Soluções para câmaras
Baixa vibração e sem manutenção
Se necessita de um desempenho consistente e fiável com zero manutenção, a nossa gama de bombas turbomoleculares STP Maglev define o padrão. O rotor está totalmente suspenso por rolamentos magnéticos - perfeito para aplicações que exigem um tempo de funcionamento elevado, bombeamento sem hidrocarbonetos, manutenção mínima e baixa vibração.
Série Avançada de Alto Desempenho
A série Advanced oferece elevados níveis de produtividade, perfeitos para os seus processos de gravação de semicondutores e CVD:
- Área de ocupação compacta
- Caudais de 300 l/s a 4500 l/s
- Produtividade até 6 slm e desempenhos aumentados de H2, N2 e Ar
- Controlador e fonte de alimentação totalmente integrados
- Vácuo ultra alto
- Série Ultra Alto Vácuo Baixa Vibração
Esta solução de bomba turbo tudo-em-um elimina o cabo de ligação e o suporte normalmente necessários:
- Pegada reduzida, poupando valiosos imóveis de fábrica, tempo de instalação e custos
- A fonte de alimentação a bordo reduz o consumo de energia até 32% com elevados caudais de gás
- Funcionamento com caudais de 300 l/s a 4500 l/s
A série Ultra High Vacuum oferece fiabilidade, desempenho, limpeza e níveis de vibração baixos inigualáveis:
- A alimentação CC elimina a necessidade de baterias
- Controlador de meia prateleira com sintonização automática e funcionalidades de diagnóstico avançadas
- Velocidades de 300 l/s a 1000 l/s e flange CF com pressão final <10-10 mbar
- Também está disponível a versão "C" para processos exigentes
A versão Ultra Alto Vácuo Baixa Vibração incorpora todas as características da série Ultra Alto Vácuo, mais um isolador de vibração incorporado para lhe proporcionar um desempenho de vibração ultrabaixo.