De productiviteit van onze klanten ondersteunen
De beschikbaarheid van SubFab maximaliseren
In de snel veranderende, verbonden wereld van vandaag begrijpen we de noodzaak om de productiviteit van onze klanten te maximaliseren. Dit doen we door ervoor te zorgen dat hun technologie als eerste op de markt komt, terwijl we blijven streven naar het verminderen van de risico's en milieu-uitdagingen die het productieproces met zich meebrengt.
De geïntegreerde oplossingen van Edwards beoordelen de volledige behoeften van de klant op het gebied van vacuüm- en uitlaatbeheer, op basis van onze wereldwijde ervaring en met de meest geavanceerde technologieën in de sector. Onze geïntegreerde systemen bieden de voordelen van product- en servicereproduceerbaarheid en ruimtebesparing. Ze zorgen voor een verbeterde productiviteit, veiligheid en gemoedsrust. Onze geïntegreerde systemen bieden ook de directe voordelen van een snellere installatie en setup, schaalvoordelen en verbeterde veiligheid.
De EZENITH biedt een geavanceerd portfolio van systemen die volledig geïntegreerde vacuüm- en uitlaatbeheeroplossingen bieden voor al uw halfgeleiderprocestoepassingen. De EZENITH-systemen zijn uniek in het aanbieden van:
- Procesgericht vacuüm- en uitlaatbeheer
- Volledige integratie van componenten
- Ondersteuning van elke functie met een krachtige, geïntegreerde besturingsinterface
- Ontworpen voor efficiënt gebruik van ruimte – voor besparingen tot 70%
- Volledige interne distributie, regeling en bewaking van diensten vermindert de aansluiting op nutsvoorzieningen met meer dan 60% en zorgt tegelijkertijd voor een soepele en betrouwbare werking
Met slechts een pomp en een gasreductieapparaat bent u nog steeds niet klaar om uw proces uit te voeren. U moet de pompuitlaat aansluiten, uw leidingverwarmers aansluiten waar nodig, uw water-, zuiverings- en elektrische leidingen laten lopen en vervolgens al uw stuursignalen klaarzetten. U moet ook nadenken over dubbele behuizing, gaslekdetectie en hoe u lekcontroles wilt uitvoeren na het onderhoud van uw gereedschap. Al deze dingen kosten u ontwerptijd en geld. Wij begrijpen het probleem en hebben daarom geïntegreerde, processpecifieke oplossingen ontwikkeld.
Onze geïntegreerde systemen zijn al vooraf ontworpen voor de meeste halfgeleiderprocessen. De uitlaatverwarmingen zijn ingesteld op de juiste temperatuur om de kosten te minimaliseren en de bedrijfstijd te maximaliseren. We plaatsen lekcontrolepoorten en afsluitkleppen waar ze nodig zijn. Het hele systeem is gesloten en, belangrijker nog, u hoeft slechts één van elk van de vereiste nutsvoorzieningen te leveren. We verdelen de gassen, water, elektriciteit en regelsignalen waar ze nodig zijn en creëren een kant-en-klaar systeem.