Rozwiązania na komorze
Niski poziom drgań i brak konieczności konserwacji
Nasza oferta pomp turbomolekularnych STP Maglev wyznacza standardy, jeśli potrzebna jest stała, niezawodna wydajność bez konieczności konserwacji. Wirnik jest całkowicie zawieszony na łożyskach magnetycznych - idealny do zastosowań wymagających długiego czasu pracy, pompowania bez węglowodorów, minimalnej konserwacji i niskich wibracji.
Zaawansowana seria o wysokiej przepustowości
Seria Advanced oferuje wysoki poziom wydajności, idealny do procesów wytrawiania półprzewodników i CVD:
- Kompaktowe wymiary
- Przepustowość od 300 l/s do 4500 l/s
- Przepustowość do 6 slm i zwiększona wydajność H2, N2 i Ar
- W pełni zintegrowany sterownik i zasilacz
- Bardzo wysokie podciśnienie
- Seria ultrawysokich próżni o niskich wibracjach
To kompleksowe rozwiązanie turbopompowe eliminuje konieczność stosowania konwencjonalnego kabla połączeniowego i stojaka:
- Mniejszy ślad węglowy, oszczędność cennych nieruchomości fabryki, czasu instalacji i kosztów
- Zasilanie pokładowe zmniejsza zużycie energii nawet o 32% przy dużych przepływach gazu
- Praca z wydajnością od 300 l/s do 4500 l/s
Seria Ultra High Vacuum oferuje niezrównaną niezawodność, wydajność, czystość i najniższy w swojej klasie poziom drgań:
- Zasilanie prądem stałym eliminuje konieczność stosowania akumulatorów
- Sterownik półraka jest wyposażony w funkcję automatycznego dostrajania i zaawansowane funkcje diagnostyczne
- Prędkości od 300 l/s do 1000 l/s i ciśnienie końcowe kołnierza CF <10-10 mbar
- Dostępna jest również wersja „C” do trudnych warunków
Wersja Ultra High Vacuum Low Vibration zawiera wszystkie funkcje serii Ultra High Vacuum oraz wbudowany tłumik drgań, zapewniając wyjątkowo niski poziom drgań.