Oplossingen voor kamers
Weinig trillingen en geen onderhoud
Als u consistente, betrouwbare prestaties zonder onderhoud nodig hebt, is ons assortiment STP Maglev turbomoleculaire pompen de norm. De rotor is volledig opgehangen door magnetische lagers – perfect voor toepassingen die een hoge bedrijfstijd, koolwaterstofvrij pompen, minimaal onderhoud en lage trillingen vereisen.
Geavanceerde serie met hoge doorvoer
De Advanced-serie biedt een hoge doorvoer, perfect voor uw ets- en CVD-processen voor halfgeleiders:
- Compact formaat
- Doorvoersnelheden van 300 l/s tot 4.500 l/s
- Doorvoer tot 6 slm en hogere H2-, N2- en Ar-prestaties
- Volledig geïntegreerde controller en voeding
- Ultrahoog vacuüm
- Ultrahoogvacuümserie met lage trilling
Deze alles-in-één turbopompoplossing elimineert de aansluitkabel en het rack die normaal gesproken nodig zijn:
- Kleinere voetafdruk, bespaart waardevol fabriekspand, installatietijd en kosten
- De boordvoeding verlaagt het energieverbruik tot 32% bij hoge gasstromen
- Werkt met doorvoersnelheden van 300 l/s tot 4.500 l/s
De Ultra High Vacuum-serie biedt ongeëvenaarde betrouwbaarheid, prestaties, hygiëne en toonaangevende lage trillingsniveaus:
- DC-voeding maakt batterijen overbodig
- Half-rackregelaar met automatische afstemming en geavanceerde diagnostische functies
- Snelheden van 300 l/s tot 1.000 l/s en <10-10 mbar einddruk CF-flens
- 'C'-versie voor zware processen is ook verkrijgbaar
De Ultra High Vacuum Low Vibration-versie bevat alle functies van de Ultra High Vacuum-serie, plus een ingebouwde trillingsisolator voor ultralage trillingsprestaties.