Kammarlösningar
Låga vibrationer och inget underhåll
Om du behöver konsekvent, tillförlitlig prestanda utan underhåll sätter vårt sortiment av STP Maglev turbomolekylära pumpar standarden. Rotorn är helt upphängd av magnetlager – perfekt för tillämpningar som kräver hög drifttid, kolvätefri pumpning, minimalt underhåll och låga vibrationer.
Avancerad serie för hög genomströmning
Advanced-serien erbjuder hög genomströmning, perfekt för halvledaretsning och CVD-avjämning:
- Kompakt design
- Genomströmningshastigheter från 300 l/s till 4 500 l/s
- Genomströmning upp till 6 slm och ökad H2-, N2- och Ar-prestanda
- Helintegrerad styrenhet och strömförsörjning
- Ultrahögt vakuum
- Ultrahögvakuumserie med låg vibration
Denna allt-i-ett-turbopumplösning eliminerar den anslutningskabel och rack som normalt krävs:
- Minskat fotavtryck, vilket sparar värdefulla fastigheter, installationstid och kostnader
- Inbyggd strömförsörjning minskar energiförbrukningen med upp till 32 % vid höga gasflöden
- Fungerar med genomströmningshastigheter från 300 l/s till 4 500 l/s
Ultrahögvakuumserien erbjuder oöverträffad tillförlitlighet, driftsäkerhet, renhet och klassledande låga vibrationsnivåer:
- Likström eliminerar behovet av batterier
- Halvracksregulator med automatisk justering och avancerade diagnostikfunktioner
- Hastigheter från 300 l/s till 1 000 l/s och sluttryck <10-10 mbar CF-fläns
- ”C”-version för krävande processer finns också tillgänglig
Ultra High Vacuum Low Vibration-versionen har alla funktioner i Ultra High Vacuum-serien, plus en inbyggd vibrationsisolator som ger ultralåga vibrationsprestanda.