Komorové riešenia
Nízke vibrácie a nulová údržba
Ak potrebujete konzistentný, spoľahlivý výkon bez potreby údržby, náš sortiment turbomolekulárnych čerpadiel STP Maglev stanovuje štandard. Rotor je úplne zavesený na magnetických ložiskách – ideálny pre aplikácie, ktoré vyžadujú dlhý čas prevádzky, čerpanie bez uhľovodíkov, minimálnu údržbu a nízke vibrácie.
Séria Advanced s vysokým výkonom
Séria Advanced ponúka vysokú kapacitu, ktorá je ideálna pre vaše procesy leptania polovodičov a CVD:
- Kompaktné rozmery
- Prietoková rýchlosť od 300 l/s do 4 500 l/s
- Kapacita až do 6 slm a zvýšený výkon H2, N2 a Ar
- Plne integrovaný regulátor a napájanie
- Ultra vysoké vákuum
- Séria s ultravysokým podtlakom a nízkymi vibráciami
Toto riešenie turbočerpadla typu „všetko v jednom“ eliminuje spojovací kábel a stojan, ktoré sa bežne vyžadujú:
- Menší pôdorys, úspora cenných výrobných nehnuteľností, času a nákladov na inštaláciu
- Palubné napájanie znižuje spotrebu energie až o 32 % pri vysokých prietokoch plynu
- Prevádzka s prietokom od 300 l/s do 4 500 l/s
Séria Ultra High Vacuum ponúka bezkonkurenčnú spoľahlivosť, výkon, čistotu a najnižšie úrovne vibrácií vo svojej triede:
- Jednosmerný prúd eliminuje potrebu batérií
- Regulátor polovice stojana disponuje funkciami automatického ladenia a pokročilej diagnostiky
- Rýchlosti od 300 l/s do 1 000 l/s a koncový tlak príruby CF < 10 – 10 mbar
- K dispozícii aj verzia „C“ pre náročné procesy
Verzia s ultravysokým vákuom a nízkymi vibráciami obsahuje všetky funkcie série s ultravysokým vákuom, plus zabudovaný tlmič vibrácií, ktorý vám prinesie ultranízky výkon pri vibráciách.