진공은 서브팹에서 어떻게 변화하나요?
이 요약에서 Edwards의 수석 제품 매니저인 Alan Brightman은 부식성 및 응축성 전구체 물질의 동시 과제가 진공 환경에서 부산물 반응에 어떻게 부합하는지 살펴봅니다.
반도체 제조업의 규모가 다시 한 번 변화함에 따라 혁신에 대한 압박이 커지고 있습니다.
비디오 및 트랜스크립트
서브팹은 더 열악한 생산성 환경에 대비되어 있나요?
하나의 펌프가 모든 것을 수행하던 시절은 사라졌고, 해결책은 단순히 더 큰 펌프를 사용하는 것이었습니다. 펌프 설계는 특정 응용 분야에 맞게 최적화되어야 합니다. 이는 부식 및 응축이 동시에 발생하는 가혹한 작업 문제가 있는 경우에 특히 그렇습니다.
간접비 상승
에너지 비용은 반도체 제조에서 중요한 고려 사항이며 일반적으로 총 팹 운영 비용의 30% 이상을 차지합니다. 에너지 비용은 반도체 산업 비즈니스 주기 동안 주기적으로 발생하는 생산 감소 시기에 더욱 중요해집니다.
혁신적인 솔루션이 필요한 새로운 공정 및 물질
예를 들어 CVD 전구체와 반응 부산물의 범위가 확장되면서 응축 및 부식 문제가 발생하는 등 새로운 공정과 물질이 항상 도입되고 있습니다. 진공 시스템의 응축과 부식은 전력 소비와 유지보수 비용을 증가시킵니다. 이러한 문제를 해결하려면 무엇보다도 공정과 물질에 대한 깊은 이해가 바탕이 된 혁신적인 솔루션이 필요합니다.
Alan Brightman
수석 제품 관리자
