A vákuummérők fejlesztése történelmileg a vákuumszivattyúk fejlesztésével párhuzamosan történt.
A nyomás mérése számos okból fontos, a vákuumkörnyezet állapotának jellemzésétől kezdve a leszivattyúzási rutinok, a reteszelés és a folyamatszabályozás integrálásán át egészen a biztonságig.
Mit kell figyelembe venni a vákuummérő kiválasztásakor?
A vákuum fegyelem szinte egyedülálló abban, hogy 15 vagy több rendű dinamikus tartományt biztosít az alkalmazásban.
A szivattyúkhoz hasonlóan nincs olyan nyomásmérő mechanizmus, amely lefedné ezt a tartományt. Számos további szempontot és változót kell figyelembe venni a nyomásmérő kiválasztásakor.
Ezek az alábbiakat foglalják magukban:
- Műszaki paraméterek, például pontosság/bizonytalanság (a szisztematikus hiba tartománya)
- Precizitás (a véletlenszerű hiba szintje)
- Megszüntetés
- Mérési tartomány
- A kimenet linearitása
- Megismételhetőség
- Robusztusság (folyamatkompatibilitás, sugárzás- és mágnesesmező-ellenállás)
- Reagálási idők
Ezenkívül a méret, a kommunikációs protokollok és a költségek is befolyásolják a választékot.
Két fő típusú mérőműszer
Közvetlen leolvasás vagy mechanikus mérőműszerek
A közvetlen leolvasású vagy mechanikus mérőműszereket azért hívják, mert „közvetlenül” mérik a nyomást, mint a területenkénti erőt (egy szilárd vagy folyadék területen).
Ezek a „teljes” (Dalton-törvény: a gázkeverék teljes nyomása = ∑ az egyes gázok részleges nyomása) nyomásmérők, és magukban foglalják az U-csöves és kapacitív membránnyomásmérőket, valamint a Bourdon-nyomásmérőket.
Közvetett mérőműszerek
Az indirekt mérőműszerek gyakran a legpraktikusabb és leginkább alkalmazott mérőműszerek, amelyek a gáz nyomásfüggő fizikai tulajdonságát mérik, például a hővezetést vagy a viszkozitást, vagy egy számsűrűséggel arányos fizikai mennyiséget.
Ezek a teljes nyomásmérők közé tartoznak a Pirani, a Bayard-Alpert forrókatód ionizációs (BAG), a Penning és a forgórotoros mérők. Az ionizációra támaszkodó parciális nyomásmérők (maradékgáz-analizátorok) használhatók a vákuum relatív összetevőinek elemzésére.
Részletesebb tanulmányért olvassa el a Wiley online könyvtárában található „Gázkorrekciós tényezők vákuumnyomásmérőkhöz” című tanulmányt.
Töltse le a teljes alkalmazási útmutatót
Termékeink
