Ügyfeleink termelékenységének támogatása
A SubFab rendelkezésre állásának maximalizálása
Napjaink gyorsan változó, összekapcsolt világában tisztában vagyunk azzal, hogy ügyfeleink termelékenységének maximalizálására van szükség. Ezt úgy tesszük meg, hogy biztosítjuk, hogy technológiájuk elsőként kerüljön a piacra, miközben továbbra is arra törekszünk, hogy csökkentsük a gyártási folyamat által okozott kockázatokat és környezeti kihívásokat.
Az Edwards integrált megoldásai felmérik az ügyfél teljes vákuum- és kipufogógáz-kezelési igényeit, globális tapasztalataink alapján, az ágazat legfejlettebb technológiáival. Integrált rendszereink a termékek és szolgáltatások megismételhetőségének és helytakarékosságának előnyeit kínálják. Javítják a termelékenységet, a biztonságot és a környezeti biztonságot. Integrált rendszereink közvetlen előnyei a gyorsabb telepítés és beállítás, a méretgazdaságosság és a fokozott biztonság.
Az EZENITH fejlett rendszerekből álló portfólióját kínálja, amelyek teljesen integrált vákuum- és kipufogógáz-kezelési megoldásokat kínálnak minden félvezetőipari folyamatalkalmazáshoz. Az EZENITH rendszerek a következőket kínálják:
- Folyamatközpontú vákuum- és kipufogógáz-kezelés
- Komponensek teljes integrációja
- Minden funkció támogatása hatékony, integrált vezérlőfelülettel
- Hatékony helykihasználásra tervezve - akár 70%-os megtakarítás
- A szolgáltatások teljes körű belső elosztása, szabályozása és felügyelete több mint 60%-kal csökkenti a közműcsatlakozásokat, miközben zökkenőmentes és megbízható működést biztosít
Csak egy szivattyúval és egy gázkezelő eszközzel még mindig nem áll készen a folyamat lefuttatására. Csatlakoztassa a szivattyúkimenetet, szükség esetén csatlakoztassa a vezetékfűtéseket, vezesse a víz-, öblítő- és elektromos vezetékeket, majd készítse elő az összes vezérlőjelet. Meg kell fontolnia a kettős burkolatot, a gázszivárgás-észlelést és azt is, hogy hogyan kívánja elvégezni a szivárgás-ellenőrzést a szerszám karbantartása után. Mindez a tervezési időbe és pénzbe kerül. Megértjük a problémát, ezért integrált, folyamatspecifikus megoldásokat fejlesztettünk ki.
Integrált rendszereink már a legtöbb félvezető-gyártási folyamathoz készen állnak. Az elszívó fűtőegységek a megfelelő hőmérsékletre vannak beállítva a költségek minimalizálása és az üzemidő maximalizálása érdekében. Szivárgásellenőrző portokat és kapuszelepeket helyezünk el a szükséges helyekre. A teljes rendszer zárt, és ami a legfontosabb, csak a szükséges közművek egyikét kell biztosítania. A gázokat, a vizet, az áramot és a vezérlőjeleket ott osztjuk el, ahol szükség van rájuk, és egy használatra kész rendszert hozunk létre.