Környezetbarátabb és megbízhatóbb alacsonyabb tulajdonlási költséggel
Innovatív szárazszivattyú kínálatunk élvonalbeli technológiát nyújt, amelyet a félvezető- és elektronikai gyártókörnyezet fejlesztésére terveztek.
Minden sorozatot kifejezetten úgy terveztek, hogy előnyöket nyújtson a környezeti teljesítményben, megbízhatóságot biztosítson zord körülmények között, valamint rugalmasságot könnyű terhelésű alkalmazásokban.
- iXM sorozat – alacsony energiafogyasztás, magas teljesítmény
- iXH sorozat zord környezetekhez
- iXL sorozat könnyű terhelésű alkalmazásokhoz
Az Edwards iXM alacsony energiafogyasztású száraz szivattyúi valós folyamatfejlesztéseket hozhatnak, növelt rendelkezésre állással, csökkentett környezeti hatással és költségelőnyökkel a legkritikusabb alkalmazásai számára.
- Az energiahatékony gyökérmechanizmus akár 60%-kal csökkentheti a bemeneti teljesítményt, mérsékelve a környezeti hatást és csökkentve a tulajdonlási költségeket
- A gázgátló technológia és a hőtervezési fejlesztések négyszeres korrózióállóságot tesznek lehetővé az előző sorozatunkhoz képest.
- Fejlett porkezelési funkciók maximális megbízhatóságot és meghosszabbított szivattyú élettartamot biztosítanak többrétegű maratási folyamatokhoz
- Csökkentett energiafogyasztás a CVD folyamatokhoz
- Kompakt és könnyű kialakítás, amely rendkívül alacsony zajjal és rezgéssel párosul, nagyobb sokoldalúságot biztosít.
- Az iXM sorozat XCEDE technológiával érhető el a fokozott korrózióállóság érdekében.
Az iXH szárazszivattyú sorozat új mércét állít fel a kemény folyamatokhoz való alkalmasság, a megbízhatóság és az alacsonyabb tulajdonlási költség terén.
- Széles hőmérséklet-tartomány lehetővé teszi a szivattyú optimalizálását a kondenzációból és bevonatból származó melléktermékek minimális felhalmozódása érdekében.
- Az iXH Mk2 száraz szivattyúk még hosszabb élettartamot biztosítanak a legkeményebb folyamatok során, és jelentős javulást érhetnek el az energiahatékonyság terén.
- Az innovatív szivattyúzáró technológia meghosszabbíthatja a folyamat élettartamát és csökkentheti a szivárgási kockázatokat
- XCEDE technológiával elérhető a fokozott korrózióállóság érdekében.
Az iXL sorozat alacsony energiafogyasztású, kompakt száraz szivattyúk sorozata könnyű terhelésű alkalmazásokhoz, mint például a wafer-kezelés, PVD és metrológia.
- Gyors kamrapumpálás és rendkívül alacsony energiafogyasztás
- Az iXL600(N) és iXL1000(N) száraz szivattyúk a legkisebb és legcsendesebb szivattyúk közé tartoznak, amelyek könnyű terhelésű alkalmazásokhoz elérhetők.
- Az iXL600M és iXL1000M változatok folyamatkeményítettek és kifejezetten dielektromos (oxid) maratásra és hasonló alkalmazásokra lettek tervezve.
- Az iXL600(N) és iXL1000(N) száraz szivattyúk nagy szívóteljesítményt és alacsony energiafogyasztást kínálnak
- The iXL900R is the fastest loadlock pump currently available in its class for FPD loadlock applications. Customers can significantly reduce their operating costs and installation times with this new pump, which is particularly well suited to the largest loadlock chambers used for plasma vapour deposition (PVD) applications. In addition, customers will need fewer pumps per loadlock chamber, which reduces installation time, systemisation costs, maintenance and utilities consumption.
- A Zöld mód lehetővé teszi a csökkentett energiafelhasználást tétlen időszakok alatt, csökkentve a költségeket és segítve a környezeti teljesítmény javítását.