Über Prozesskammerlösungen
Vibrationsarm und wartungsfrei
Unsere wartungsfreie Maglev-Turbomolekularpumpenreihe STP setzt Maßstäbe für konsistente und zuverlässige Leistung. Der Rotor ist vollständig magnetgelagert – damit sind diese Pumpen die erste Wahl für Anwendungen, die hohe Verfügbarkeit und kohlenwasserstofffreies Pumpen bei minimalem Wartungsaufwand und sehr geringen Vibrationen erfordern.
Fortschrittliche Hochdurchsatz-Serie
Die Advanced-Reihe bietet hohen Durchsatz und ist perfekt für Ihre Ätz- und CVD-Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet:
- Kleine Stellfläche
- Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s
- Durchsatz bis zu 6 slm und verbesserte H2-, N2- und Ar-Leistung
- Voll integrierter Controller und Stromversorgung
- Ultrahochvakuum
- Vibrationsarme Ultrahochvakuum-Baureihe
Voll integrierter Controller und Stromversorgung
Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:
- Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit und -kosten
- Die eingebaute Stromversorgung reduziert den Energieverbrauch bei hohem Gasdurchsatz um bis zu 32 %.
- Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s
Ultrahochvakuum
Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:
- Gleichstromversorgung macht Batterien überflüssig.
- Controller in halber Einbauhöhe mit Auto-Tuning und erweiterten Diagnosefunktionen
- Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1.000 l/s und <10–10 mbar Enddruck, CF-Flansch
- Die „C“-Version für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich.
Vibrationsarme Ultrahochvakuum-Baureihe
Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.
Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:
- Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit und -kosten
- Die eingebaute Stromversorgung reduziert den Energieverbrauch bei hohem Gasdurchsatz um bis zu 32 %.
- Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s
Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:
- Gleichstromversorgung macht Batterien überflüssig.
- Controller in halber Einbauhöhe mit Auto-Tuning und erweiterten Diagnosefunktionen
- Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1.000 l/s und <10–10 mbar Enddruck, CF-Flansch
- Die „C“-Version für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich.
Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
