AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
เกจวัดความดันทางอ้อม
โซลูชันอเนกประสงค์สำหรับการตรวจสอบแรงดัน
เกจวัดความดันทางอ้อมของเราเหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมแรงดันต่ำ ให้ค่าที่อ่านได้อย่างแม่นยำในช่วงกว้าง
มาตรวัดเหล่านี้ปรับให้เข้ากับก๊าซประเภทต่างๆ เพื่อผลลัพธ์ที่แม่นยำ สำหรับการควบคุมขั้นสูง สำรวจรุ่นดิจิทัลของเรา ซึ่งผสานรวมเข้ากับระบบดิจิทัลได้อย่างง่ายดาย
มาตรวัดเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อการผสานรวมเข้ากับระบบสุญญากาศทั้งระบบใหม่และที่มีอยู่เดิมได้อย่างราบรื่น จึงเป็นโซลูชันที่เรียบง่ายสำหรับการใช้งานสุญญากาศที่หลากหลาย
ค้นหาเกจที่เหมาะกับความต้องการของคุณ
เกจวัดความดันทางอ้อม: เหมาะสำหรับใช้ในแรงดันที่ต่ำกว่า
เกจวัดความดันทางอ้อมจะวัดคุณสมบัติที่ขึ้นอยู่กับแรงดัน เช่น การนำความร้อน ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในแรงดันที่ต่ำกว่า ซึ่งมีความหนาแน่นของอนุภาคต่ำเพื่อการวัดความดันโดยตรงที่แม่นยำ
การวัดแรงดันด้วยเกจเหล่านี้ขึ้นอยู่กับประเภทก๊าซ ดังนั้นจึงสามารถใช้ปัจจัยการแก้ไขเพื่ออ่านแรงดันที่ถูกต้องตามข้อกำหนดเฉพาะของระบบของคุณ
เกจเหล่านี้ให้การอ่านค่าที่แม่นยำในช่วงแรงดันที่หลากหลาย เหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรม เซมิคอนดักเตอร์ และวิทยาศาสตร์ต่างๆ โปรดดูภาพรวมเพื่อเปรียบเทียบเทคโนโลยีและระบุโซลูชันที่เหมาะสมที่สุดสำหรับระบบสุญญากาศของคุณ
เพื่อการผสานรวมและการควบคุมที่ดียิ่งขึ้น เราจึงนำเสนอรุ่นดิจิทัลของเกจที่ได้รับความนิยมมากที่สุดของเรา เช่น:
- nAPG200 - เกจ Pirani
- nAIM200 - มาตรวัดแมกนีตรอนผกผัน
- nWRG200 - เกจวัดช่วงกว้าง
เวอร์ชันดิจิทัลเหล่านี้มีอินเทอร์เฟซการสื่อสาร RS232 หรือ RS485 ซึ่งช่วยให้ผสานการทำงานกับคอมพิวเตอร์หรือ PLC ได้อย่างง่ายดายโดยไม่จำเป็นต้องใช้ตัวควบคุมแบบอะนาล็อก ตัวเลือกนี้มีประโยชน์เป็นพิเศษสำหรับระบบที่ต้องการอินพุตดิจิทัลโดยตรงและการตรวจสอบที่แม่นยำ
เกจ APG Pirani
Active Pirani Gauge (APG200) เหมาะสำหรับตลาดสุญญากาศทั้งหมด ตั้งแต่เครื่องมือวิเคราะห์ที่สามารถใช้ประโยชน์จากขนาดที่ลดลงและเอาต์พุตที่ยืดหยุ่น ไปจนถึงเซมิคอนดักเตอร์ที่อินเตอร์เฟซและวงแหวนแสงใหม่ช่วยให้การบำรุงรักษาระบบดีขึ้น ไปจนถึงการวิจัยและการพัฒนาที่การบ่งชี้แรงดันในพื้นที่ช่วยตรวจสอบการทดลองห่างจากอินเตอร์เฟซหลัก
รุ่นดิจิตอลของเกจ APG200 Pirani ของเราที่เรียกว่า nAPG200 มีตัวเลือกการสื่อสารดิจิตอล RS232 หรือ RS485 ซึ่งช่วยให้ผสานการทำงานกับคอมพิวเตอร์หรือตัวควบคุมตรรกะที่ตั้งโปรแกรมได้ (PLC) ได้อย่างราบรื่น ทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับระบบที่ต้องการอินพุตดิจิตอลโดยตรง
คุณสมบัติของ APG200 คืออะไร?
- ไฟ LED แสดงสถานะแรงดันแบบวงแหวน 360°
- ขนาดกะทัดรัด
- เส้นใยยาว
- ตัวกรองในตัว (มีรุ่นที่ไม่มีตัวกรอง)
- เข้ากันได้กับ
- ช่วงกำลังไฟกว้างตั้งแต่แหล่งจ่ายไฟ 15-48V
- ดิจิตอล/อะนาล็อก
- รีเลย์เซ็ตพอยต์
เกจวัด Pirani APG200
เกจวัดพิรานิแบบแอ็คทีฟ APG200 - มุมมองแบบแยกส่วน
0:11
เกจวัดพิรานิแบบแอ็คทีฟ APG200 - มุมมองแบบหมุน
0:12
มาตรวัดพิรานิแบบแอ็คทีฟ APG200 - วงแหวนไฟ LED
0:20
เกจแมกนีตรอนแบบผกผัน AIM
เกจแบบแอ็คทีฟแม่เหล็กกลับ (AIM200) ให้การวัดค่าที่แม่นยำในช่วงสุญญากาศตั้งแต่ 1 x 10 -2 ถึง 1 x 10 -9 mbar
เครื่องวัดนี้ทนทานและเชื่อถือได้ในการใช้งานที่หลากหลาย ตั้งแต่เครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ไปจนถึงกระบวนการทางอุตสาหกรรม
เกจ AIM200 เป็นหัววัดแมกนีตรอนแบบกลับหัวและตัวควบคุมเกจรวมกันเป็นหน่วยขนาดกะทัดรัดเดียว และมีสนามแม่เหล็กภายนอกต่ำมาก ควบคู่กับกลไกการกระแทกที่ดีขึ้นทำให้เหมาะสำหรับใช้กับเครื่องมือวิเคราะห์ที่ละเอียดอ่อนหรือในการใช้งานที่เกจต้องติดตั้งใกล้กับอุปกรณ์ที่ละเอียดอ่อน
nAIM เป็น AIM200 เวอร์ชันดิจิทัลของเรา รองรับการสื่อสาร RS232 หรือ RS485 ให้พื้นที่ติดตั้งและประสิทธิภาพเท่ากับเวอร์ชันอะนาล็อก ในขณะที่ช่วยให้เก็บข้อมูลและควบคุมผ่านระบบดิจิทัลได้ง่ายขึ้น
คุณสมบัติของ AIM200 คืออะไร
- ไฟ LED แสดงสถานะแรงดันแบบวงแหวน 360°
- ใช้พื้นที่ติดตั้งน้อยกว่า
- แฮนด์จับรูปดาวแบบหลายจุด
- ไม่จำเป็นต้องใช้ตัวควบคุมภายนอก
- ไดรเวอร์ที่มีอยู่
- เข้ากันได้กับ
- ช่วงกำลังไฟกว้างตั้งแต่แหล่งจ่ายไฟ 15-48V
- แม่เหล็กใหม่
- รีเลย์เซ็ตพอยต์
- รุ่นที่เข้ากันได้กับแคลมป์รูปตัว C
เกจแมกนีตรอนแบบกลับหัวแบบแอ็คทีฟ (AIM200)
เกจวัดแบบรวมแคโทดเย็น WRG
เกจวัดช่วงกว้าง (WRG200) มีความสามารถในการวัดค่าความดันแบบพอร์ตเดียวในช่วงบรรยากาศถึง 10 -9 mbar ไม่เพียงแต่ครอบคลุมการปั๊มลมห้องเริ่มต้นเท่านั้น แต่ยังครอบคลุมแรงดันในกระบวนการทั้งหมดในหนึ่งเดียว
เกจ WRG200 ทนทานและเชื่อถือได้ในการใช้งานที่หลากหลาย ตั้งแต่เครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ไปจนถึงเซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการทางอุตสาหกรรม เนื่องจากใช้เทคโนโลยีไส้ไฟ Pirani และแคโทดเย็นล่าสุด
มาตรวัดอเนกประสงค์ที่ให้ข้อได้เปรียบในการสลับจากเซ็นเซอร์สุญญากาศแบบหยาบเป็นเซ็นเซอร์สุญญากาศแบบสูงโดยอัตโนมัติ และมีสนามแม่เหล็กรบกวนต่ำเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการรบกวนสภาพแวดล้อมโดยรอบ
nWRG เป็นรุ่นดิจิทัลเทียบเท่าของ WRG200 ซึ่งคงพื้นที่และประสิทธิภาพไว้เหมือนกันในขณะที่ให้ความยืดหยุ่นในการสื่อสารดิจิทัล ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการการอ่านค่าแรงดันดิจิทัลที่แม่นยำและตรงไปตรงมา
คุณสมบัติของ WRG200 คืออะไร?
- ไฟ LED แสดงสถานะแรงดันแบบวงแหวน 360°
- ใช้พื้นที่ติดตั้งน้อยกว่า
- เทคโนโลยีเส้นใยขั้นสูง
- ไม่จำเป็นต้องใช้ตัวควบคุมภายนอก
- ไดรเวอร์ที่มีอยู่
- เข้ากันได้กับ
- ช่วงกำลังไฟกว้างตั้งแต่แหล่งจ่ายไฟ 15-48V
- แม่เหล็กใหม่
- รีเลย์เซ็ตพอยต์
- รุ่นที่เข้ากันได้กับแคลมป์รูปตัว C
แคโทดเย็น/พิรานิเกจช่วงกว้าง (WRG200 และ nWRG200)
Active Inverted Magnetron (AIM200) และเกจวัดช่วงกว้าง (WRG200) - มุมมองแบบแยกส่วน
0:11
Active Inverted Magnetron (AIM200) และเกจวัดช่วงกว้าง (WRG200) - มุมมองแบบหมุน
0:13
Active Inverted Magnetron (AIM200) และเกจวัดช่วงกว้าง (WRG200) - มุมมอง LED Light Ring Visual Pressure Indicator
0:27
APGX-H เกจวัดสุญญากาศแบบคอนเวกชันเชิงเส้น
เกจวัดสุญญากาศแบบเชิงเส้นแบบแอ็คทีฟ (APGX-H) มีช่วงการวัดกว้างตั้งแต่ 1333 ถึง 3 x 10 -4 mbar
การใช้เทคโนโลยีลมร้อนช่วยให้มั่นใจได้ว่าความแม่นยำและความไวจะยังคงอยู่ที่ช่วงแรงดันสูงสุดเมื่อเทียบกับเกจวัด Pirani แบบดั้งเดิม ซึ่งจะสูญเสียความแม่นยำที่สูงกว่า 100 mbar
เกจมีขนาดกะทัดรัดและสามารถติดตั้งได้ทุกทิศทาง ทำให้การติดตั้งในพื้นที่จำกัดเป็นเรื่องง่าย
เกจวัดสุญญากาศแบบควบแน่นเชิงเส้นแบบแอ็คทีฟ (APGX-H)
เครื่องวัดไอออน AIGX
Active Ion Gauge (AIGX) เป็นเกจวัดไอออนแบบแอคทีฟขนาดกะทัดรัดที่มีเส้นใยไอริเดียมเคลือบ yttria คู่ ช่วงการวัดค่ากว้างตั้งแต่ 6.6 x 10 -2 ถึง 6.6 x 10 -10 mbar และเอาต์พุตเชิงเส้น 1 โวลต์/ทศวรรษ
AIGX ผสานรวมประโยชน์ทั้งหมดของแนวคิดการวัดแบบแอ็คทีฟมาตรฐานอุตสาหกรรม พร้อมด้วยระบบอิเล็กทรอนิกส์ในตัวและหลอดที่เปลี่ยนได้ เกจนี้มีอุปกรณ์กำจัดก๊าซและมีคุณสมบัติเพื่อปกป้องและยืดอายุการใช้งานของเส้นใย
AIGX ได้รับประโยชน์จากการปล่อยอนุภาคที่มีประจุต่ำมาก ซึ่งทำให้เป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับกระบวนการที่ไม่มีสัญญาณรบกวนพื้นหลัง
เกจวัดไอออนแบบแอ็คทีฟ (AIGX)
WRH เกจวัดแคโทดร้อนแบบผสม
เกจวัดแบบแอ็คทีฟแคโทดร้อนช่วงกว้าง (WRH) มีความสามารถในการวัดค่าตั้งแต่บรรยากาศจนถึง 10 -10 mbar ด้วยเกจวัดเดียว ด้วยความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำ
เครื่องวัด WRH ใช้วิธีการวัด 2 วิธี (Bayard-Alpert & Pirani) ในแพ็คเกจเดียว ให้ทุกสิ่งที่คุณต้องการในการวัดและควบคุมระบบของคุณ
ด้วยเอาต์พุตอนาล็อกและ RS485 ที่มีให้ผ่านขั้วต่อ D-SUB รีเลย์ออนบอร์ด 2 ตัว และการสอบเทียบที่ง่ายดาย การควบคุมและการตรวจสอบก็ทำได้ง่าย
ด้วยการใช้ซอฟต์แวร์ที่ให้มา คุณสามารถติดตามและบันทึกประสิทธิภาพของระบบของคุณได้อย่างง่ายดาย และยังปรับพฤติกรรมของเกจ เช่น ตั้งค่าจุดตั้งค่าหรือเปลี่ยนสเกลเอาต์พุต
เครื่องวัดนี้เป็นคู่หูที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานมากมาย ตั้งแต่สถาบันวิจัยและพัฒนาไปจนถึงมาสสเปกโตรเมทรีระดับไฮเอนด์ไปจนถึงอุตสาหกรรมทั่วไป
เกจวัดช่วงกว้างแคโทดร้อนแบบแอ็คทีฟ (WRH)
เกจวัดแบบพาสซีฟ
เกจแบบพาสซีฟของ Edwards เป็นหัวเกจที่ไม่มีอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ในตัว: เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีปริมาณการแผ่รังสีสูงหรืออุณหภูมิแวดล้อมสูงมาก
ในขณะที่การวัดแบบแอ็คทีฟครอบครองตลาดในปัจจุบัน ยังคงมีการใช้งานเฉพาะที่การวัดแบบพาสซีฟเป็นสิ่งสำคัญที่สุด รวมถึงการใช้งานใดๆ ที่การมีอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ใกล้เคียงกับการทดลองจะทำให้อุปกรณ์ล้มเหลว
ชุดขับเคลื่อนอิเล็กทรอนิกส์ยังคงจำเป็นต่อการควบคุมเกจ แต่สามารถเก็บไว้จากระยะไกลในตัวควบคุมเฉพาะของเรา ซึ่งสามารถวางไว้ห่างจากเกจได้สูงสุด 50 ม. เพื่อให้จอแสดงผล "ภายใน" และเอาต์พุตแรงดันไปยังระบบของคุณ
ส่วนหัวที่เชื่อมต่อกับระบบประกอบด้วยเฉพาะสิ่งที่จำเป็นสำหรับการวัดค่าทางกายภาพเท่านั้น และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ทั้งหมดจะรวมอยู่ในตัวควบคุม
ดังนั้น ตัวควบคุมและสายเคเบิลต้องเป็นแบบเฉพาะสำหรับเกจที่ต้องการ
โซลูชันที่ทนทานและแม่นยำสำหรับสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบันที่สุด: เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานด้านฟิสิกส์พลังงานสูงและการวิจัยและพัฒนา ซึ่งการแผ่รังสีจะทำลายอิเล็กทรอนิกส์ของเกจแบบแอ็คทีฟปกติ เกจเหล่านี้มีประวัติการทำงานที่ยาวนานและได้รับการพิสูจน์แล้วในสภาพแวดล้อมดังกล่าว
เนื่องจากการใช้งานเหล่านี้มักต้องใช้แรงดันสุญญากาศสูงเป็นพิเศษ เกจแบบพาสซีฟของเราจึงมีช่วงการวัดที่กว้างที่สุด ซึ่งสามารถวัดค่าได้ต่ำถึง ² x 10−12 mbar ด้วยช่วง IG40-EX ของเรา
กลุ่มผลิตภัณฑ์เกจแบบพาสซีฟ
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับเกจวัดความดันทางอ้อม
สามารถรวมเกจวัดของ Edwards เข้ากับระบบสุญญากาศที่มีอยู่ได้หรือไม่
เกจวัดของ Edwards จำนวนมากได้รับการออกแบบมาเพื่อการผสานรวมเข้ากับระบบสุญญากาศทั้งระบบใหม่และระบบที่มีอยู่เดิมได้อย่างง่ายดาย และมีให้เลือกใช้งานด้วยตัวเลือกการสื่อสารแบบอะนาล็อกและดิจิทัล
ข้อดีของเกจวัดแรงดันทางอ้อมของ Edwards คืออะไร
- การผสานรวมเข้ากับระบบสุญญากาศใหม่และที่มีอยู่เดิมได้อย่างราบรื่น
- มาตรวัดที่เลือกผลิตขึ้นภายในบริษัท
- ความเชี่ยวชาญด้านสุญญากาศและการสนับสนุนทางเทคนิคที่เชื่อถือได้ของ Edwards
- กลุ่มผลิตภัณฑ์เกจวัดสุญญากาศที่ครบครันสำหรับข้อกำหนดการวัดแรงดันที่หลากหลาย
- ระยะเวลารอคอยที่ลดลงสำหรับเกจที่เลือก*
- ความพร้อมใช้งานของผลิตภัณฑ์ที่เชื่อถือได้และการสนับสนุนทั่วโลก
*เวลาในการจัดส่งและความพร้อมจำหน่ายอาจแตกต่างกันไปในแต่ละภูมิภาค
เกจวัดสุญญากาศแบบใดที่ใช้สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มักต้องการเกจที่สามารถตรวจสอบระดับสุญญากาศตลอดการปั๊ม การแปรรูป และการระบายอากาศ Edwards นำเสนอเทคโนโลยีที่เหมาะสมหลายอย่าง รวมถึง Pirani, แมกนีตรอนแบบผกผัน และเกจวัดช่วงกว้าง ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับช่วงแรงดันและข้อกำหนดการใช้งาน
เกจวัดสุญญากาศแบบใดที่เหมาะสมกับเครื่องมือวิเคราะห์?
เครื่องมือวิเคราะห์มักต้องการการวัดค่าสุญญากาศที่เสถียรและแม่นยำพร้อมการผสานรวมที่กะทัดรัด เกจ APG200 และ AIM200 มักใช้ในงานวิเคราะห์และงานวิทยาศาสตร์
- เอกสารประกอบ
- คำชมเชยจากลูกค้า
- ข้อมูลอื่นๆ เพิ่มเติม
