Chân không thay đổi như thế nào trong SubFab của bạn?
Trong bản tóm tắt này, Alan Brightman, Giám đốc sản phẩm cấp cao tại Edwards, khám phá cách thức các thách thức đồng thời của vật liệu tiền chất ăn mòn và ngưng tụ đáp ứng các sản phẩm phụ của phản ứng trong môi trường chân không.
Khi quy mô sản xuất chất bán dẫn thay đổi một lần nữa, áp lực đối với sự đổi mới tăng lên.
VIDEO & BẢN SAO
SubFab có sẵn sàng cho môi trường năng suất khắc nghiệt hơn không?
Những ngày mà một máy bơm làm tất cả mọi thứ, nơi giải pháp chỉ đơn giản là sử dụng một máy bơm lớn hơn, đã qua đi. Thiết kế bơm phải được tối ưu hóa cho các ứng dụng cụ thể. Điều này đặc biệt đúng khi chúng ta phải đối mặt với những thách thức công suất cao, liên quan đến sự ăn mòn đồng thời và các thách thức ngưng tụ.
Chi phí vận hành ngày càng tăng
Chi phí năng lượng là một yếu tố quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, thường đóng góp hơn 30% tổng chi phí vận hành của nhà máy. Chi phí năng lượng thậm chí còn trở nên quan trọng hơn trong giai đoạn giảm sản xuất, xảy ra định kỳ trong chu kỳ kinh doanh của ngành công nghiệp bán dẫn.
Các quy trình và vật liệu mới đòi hỏi các giải pháp sáng tạo
Các quy trình và vật liệu mới luôn được giới thiệu, ví dụ như phạm vi tiền chất CVD và các sản phẩm phụ của phản ứng đang mở rộng và chúng tạo ra những thách thức mới khi chúng ta gặp phải các vấn đề về ngưng tụ và ăn mòn. Sự ngưng tụ và ăn mòn trong hệ thống chân không làm tăng tiêu thụ điện năng và chi phí bảo trì. Việc giải quyết những thách thức như vậy đòi hỏi các giải pháp sáng tạo chủ yếu dựa trên sự hiểu biết sâu sắc về quy trình và vật liệu.
Alan Brightman
Giám đốc Sản phẩm
