Em soluções de câmara
Baixa vibração e zero manutenção
Se você precisa de um desempenho consistente e confiável sem manutenção, nossa linha de bombas STP Maglev Turbomolecular define o padrão. O rotor é totalmente suspenso por rolamentos magnéticos- perfeitas para aplicações que exigem alto tempo de operação, bombeamento sem hidrocarbonetos, manutenção mínima e baixa vibração.
Série avançada de alto rendimento
A série avançada oferece altos níveis de rendimento, perfeitos para seus processos de gravação de semicondutores e CVD:
- Pegada compacta
- Velocidades de produção de 300 l/s a 4.500 l/s
- Rendimento de até 6 slm e aumento de desempenho de H2, N2 e Ar
- Controlador e fonte de alimentação totalmente integrados
- Vácuo ultra-alto
- Série de vibrações baixas e vácuo ultra-alto
Essa solução de bomba turbo multifuncional elimina o cabo de conexão e o rack convencionalmente necessários:
- Área ocupada reduzida, economizando valioso espaços físicos, tempo de instalação e custos
- A fonte de alimentação integrada reduz o consumo de energia em até 32% em altos fluxos de gás
- Operação com velocidades de produção de 300 l/s a 4.500 l/s
A série Ultra High Vacuum oferece confiabilidade, desempenho, limpeza e baixos níveis de vibração incomparáveis:
- A alimentação D.C. elimina a necessidade de baterias
- O controlador de meio rack apresenta ajuste automático e recursos avançados de diagnóstico
- Velocidades de 300 l/s a 1.000 l/s e <10-10 mbar pressão máxima Flange CF
- A versão “C” para processos difíceis também está disponível
A versão Ultra High Vacuum Low Vibration incorpora todos os recursos da série Ultra High Vacuum, além de um isolador de vibração integrado para proporcionar um desempenho de vibração ultrabaixo.