Stödja våra kunders produktivitet
Maximera SubFabs tillgänglighet
I dagens snabbrörliga, uppkopplade värld förstår vi behovet av att maximera våra kunders produktivitet. Vi gör detta genom att säkerställa att deras teknik är först ut på marknaden, samtidigt som vi fortsätter att sträva efter att minska de risker och miljöutmaningar som tillverkningsprocessen kan medföra.
Edwards integrerade lösningar bedömer hela kundens behov av vakuum- och utloppshantering, baserat på vår globala erfarenhet, med den mest avancerade tekniken i branschen. Våra integrerade system erbjuder fördelarna med repeterbarhet för produkter och tjänster och utrymmesbesparing. De förbättrar produktiviteten, säkerheten och miljön. Våra integrerade system ger också direkta fördelar som snabbare installation och inställning, skalfördelar och förbättrad säkerhet.
EZENITH erbjuder en avancerad portfölj med system som tillhandahåller helt integrerade lösningar för vakuum- och utloppshantering för alla dina halvledarprocesstillämpningar. EZENITH-systemen är unika när det gäller att erbjuda:
- Processcentrerad vakuum- och utloppshantering
- Fullständig integrering av komponenter
- Stöd för varje funktion med ett kraftfullt, integrerat kontrollgränssnitt
- Utformad för effektiv användning av utrymme – för besparingar på upp till 70 %
- Fullständig intern distribution, reglering och övervakning av tjänster minskar anslutningen till elnätet med över 60 % samtidigt som en smidig och tillförlitlig drift säkerställs
Med bara en pump och en gasreduceringsenhet är du fortfarande inte redo att köra din process. Du måste ansluta pumputloppet, ansluta dina ledningsvärmare där det behövs, köra dina vatten-, avluftnings- och elledningar och sedan göra alla dina styrsignaler redo. Du måste också överväga dubbelkapsling, gasläckagedetektering och hur du vill utföra läckagekontroller efter verktygsunderhåll. Allt detta kommer att kosta dig både tid och pengar. Vi förstår problemet och har därför utvecklat integrerade, processpecifika lösningar.
Våra integrerade system är redan förkonstruerade för de flesta halvledarprocesser. Avgasvärmarna är inställda på rätt temperatur för att minimera kostnaderna och maximera drifttiden. Vi placerar läcktestportar och spjällventiler där de behövs. Hela systemet är inkapslat och viktigast av allt behöver du bara tillhandahålla en av varje nödvändig försörjning. Vi distribuerar gaser, vatten, el och styrsignaler där de behövs och skapar ett driftklart system.