Soluciones para cámaras
Baja vibración y sin mantenimiento
Si necesita un rendimiento constante y fiable con cero mantenimiento, nuestra gama de bombas turbomoleculares STP Maglev establece el estándar. El rotor está totalmente suspendido por cojinetes magnéticos, perfectos para aplicaciones que requieren un tiempo de actividad elevado, un bombeo sin hidrocarburos, un mantenimiento mínimo y pocas vibraciones.
Serie avanzada de alto rendimiento
La serie Advanced ofrece altos niveles de rendimiento, perfectos para sus procesos de grabado de semiconductores y CVD:
- Tamaño compacto
- Velocidades de producción de 300 l/s a 4500 l/s
- Rendimiento de hasta 6 slm y mayor rendimiento de H2, N2 y Ar
- Controlador y fuente de alimentación totalmente integrados
- Vacío ultra alto
- Serie de vacío ultra alto y baja vibración
Esta solución de bomba turbomolecular todo en uno elimina el cable de conexión y el bastidor necesarios de forma convencional:
- Huella reducida, lo que ahorra valiosos bienes inmobiliarios de fábrica, tiempo de instalación y costes
- La fuente de alimentación de a bordo reduce el consumo de energía hasta en un 32 % con caudales de gas elevados
- Funcionamiento con velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s
La serie Ultra alto vacío ofrece una fiabilidad, un rendimiento, una limpieza y unos niveles de vibración bajos inigualables:
- La alimentación de CC elimina la necesidad de baterías
- El controlador de medio bastidor cuenta con funciones de autoajuste y diagnóstico avanzado
- Velocidades de 300 l/s a 1000 l/s y presión final <10-10 mbar brida CF
- También está disponible la versión “C” para procesos exigentes
La versión de Ultra Alto Vacío con Baja Vibración incorpora todas las características de la serie de Ultra Alto Vacío, además de un aislador de vibraciones integrado para ofrecerle un rendimiento de vibración ultrabajo.