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Suporte à produtividade de nossos clientes

Maximizar a disponibilidade da subfábrica

No mundo conectado e dinâmico de hoje, entendemos a necessidade de maximizar a produtividade de nossos clientes. Fazemos isso garantindo que sua tecnologia seja a primeira no mercado, enquanto continuamos nos esforçando para reduzir os riscos e os desafios ambientais que o processo de fabricação pode trazer.

As soluções integradas da Edwards avaliam todas as necessidades de gerenciamento de vácuo e exaustão do cliente, com base em nossa experiência global, com as tecnologias mais avançadas do setor. Nossos sistemas integrados oferecem as vantagens de repetibilidade de produtos e serviços e economia de espaço. Eles trazem maior produtividade, segurança e garantia ambiental. Nossos sistemas integrados também trazem benefícios diretos de instalação e configuração mais rápidas, economias de escala e maior segurança.

A EZENITH oferece um portfólio avançado de sistemas que fornecem soluções de gerenciamento de vácuo e exaustão totalmente integradas para todas as suas aplicações de processos de semicondutores. Os sistemas EZENITH são exclusivos em fornecer:

  • Gerenciamento de Vácuo e Exaustão Centrado no Processo
  • Integração completa de componentes
  • Suporte para cada função com uma interface de controle integrada e potente
  • Projetado para uso eficiente do espaço - para economia de até 70%
  • Distribuição interna completa, regulação e monitoramento de serviços, reduzindo a conexão da concessionária em mais de 60%, garantindo um funcionamento suave e confiável

Com apenas uma bomba e um dispositivo de redução de gás, você ainda não está pronto para executar seu processo. Você precisará conectar o exaustor da bomba, conectar os aquecedores de linha onde necessário, operar a água, purga e as linhas elétricas e, em seguida, preparar todos os seus sinais de controle. Você também terá que considerar o gabinete duplo, a detecção de vazamento de gás e como realizar verificações de vazamento após a manutenção da ferramenta. Todas essas coisas custarão tempo e dinheiro para o projeto. Entendemos o problema, por isso desenvolvemos soluções integradas e específicas do processo.

Nossos sistemas integrados já foram pré-projetados para a maioria dos processos de semicondutores. Os aquecedores de exaustão são ajustados para a temperatura correta para minimizar o custo e maximizar o tempo de atividade. Colocamos portas de retenção de vazamento e válvulas de gaveta onde elas são necessárias. Todo o sistema é fechado e, o mais importante, você só precisa fornecer um dos utilitários necessários. Distribuímos os gases, água, eletricidade e sinais de controle onde eles são necessários e criamos um sistema pronto para uso. 

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