PRA & WRA RGA - Datasheet
殘留氣體分析儀
高階性能與可及性之間的完美平衡
RGA 殘存氣體分析儀
我們的殘留氣體分析儀系列提供三種版本：無論您選擇哪一種，操作起來全都既簡易又有效率，高效能且高效率的 RGA 為您帶來安心感。
獨特優勢
所有 RGA 均配備易於使用的專用軟體
本產品可讓您從筆記型電腦即時追蹤製程，以及進行最多 16 個不同裝置的詳細分析。
對於需要快照視圖的用戶，這些裝置具有獨特的機載顯示螢幕，可以在不透過筆記型電腦進行連接的情況下，顯示主要的氣體類型以及系統的整體壓力。
RGA 可分析氣體及其化合物，為以下製程所需：
- 滲漏檢測與識別
- 尋找並識別污染物
- 驗證氣體純度
- 產品/製程品質保證
- 製程與設備診斷與控制
- 優化製程效能與產出
廣泛範圍應用的完美解決方案：
- 半導體製程
- 薄膜與顯示器
- 真空熱處理
- 真空冷凍乾燥
- 研究與開發
- 高能物理
PRA 主要氣體分析儀
為您提供高階性能與可及性之間的完美平衡。
- 有四種機型可供選擇，無論您需要的是基本機型或是靈敏度/範圍較高的機型，皆可符合您的需求。
- PRA 是分析您製程的完美起點。
WRA 各式殘留氣體分析儀
頂級機型，擁有領先市場的規格。
- 提供兩種機型：1-200 或 1-300 amu，讓您可測量來自製程的各種氣體/副產物。
- 相較於 PRA，它具有更高的靈敏度，因此可以提高測量準確度。
eRGA1 殘留氣體分析儀系統
- 含有適用於不同壓力之可自訂選項的精確氣體分析。其精巧的設計整合愛德華 PRA/WRA 殘留氣體分析儀與 T-station 85 渦輪分子真空泵浦總成。
- 從多個進氣選項中進行選擇，以彈性地連接至任何製程。非常適合滲漏偵測、汙染識別、氣體純度驗證和製程診斷。
- 提供便於使用的軟體和桌上型配置，使用起來十分輕鬆。
- eRGA1 適用於各種應用和市場，可確保可靠又有彈性的精確分析。
透過 eRGA1 系統體驗氣體分析的強大功能。
eRGA1 殘留氣體分析儀孔口與旁通
eRGA1 殘留氣體分析儀 UHV 高電導閥
eRGA1 殘留氣體分析儀 UHV 測漏閥
