형과 전체 시스템의 압력을 볼 수 있습니다.
RGA는 가스 및 그 구성을 분석합니다. 이는 다음 경우에 필요합니다.
- 누출 감지 및 식별
- 오염 물질을 찾아 식별합니다.
- 가스 순도를 확인합니다.
- 제품/프로세스 품질 보증
- 공정 & 장비 진단 및 제어
- 프로세스 성능 및 산출량 최적화
다양한 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션:
- 반도체 공정
- 박막 및 디스플레이
- 진공 열 처리
- 진공 동결 건조
- 연구&개발(R&D)
- 고에너지 물리학
PRA 일차 가스 분석기
고성능과 접근성의 완벽한 균형을 제공
- 기본 모델이나 감도/범위가 더 넓은 모델이 필요한 경우, 프로세스 요구 사항에 맞게 4가지 변형 모델이 제공됩니다.
- PRA는 프로세스 분석을 위한 완벽한 시작점입니다.
WRA 광범위 잔류 가스 분석기
업계 최고의 사양을 갖춘 최고급 모델
- 1-200 또는 1-300 amu의 두 가지 모델이 있으며, 공정의 광범위한 가스/부산물을 측정할 수 있습니다.
- PRA에 비해 민감도가 향상되어 측정이 더욱 정확합니다.
eRGA1 잔류 가스 분석 시스템
- 다양한 압력에 대한 맞춤형 옵션을 제공하는 정밀한 가스 분석. 컴팩트한 설계로 Edwards PRA/WRA 잔류 가스 분석기와 T 스테이션 85 터보 분자 펌핑 스테이션이 통합되었습니다.
- 다양한 입구 옵션 중에서 선택하여 모든 공정에 유연하게 연결할 수 있습니다. 누출 감지, 오염 물질 식별, 가스 순도 검증 및 공정 진단에 이상적입니다.
- 사용자 친화적인 소프트웨어와 테이블 상판 구성으로 사용이 간편합니다.
- 다양한 응용 분야 및 시장에 적합한 eRGA1은 신뢰성과 유연성을 갖춘 정확한 분석을 보장합니다.
eRGA1 시스템으로 가스 분석의 힘을 경험해 보십시오.
eRGA1 잔류 가스 분석기 오리피스 및 바이패스
eRGA1 잔류 가스 분석기 UHV 높은 전도도 밸브
eRGA1 잔류 가스 분석기 UHV 누출 밸브
