Hogyan változik a vákuum a SubFab-ban?
Ebben az összefoglalóban Alan Brightman, az Edwards vezető termékmenedzsere azt vizsgálja, hogy a korrozív és kondenzálódó prekurzor anyagok egyidejű kihívásai hogyan találkoznak a reakció melléktermékeivel vákuumkörnyezetben.
Ahogy a félvezetőgyártás mérete ismét változik, az innovációra gyakorolt nyomás is nő.
VIDEÓ ÉS ÁTIRAT
Készen áll a SubFab a zordabb termelékenységi környezetre?
Már elmúlt az a kor, amikor egyetlen pumpa mindent elvégzett, és a megoldás egyszerűen egy nagyobb pumpa volt. A szivattyú kialakítását az adott alkalmazáshoz kell optimalizálni. Ez különösen igaz ott, ahol nagy igénybevételt jelentő kihívásokkal kell szembenéznünk, amelyek egyidejűleg korrózióval és kondenzálódással járnak.
A növekvő általános költségek
Az energiaköltségek kritikus szempontok a félvezetőgyártásban, és jellemzően a gyár teljes üzemeltetési költségének több mint 30%-át teszik ki. Az energiaköltségek még kritikusabbá válnak a csökkentett termelés idején, amely időszakosan fordul elő a félvezetőipar üzleti ciklusai során.
Az új folyamatok és anyagok innovatív megoldásokat igényelnek
Folyamatosan új eljárásokat és anyagokat vezetnek be, például a CVD-prekurzorok és reakciós melléktermékek választéka bővül, és ezek új kihívásokat hoznak létre, ahol kondenzációval és korrózióval kapcsolatos problémák merülnek fel. A vákuumrendszerekben fellépő kondenzáció és korrózió növeli az energiafogyasztást és a karbantartási költségeket. Az ilyen kihívások leküzdéséhez innovatív megoldásokra van szükség, amelyek elsősorban a folyamatok és az anyagok alapos megértésén alapulnak.
Alan Brightman
Termékvezető
