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Analizzatori di gas residui

Il perfetto equilibrio tra prestazioni di fascia alta e accessibilità

Analizzatori di gas residui

Analizzatori di gas residui RGA

La nostra gamma di analizzatori di gas residui viene fornita con tre varianti: qualunque sia la tua scelta, sono tutti efficaci e semplici da utilizzare, per offrire il comfort di un RGA efficiente e ad alte prestazioni al tuo fianco.

Vantaggi unici

Misurazione della pressione totale

per il controllo completo del processo

Doppio filamento

per ottimizzare l'affidabilità e i tempi di attività

Sul display dell'unità

per misurazioni di base senza PC

Parti sostituibili dal cliente
Funzione di degassaggio
Protezione della sorgente di ioni e degli EM

Tutti gli RGA sono dotati di un software dedicato e facile da usare

Consente di tracciare il processo in tempo reale dal laptop e di effettuare analisi dettagliate fino a 16 unità diverse.

Per chi desidera una panoramica istantanea, le unità sono dotate di un unico display integrato in grado di mostrare i principali tipi di gas e la pressione complessiva del sistema senza doversi collegare tramite un laptop.

Gli RGA analizzano i gas e la loro composizione, il che è necessario per:

  • Rilevamento e identificazione delle perdite
  • Rilevamento e identificazione dei contaminanti
  • Verifica della purezza del gas
  • Controllo qualità del prodotto/processo
  • Diagnostica e controllo dell'apparecchiatura e dell'apparecchiatura di processo
  • Resa e prestazioni dei processi ottimizzate

La soluzione perfetta per un'ampia gamma di applicazioni:

  • Processi relativi ai semiconduttori
  • Film sottile e display
  • Trattamento termico tramite vuoto
  • Liofilizzazione tramite vuoto
  • Ricerca e sviluppo
  • Fisica delle alte energie

Analizzatore di gas primari PRA

Offre il perfetto equilibrio tra prestazioni di fascia alta e accessibilità

  • Disponibile in quattro varianti per soddisfare le esigenze di processo, sia che si necessiti solo di un modello base o di maggiore sensibilità/gamma.
  • Il PRA è il punto di partenza perfetto per analizzare i processi.
Analizzatore di gas residui RGA

Analizzatore di gas residui ad ampio spettro WRA

Modelli top di gamma, con specifiche leader del mercato.

  • Disponibile in due varianti 1-200 o 1-300 amu, consente di misurare un'ampia gamma di gas/prodotti dei tuoi processi.
  • Presenta inoltre una maggiore sensibilità rispetto al PRA per consentire una maggiore precisione delle tue misurazioni.
Analizzatore di gas residui RGA

Sistema analizzatore di gas residui eRGA1

  • Analisi precisa dei gas con opzioni personalizzabili per pressioni differenti. Il suo design compatto integra un analizzatore di gas residui Edwards PRA/WRA e una stazione di pompaggio turbomolecolare T-station 85.
  • Possibilità di scelta tra diverse opzioni di ingresso per la massima flessibilità di collegamento a qualsiasi processo. Ideale per il rilevamento delle perdite, l'identificazione dei contaminanti, la verifica della purezza del gas e la diagnostica dei processi.
  • Grazie al software intuitivo e alla configurazione da tavolo, è facile da usare.
  • Adatto a varie applicazioni e mercati, il modello eRGA1 assicura analisi accurate con affidabilità e flessibilità.

Scopri la potenza dell'analisi dei gas con il sistema eRGA1.

Dipendenti Edwards sorridenti nel corridoio
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