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XVS 低溫泵浦上方橫幅

達到全新境界的低溫泵浦效能

愛德華 CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS 低溫泵浦

On-Board® IS 320F XVS 低溫泵浦的設計旨在提供最高的氫氣抽氣效能,以改善製程產出和流量,為離子佈植應用挑戰提供完美的解答。 整合於低溫泵浦的智慧型系統控制可確保更完備的製程品質、真空一致性和運轉時間,同時提供即時系統資訊以最佳化陣列溫度控制。系統透過自動適應持續變化的熱能 / 氣體負載條件進而提升真空品質。

  • 穩定的真空效能
  • 強化的真空效能
  • 系統相容性
穩定的真空效能

  • 降低再生之間的 H2 抽氣速度變化
  • 降低因光阻污染對 H2 抽氣速度造成的影響
  • 最佳化的穩定陣列溫度

強化的真空效能

  • 高 H2 抽氣速度 - 15,500 L/S
  • 高 H2 容量 – 40 STD-L

系統相容性

  • On-Board IS 低溫泵浦系統
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 壓縮機

  • 降低再生之間的 H2 抽氣速度變化
  • 降低因光阻污染對 H2 抽氣速度造成的影響
  • 最佳化的穩定陣列溫度

  • 高 H2 抽氣速度 - 15,500 L/S
  • 高 H2 容量 – 40 STD-L

  • On-Board IS 低溫泵浦系統
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 壓縮機

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