Mengenai Penyelesaian Chamber
Getaran rendah dan tanpa penyelenggaraan
Jika anda memerlukan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai tanpa penyelenggaraan, rangkaian Pam Turbomolekul Maglev STP kami menetapkan piawaian. Rotor sepenuhnya digantung oleh galas magnetik - sesuai untuk aplikasi yang memerlukan masa operasi tinggi, pengepaman tanpa hidrokarbon, penyelenggaraan minimum dan getaran rendah.
Siri Aliran Tinggi Lanjutan
Siri Advanced menawarkan tahap hasil yang tinggi, sesuai untuk proses etsa dan CVD semikonduktor anda:
- Jejak padat
- Kelajuan aliran dari 300 l/s hingga 4,500 l/s
- Kelajuan aliran sehingga 6 slm dan peningkatan prestasi H2, N2 dan Ar
- Pengawal & Bekalan Kuasa Terpadu Sepenuhnya
- Vakum Ultra Tinggi
- Siri Vakum Ultra Tinggi Getaran Rendah
Penyelesaian pam turbo serba lengkap ini menghapuskan kabel sambungan dan rak yang biasanya diperlukan:
- Jejak dikurangkan, menjimatkan ruang kilang yang berharga, masa pemasangan dan kos
- Bekalan kuasa di atas kapal mengurangkan penggunaan tenaga sehingga 32% pada aliran gas yang tinggi
- Beroperasi dengan kelajuan aliran dari 300 l/s hingga 4,500 l/s
Siri Vakum Ultra Tinggi menawarkan kebolehpercayaan, prestasi, kebersihan dan tahap getaran rendah terkemuka dalam kelas yang tiada tandingan:
- Kuasa D.C. menghapuskan keperluan untuk bateri
- Pengawal separuh rak dilengkapi dengan penalaan automatik dan ciri diagnostik lanjutan
- Kelajuan dari 300 l/s hingga 1,000 l/s dan tekanan akhir <10-10 mbar flange CF
- Versi "C" untuk proses kasar juga tersedia
Versi Vakum Ultra Tinggi Getaran Rendah menggabungkan semua ciri siri Vakum Ultra Tinggi, ditambah dengan penyekat getaran terbina dalam untuk memberikan prestasi getaran ultra-rendah.