Understøttelse af vores kunders produktivitet
Maksimering af SubFab-tilgængelighed
I dagens hurtigt bevægende, forbundne verden forstår vi behovet for at maksimere vores kunders produktivitet. Det gør vi ved at sikre, at deres teknologi er først på markedet, samtidig med at vi fortsætter med at arbejde på at reducere de risici og miljømæssige udfordringer, som fremstillingsprocessen kan medføre.
Edwards integrerede løsninger vurderer kundens samlede behov for vakuum- og udsugningsstyring baseret på vores globale erfaring med de mest avancerede teknologier i sektoren. Vores integrerede systemer giver fordelene ved produkt- og servicegentagelighed samt pladsbesparelse. De medfører forbedret produktivitet, sikkerhed og miljømæssig tryghed. Vores integrerede systemer har også direkte fordele i form af hurtigere installation og opsætning, stordriftsfordele og øget sikkerhed.
EZENITH tilbyder en avanceret portefølje af systemer, der leverer fuldt integrerede vakuum- og udstødningsstyringsløsninger til alle dine applikationer inden for halvlederprocesser. EZENITH-systemerne er unikke ved at tilbyde:
- Procescentreret vakuum- og udsugningsstyring
- Fuldstændig integration af komponenter
- Understøttelse af hver funktion med en kraftfuld, integreret kontrolgrænseflade
- Designet til effektiv udnyttelse af pladsen - for besparelser på op til 70%
- Fuld intern distribution, regulering og overvågning af tjenester, der reducerer tilslutning til forsyningsnettet med over 60 %, samtidig med at en glat og pålidelig drift sikres
Med blot en pumpe og en gasrensningsenhed er du stadig ikke klar til at køre din proces. Du skal forbinde pumpeudstødningen, tilslutte dine linjevarmere, hvor det er nødvendigt, føre dine vand-, skylle- og elektriske ledninger, og derefter gøre alle dine styresignaler klar. Du skal også tage højde for dobbeltindkapsling, gaslækagedetektion og hvordan du ønsker at udføre lækagetjek efter vedligeholdelse af dit udstyr. Alle disse ting vil koste dig design tid og penge. Vi forstår problemet, så vi har udviklet integrerede, proces-specifikke løsninger.
Vores integrerede systemer er allerede foruddesignede til de fleste halvlederprocesser. Udsugningsvarmerne er indstillet til den korrekte temperatur for at minimere omkostninger og maksimere oppetid. Vi placerer lækagetjekporte og spjældventiler, hvor de er nødvendige. Hele systemet er indkapslet, og vigtigst af alt behøver du kun at levere én af hver af de nødvendige forsyninger. Vi distribuerer gasser, vand, elektricitet og styresignaler, hvor de er nødvendige, og skaber et klar-til-brug system.