Kamramegoldások
Alacsony vibráció és karbantartásmentes
Ha konzisztens, megbízható, karbantartásmentes teljesítményre van szüksége, az STP Maglev turbómolekuláris szivattyúk termékcsaládja mércét állít. A rotor teljes egészében mágneses csapágyakkal van felfüggesztve - tökéletes a hosszú üzemidőt, szénhidrogénmentes szivattyúzást, minimális karbantartást és alacsony vibrációt igénylő alkalmazásokhoz.
Fejlett nagy áteresztőképességű sorozat
Az Advanced sorozat nagy átbocsátóképességet kínál, tökéletesen alkalmas a félvezető maratási és CVD folyamatokhoz:
- Kis helyigény
- Átbocsátási sebesség 300 l/s és 4500 l/s között
- Akár 6 slm átbocsátási képesség és megnövelt H2, N2 és Ar teljesítmény
- Teljesen integrált vezérlő és tápegység
- Ultramagas vákuum
- Ultramagas vákuumú, alacsony rezgésű sorozat
Ez az „univerzális” turbószivattyú-megoldás kiküszöböli a hagyományosan szükséges csatlakozókábelt és állványt:
- Kisebb helyigény, ami értékes gyári ingatlant, telepítési időt és költséget takarít meg
- A fedélzeti áramellátás akár 32%-kal csökkenti az energiafogyasztást nagy gázáramlásoknál
- 300 l/s és 4500 l/s közötti átbocsátási sebességgel működik
Az Ultra magas vákuum sorozat páratlan megbízhatóságot, teljesítményt, tisztaságot és kategóriájában első osztályú alacsony vibrációs szintet kínál:
- Az egyenáramú tápellátásnak köszönhetően nincs szükség elemekre
- Félállványos vezérlő automatikus hangolással és fejlett diagnosztikai funkciókkal
- Sebesség 300 l/s és 1000 l/s között és <10-10 mbar végnyomás CF karima
- „C” változat is kapható a nagy igénybevételt jelentő folyamatokhoz
Az Ultra High Vacuum Low Vibration változat az Ultra High Vacuum sorozat minden funkcióját magában foglalja, valamint beépített rezgésszigetelővel rendelkezik, amely ultraalacsony vibrációs teljesítményt biztosít.