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殘留氣體分析儀

高階性能與可及性之間的完美平衡

殘留氣體分析儀

RGA 殘存氣體分析儀

我們的殘留氣體分析儀系列提供三種版本:無論您選擇哪一種,操作起來全都既簡易又有效率,高效能且高效率的 RGA 為您帶來安心感。

獨特優勢

總壓力測量

完整製程控制

雙燈絲

最高可靠性與正常運行時間

機載顯示器

不需 PC 的基本測量

客戶可更換零件
除氣功能
離子源和 EM 防護

所有 RGA 均配備易於使用的專用軟體

本產品可讓您從筆記型電腦即時追蹤製程,以及進行最多 16 個不同裝置的詳細分析。

對於需要快照視圖的用戶,這些裝置具有獨特的機載顯示螢幕,可以在不透過筆記型電腦進行連接的情況下,顯示主要的氣體類型以及系統的整體壓力。

RGA 可分析氣體及其化合物,為以下製程所需:

  • 滲漏檢測與識別
  • 尋找並識別污染物
  • 驗證氣體純度
  • 產品/製程品質保證
  • 製程與設備診斷與控制
  • 優化製程效能與產出

廣泛範圍應用的完美解決方案:

  • 半導體製程
  • 薄膜與顯示器
  • 真空熱處理
  • 真空冷凍乾燥
  • 研究與開發
  • 高能物理

PRA 主要氣體分析儀

為您提供高階性能與可及性之間的完美平衡。

  • 有四種機型可供選擇,無論您需要的是基本機型或是靈敏度/範圍較高的機型,皆可符合您的需求。
  • PRA 是分析您製程的完美起點。
殘留氣體分析儀 RGA

WRA 各式殘留氣體分析儀

頂級機型,擁有領先市場的規格。

  • 提供兩種機型:1-200 或 1-300 amu,讓您可測量來自製程的各種氣體/副產物。
  • 相較於 PRA,它具有更高的靈敏度,因此可以提高測量準確度。
殘留氣體分析儀 RGA

eRGA1 殘留氣體分析儀系統

  • 含有適用於不同壓力之可自訂選項的精確氣體分析。其精巧的設計整合愛德華 PRA/WRA 殘留氣體分析儀與 T-station 85 渦輪分子真空泵浦總成
  • 從多個進氣選項中進行選擇,以彈性地連接至任何製程。非常適合滲漏偵測、汙染識別、氣體純度驗證和製程診斷。
  • 提供便於使用的軟體和桌上型配置,使用起來十分輕鬆。
  • eRGA1 適用於各種應用和市場,可確保可靠又有彈性的精確分析。

透過 eRGA1 系統體驗氣體分析的強大功能。

愛德華員工站在走廊上微笑
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