สุญญากาศเปลี่ยนแปลงอย่างไรใน SubFab ของคุณ
ในบทสรุปนี้ Alan Brightman ผู้จัดการผลิตภัณฑ์อาวุโสของ Edwards จะสํารวจว่าความท้าทายที่เกิดขึ้นพร้อมกันของสารตั้งต้นที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและควบแน่นได้สัมพันธ์กับผลพลอยได้จากปฏิกิริยาในสภาพแวดล้อมสุญญากาศได้อย่างไร
ขณะที่ขนาดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เปลี่ยนแปลงไปอีกครั้ง แรงกดดันก็เพิ่มขึ้นในด้านนวัตกรรม
วิดีโอและถอดรหัส
SubFab พร้อมสําหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่สมบุกสมบันหรือไม่
วันที่ปั๊มตัวเดียวทําทุกอย่างได้ ซึ่งทางออกคือเพียงแค่ใช้ปั๊มขนาดใหญ่ขึ้นก็หมดไปแล้ว การออกแบบปั๊มต้องได้รับการปรับให้เหมาะสมกับการใช้งานเฉพาะ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อเราต้องเผชิญกับความท้าทายในการทํางานหนัก ซึ่งเกี่ยวข้องกับการกัดกร่อนและความท้าทายที่เกิดจากการควบแน่นพร้อมกัน
ต้นทุนการดําเนินงานที่เพิ่มขึ้น
ต้นทุนด้านพลังงานเป็นปัจจัยสําคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งโดยทั่วไปจะมีค่าใช้จ่ายในการดําเนินงานของโรงงานมากกว่า 30% ต้นทุนด้านพลังงานจะมีความสําคัญมากยิ่งขึ้นในช่วงเวลาที่การผลิตลดลง ซึ่งเกิดขึ้นเป็นระยะๆ ในระหว่างวงจรธุรกิจของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
กระบวนการและวัสดุใหม่ๆ ต้องการโซลูชันที่เป็นนวัตกรรม
มีการแนะนํากระบวนการและวัสดุใหม่ๆ อยู่เสมอ ตัวอย่างเช่น ช่วงของสารตั้งต้น CVD และผลพลอยได้จากปฏิกิริยากําลังขยายตัว และสิ่งเหล่านี้สร้างความท้าทายใหม่ๆ ที่เรามีปัญหาเกี่ยวกับการควบแน่นและการกัดกร่อน การควบแน่นและการกัดกร่อนในระบบสุญญากาศจะเพิ่มการใช้พลังงานและต้นทุนการบํารุงรักษา การรับมือกับความท้าทายดังกล่าวจําเป็นต้องใช้โซลูชันที่เป็นนวัตกรรม ซึ่งต้องอาศัยการทําความเข้าใจกระบวนการและวัสดุอย่างใกล้ชิดเป็นหลัก
อลาน ไบรท์แมน
ผู้จัดการฝ่ายผลิตอาวุโส