A másodlagos szivattyúk működéséhez és/vagy folyamatos működésének támogatásához elsődleges szivattyúra van szükség.
Számos tényezőt kell figyelembe venni az elsődleges és másodlagos szivattyúk megfelelő kombinációja vagy „illesztése” érdekében a biztonságos és optimális teljesítmény biztosítása érdekében.
Miért fontos a megfelelő szivattyúkombináció kiválasztása?
A helytelen kiválasztás következményei súlyosak lehetnek, az „elakadt” diffúziós szivattyútól (és jelentős olajszennyeződéstől) a turbomolekuláris szivattyú túlmelegedéséig.
Ezeket a követelményeket az alábbiakban ismertetjük, általános példákkal.
Mire használhatók az elsődleges és a másodlagos szivattyúk?
Az elsődleges vákuumszivattyú (PP) légköri nyomásra ürít.
Ezek közé tartoznak az olajtömítésű forgólapátos (OSRV), membrán-, csigás, többfokozatú Roots-, dugattyús, csavar- és folyadékgyűrűs szivattyúk.
A másodlagos szivattyúknál (SP) az elsődleges szivattyúval és néha más más másodlagos szivattyúkkal történő kezdeti evakuálás szükséges a szükséges nyomás elérése érdekében a működés előtt.
Például olajdiffúziós szivattyúk (ODP), turbomolekuláris szivattyúk (TMP), gőzboosterek (VB), mechanikus nyomásfokozók (MB), ionos szublimációs szivattyúk (IGP), titán szublimációs szivattyúk (TSP), nem párolgatható szublimációs szivattyúk (NEG), kriogén, molekuláris drag és regeneratív szivattyúk.
Bizonyos esetekben a folyamatos működéshez támogató elővákuum-szivattyúkra van szükség; ez az ODP, TMP és VB szivattyúkra vonatkozik.
Az elsődleges és másodlagos szivattyúk összehangolásakor figyelembe veendő tényezők
A PP és az SP egyeztetéséhez több dolgot is figyelembe kell venni:
- A PP kezdeti leszivattyúzási ideje addig a pontig, ahol az SP „átveszi” a szivattyúzási folyamatot. Ez különösen fontos, ha az SP a PP-vel egyidejűleg indul, és egy adott időn belül el kell érni egy adott nyomást, hogy megakadályozza az SP „időtúllépését”.
- A gázáramlás és a nyomáscsúcs kezdeti „lökése” az SP indításakor. Ezt az alábbi ábra szemlélteti, ahol az nXDS15i scroll a PP, az nEXT300D pedig a másodlagos TMP; az átbocsátás csúcsa a nyomásnövekedésnek felel meg, amikor az SP „átveszi” a szivattyúzást.
Ez ~1,5 mbar-ra emelkedne a PP-ben, amint az alább látható:
- A maximális előnyomást (MBP)/kritikus előnyomást (CBP) nem szabad túllépni. Ez korlátozza a maximális gázáramlást. A PP-nek elegendő fordulatszám-teljesítménnyel kell rendelkeznie a szükséges elővákuum-nyomás mellett, nem pedig a PP csúcs-/névleges fordulatszámát kell feltételeznie.
- Az MBP értéket a gyártó nulla áramlásra adhatja meg, nem pedig áramlással.
- Tisztaság (száraz szivattyú szükséges?).
- A PP-nek integrálhatónak kell lennie az SP-vel?
- Milyen a PP jellemző maradék légköre - különösen kompressziós TMP-vel kombinálva? Ez azért fontos, mert például a TMP viszonylag alacsony kompressziós aránya korlátozhatja a H2-hez elérhető végnyomást, ha az elővákuum-szivattyúban jelentős a H2-parciális nyomás.
Töltse le a teljes alkalmazási útmutatót
