支援客戶的生產力
最大化半導體次無塵室的可利用性
在當今瞬息萬變、互聯互通的世界中，我們深知必須最大限度地提高客戶的生產力。為此，我們確保其技術率先進入市場，同時持續努力降低製程可能帶來的風險和環境挑戰。
愛德華的整合解決方案將基於我們的全球經驗，以業界最先進的技術評估客戶的整體真空與排氣管理需求。我們的整合式系統能提供優勢的產品與服務穩定性，還能節省空間。這些都能提高生產力、安全性和環境保證。我們的整合式系統也能帶來直接的效益，包括更快的安裝與設定速度、規模經濟，以及更高的安全性。
EZENITH 提供先進的系統產品組合，可為您的所有半導體製程應用提供完全整合的真空和排氣管理解決方案。EZENITH 系統具有以下獨特之處：
- 以製程為中心的真空與排氣管理
- 元件完全整合
- 強大的整合控制介面支援每種功能
- 專為有效利用空間而設計 - 節省多達 70％
- 對服務進行全面的內部分配、監管和監控，可將廠務配管減少 60％ 以上，同時確保運行平穩可靠
若僅使用泵浦和氣體減排裝置，您仍未為執行製程做好準備。您將需要連接泵浦排氣口，在需要時連接您的管式加熱器，運行水管、淨化管和電力管，然後準備好所有控制訊號。您還必須考慮雙重外殼、氣體洩漏偵測以及在工具維護後如何檢漏。所有這些事情將花費您的設計時間和金錢。我們了解問題所在，因此我們開發了針對特定製程的整合解決方案。
我們的整合式系統已針對大多數半導體製程進行了預先設計。排氣加熱器設定為正確的溫度，以最大程度地降低成本並延長正常運行時間。我們將洩漏檢查口和閘閥放在需要的地方。整個系統是封閉的，最重要的是，您只需提供一個必要設備。我們在需要的地方分配氣體、水、電和控制訊號，並建立一個隨時可用的系統。