โซลูชันบนห้องอบ
การสั่นสะเทือนต่ําและไม่ต้องบํารุงรักษา
หากคุณต้องการประสิทธิภาพที่สม่ําเสมอและเชื่อถือได้โดยไม่ต้องบํารุงรักษา กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล STP Maglev ของเราจะกําหนดมาตรฐาน โรเตอร์ถูกแขวนลอยโดยแบริ่งแม่เหล็กทั้งหมด - เหมาะสําหรับการใช้งานที่ต้องการเวลาทํางานสูง การปั๊มที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน การบํารุงรักษาต่ํา และการสั่นสะเทือนต่ํา
ซีรีส์ทรูพุตสูงขั้นสูง
ซีรี่ส์ Advanced ให้ปริมาณงานในระดับสูง เหมาะสําหรับการกัดเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการ CVD ของคุณ:
- พื้นที่ฐานเครื่องขนาดกะทัดรัด
- ความเร็วรอบการทํางานตั้งแต่ 300 ลิตร/วินาที ถึง 4,500 ลิตร/วินาที
- ปริมาณงานสูงสุด 6 slm และประสิทธิภาพ H2, N2 และ Ar ที่เพิ่มขึ้น
- ตัวควบคุมและแหล่งจ่ายไฟในตัวเต็มรูปแบบ
- สุญญากาศสูงพิเศษ
- ซีรี่ส์สุญญากาศระดับสูงพิเศษที่มีการสั่นสะเทือนต่ํา
โซลูชันปั๊มเทอร์โบแบบครบวงจรนี้ช่วยขจัดสายเคเบิลเชื่อมต่อและชั้นวางที่จําเป็นตามปกติ:
- ลดพื้นที่ติดตั้ง ประหยัดอสังหาริมทรัพย์โรงงานอันมีค่า เวลาในการติดตั้ง และค่าใช้จ่าย
- แหล่งจ่ายไฟในตัวช่วยลดการใช้พลังงานได้ถึง 32% ที่อัตราการไหลของก๊าซสูง
- ทํางานที่ความเร็วรอบการทํางานตั้งแต่ 300 ลิตร/วินาที ถึง 4,500 ลิตร/วินาที
ซีรี่ส์สุญญากาศระดับสูงพิเศษนําเสนอความน่าเชื่อถือ ประสิทธิภาพ ความสะอาด และระดับการสั่นสะเทือนต่ําที่เหนือกว่า:
- แหล่งจ่ายไฟกระแสตรงทําให้ไม่จําเป็นต้องใช้แบตเตอรี่
- ตัวควบคุมแบบครึ่งแร็คมีคุณสมบัติการปรับอัตโนมัติและคุณสมบัติการวินิจฉัยขั้นสูง
- ความเร็วตั้งแต่ 300 ลิตร/วินาที ถึง 1,000 ลิตร/วินาที และแรงดันสูงสุด <10-10 mbar หน้าแปลน CF
- นอกจากนี้ยังมีรุ่น "C" สําหรับกระบวนการที่สมบุกสมบัน
รุ่นสุญญากาศระดับสูงพิเศษที่มีการสั่นสะเทือนต่ํารวมเอาคุณสมบัติทั้งหมดของซีรี่ส์สุญญากาศระดับสูงพิเศษเข้าไว้ด้วยกัน รวมถึงตัวแยกการสั่นสะเทือนในตัวเพื่อมอบประสิทธิภาพการสั่นสะเทือนต่ําพิเศษให้กับคุณ