Kammioratkaisut
Vähäinen tärinä ja huoltovapaa
Jos tarvitset tasaista, luotettavaa suorituskykyä ilman huoltoa, STP Maglev -turbomolekyylipumppuvalikoimamme asettaa standardin. Roottori on kiinnitetty kokonaan magneettilaakereihin – täydellinen sovelluksiin, joissa vaaditaan pitkää käyttöaikaa, hiilivetytöntä pumppausta, minimaalista huoltoa ja vähäistä tärinää.
Edistyksellinen suuren kapasiteetin sarja
Advanced-sarja tarjoaa suuren läpivirtauksen, joka sopii täydellisesti puolijohteiden etsaus- ja CVD-prosesseihin:
- Pieni koko
- Virtausnopeudet 300-4 500 l/s
- Jopa 6 slm:n läpivirtaus ja parempi H2-, N2- ja Ar-teho
- Täysin integroitu ohjain ja virtalähde
- Erittäin suuri tyhjiö
- Äärimmäisen korkean alipaineen ja alhaisen tärinätason sarja
Tämä all-in-one-turbopumppuratkaisu poistaa perinteisesti tarvittavan liitäntäkaapelin ja telineen:
- Pienempi tilantarve, säästää arvokasta kiinteistöomaisuutta, asennusaikaa ja kustannuksia
- Auton sähköjärjestelmä vähentää energiankulutusta jopa 32 % suurilla kaasuvirroilla
- Toimii virtausnopeuksilla 300-4 500 l/s
Ultra High Vacuum -sarja tarjoaa vertaansa vailla olevaa luotettavuutta, suorituskykyä, puhtautta ja luokkansa alhaisimpia tärinätasoja:
- Tasavirta poistaa paristojen tarpeen
- Puolitelineen ohjaimessa on automaattinen viritys ja edistyneet diagnostiikkatoiminnot
- Nopeudet 300-1 000 l/s ja loppupaine <10-10 mbar CF-laippa
- Saatavana myös C-versio vaativiin prosesseihin
Ultra High Vacuum Low Vibration -versiossa on kaikki Ultra High Vacuum -sarjan ominaisuudet sekä sisäänrakennettu tärinänvaimennin, joka takaa erittäin alhaisen tärinätason.