Jak zmienia się próżnia w Twoim SubFab?
W tym podsumowaniu Alan Brightman, starszy menedżer ds. produktów w firmie Edwards, bada, w jaki sposób jednoczesne wyzwania związane z korozyjnymi i skraplającymi się materiałami prekursorowymi radzą sobie z produktami ubocznymi reakcji w środowisku próżniowym.
Ponieważ skala produkcji półprzewodników ponownie się zmienia, presja na innowacje rośnie.
FILM I TRANSKRYPCJA
Czy SubFab jest gotowy na bardziej wymagające środowisko produkcyjne?
Minęły czasy, kiedy jedna pompa robiła wszystko, a rozwiązaniem było po prostu użycie większej pompy. Konstrukcje pomp muszą być zoptymalizowane pod kątem konkretnych zastosowań. Dotyczy to zwłaszcza sytuacji, w których mamy do czynienia z trudnymi warunkami pracy, w tym z jednoczesną korozją i kondensacją.
Rosnące koszty ogólne
Koszty energii są krytycznym czynnikiem w produkcji półprzewodników, zazwyczaj przyczyniając się do ponad 30% całkowitych kosztów operacyjnych fabryki. Koszty energii stają się jeszcze bardziej krytyczne w okresach zmniejszonej produkcji, które występują okresowo w cyklach biznesowych branży półprzewodnikowej.
Nowe procesy i materiały wymagają innowacyjnych rozwiązań
Nieustannie wprowadzane są nowe procesy i materiały, na przykład rozszerza się gama prekursorów CVD i produktów ubocznych reakcji, co wiąże się z nowymi wyzwaniami w zakresie kondensacji i korozji. Kondensacja i korozja w systemach próżniowych zwiększają zużycie energii i koszty konserwacji. Sprostanie takim wyzwaniom wymaga innowacyjnych rozwiązań, które opierają się przede wszystkim na bliskim zrozumieniu procesów i materiałów.
Alan Brightman
Kierownik ds. Produktu
