提升系統輸送量和製程生產力
若要在多種真空製程應用中實現最佳生產力，水泵送速度必須夠高。
愛德華 CTI-Cryogenics On-Board® IS 單段低溫泵浦可顯著提高渦輪泵浦的水抽氣速度，無論是用於輸送、線上還是製程室應用，都能大幅提升系統吞吐量和製程生產力。
高速的水泵送速度也能提升各種真空製程中的最終產品品質，改善整體產率，並大幅減少浪費與生產成本。
On-Board® IS 單段低溫泵浦設計有多種配置，可滿足大多數應用要求。它們提供多種尺寸的線上和現場配置。
關鍵特性
- 每秒可輸送超過 16,000 公升的水蒸氣，可在多種應用中改善製程品質並縮短週期時間
- 能以渦輪泵浦五至十倍的汙染物泵送速度，泵送多種碳氫化合物氣體汙染物，進而減少最終產品瑕疵
- 在負載鎖定傳輸或製程腔體使用情境中，可讓渦輪泵浦的水蒸氣泵送速度提升八倍
- 在 On-Board® 低溫泵浦系列中，震動幅度最小
- 無須體積龐大、緊鄰配置的壓縮機即可使用，因此運作成本低，且佔用空間得以最小化，通常可與現有的氦氣系統搭配運作
- 有多種尺寸的管路內與現場組態配置可供選用，能因應使用者的各式需求。
- 輕鬆安裝
