På kammerløsninger
Lave vibrationer og ingen vedligeholdelse
Hvis du har brug for ensartet, pålidelig ydeevne uden vedligeholdelse, sætter vores udvalg af STP Maglev turbomolekylære pumper standarden. Rotoren er helt ophængt af magnetiske lejer – perfekt til applikationer, der kræver høj oppetid, kulbrintefri pumpning, minimal vedligeholdelse og lave vibrationer.
Avanceret højkapacitetsserie
Advanced-serien tilbyder høje gennemløbsniveauer, der er perfekte til dine halvlederætsnings- og CVD-processer:
- Kompakt design
- Gennemløbshastigheder fra 300 l/s til 4.500 l/s
- Gennemløb på op til 6 slm og øget H2-, N2- og Ar-ydelse
- Fuldt integreret styreenhed og strømforsyning
- Ultrahøjt vakuum
- Ultrahøjvakuumserie med lav vibration
Denne alt-i-en turbopumpeløsning eliminerer det tilslutningskabel og rack, der normalt kræves:
- Reduceret fodaftryk, hvilket sparer værdifulde fabriksejendomme, installationstid og omkostninger
- Indbygget strømforsyning reducerer energiforbruget med op til 32 % ved høje gasgennemstrømninger
- Drift med gennemløbshastigheder fra 300 l/s til 4.500 l/s
Ultrahøjvakuumserien tilbyder uovertruffen pålidelighed, ydeevne, renlighed og klasseførende lave vibrationsniveauer:
- Jævnstrøm eliminerer behovet for batterier
- Halv-rack-styreenhed har autotuning og avancerede diagnostiske funktioner
- Hastigheder fra 300 l/s til 1.000 l/s og <10-10 mbar sluttryk CF-flange
- "C"-version til barske processer fås også
Ultra High Vacuum Low Vibration-versionen indeholder alle funktionerne i Ultra High Vacuum-serien plus en indbygget vibrationsisolator, der giver dig ultralav vibrationsydelse.