Podpora produktivity našich zákazníkov
Maximalizácia dostupnosti SubFab
V dnešnom rýchlo sa meniacom, prepojenom svete rozumieme potrebe maximalizovať produktivitu našich zákazníkov. Robíme to tak, že zabezpečujeme, aby bola ich technológia prvá na trhu, a zároveň sa neustále snažíme znižovať riziká a environmentálne výzvy, ktoré môže výrobný proces priniesť.
Integrované riešenia spoločnosti Edwards posudzujú všetky potreby zákazníka v oblasti riadenia podtlaku a výfukových plynov na základe našich globálnych skúseností s najpokročilejšími technológiami v odvetví. Naše integrované systémy poskytujú výhody opakovateľnosti produktov a služieb a úspory priestoru. Prinášajú vyššiu produktivitu, bezpečnosť a istotu v oblasti životného prostredia. Naše integrované systémy prinášajú aj priame výhody rýchlejšej inštalácie a nastavenia, úspory z rozsahu a vyššiu bezpečnosť.
Zariadenie EZENITH ponúka pokročilé portfólio systémov, ktoré poskytujú plne integrované riešenia riadenia vákua a výfukových plynov pre všetky vaše aplikácie v oblasti polovodičových procesov. Systémy EZENITH sú jedinečné tým, že ponúkajú:
- Riadenie vákua a výfukových plynov zamerané na proces
- Úplná integrácia komponentov
- Podpora každej funkcie pomocou výkonného integrovaného riadiaceho rozhrania
- Navrhnuté pre efektívne využitie priestoru – pre úspory až 70 %
- Úplná vnútorná distribúcia, regulácia a monitorovanie služieb znižuje pripojenie k verejným službám o viac ako 60 % a zároveň zaisťuje plynulú a spoľahlivú prevádzku
Len s čerpadlom a zariadením na úpravu plynu ešte nie ste pripravení na spustenie procesu. Budete musieť pripojiť výfuk čerpadla, pripojiť ohrievače potrubia tam, kde je to potrebné, spustiť vodné, preplachovacie a elektrické vedenia a potom pripraviť všetky riadiace signály. Budete tiež musieť zvážiť dvojité puzdro, detekciu úniku plynu a spôsob, akým chcete vykonávať kontroly úniku po údržbe nástroja. Všetky tieto veci vás pri navrhovaní budú stáť čas a peniaze. Rozumieme tomuto problému a vyvinuli sme integrované riešenia špecifické pre jednotlivé procesy.
Naše integrované systémy sú už vopred navrhnuté pre väčšinu polovodičových procesov. Výfukové ohrievače sú nastavené na správnu teplotu, aby sa minimalizovali náklady a maximalizoval čas prevádzky. Kontrolné otvory na úniky a uzatváracie ventily umiestňujeme tam, kde sú potrebné. Celý systém je uzavretý a čo je najdôležitejšie, stačí zabezpečiť len jeden z požadovaných prívodov. Rozdeľujeme plyny, vodu, elektrinu a riadiace signály tam, kde sú potrebné, a vytvárame systém pripravený na použitie.