ReGIS (Reactive Gas Inject System) è un sistema di reazione chimica che utilizza la tecnologia al plasma remota per incrementare la durata della pompa.
Il sistema ReGIS di ultima generazione è caratterizzato da un esclusivo design della camera di reazione che garantisce una reazione efficiente dei gas di processo prima dell'ingresso nella pompa, prolungando la durata della pompa a oltre 300 giorni.
Rispetto al sistema ReGIS della generazione precedente, l'ingombro è stato ridotto del 26,5%. Il nuovo sistema ReGIS, abbinato alle pompe per vuoto a secco per impieghi gravosi, ottimizza la continuità operativa della pompa e garantisce la massima stabilità per una serie di processi.
Caratteristiche e vantaggi:
- Costi di gestione contenuti:
Il sistema ReGIS prolunga la durata della pompa di oltre 300 giorni
Flusso NF3 ottimizzato tramite studi FTIR per ridurre al minimo il CoO.
Efficienza di reazione aumentata del 100% grazie al nuovo design della camera di reazione.
- Ottimizzazione della continuità operativa degli utensili:
Operatività continua online.
Tempi di fermo dell'utensile ridotti grazie ai frequenti cambi pompa.
- Sistema totalmente chiuso con porta di estrazione armadio inclusa.
- Controllo tramite PLC:
Controllo del segnale utensile ReGIS con capacità di accensione al plasma.
Maggiore sicurezza.
Sistema di monitoraggio completo.
- Consente la stabilità del processo:
Nessuna perdita di prestazioni.
Nessuna variazione nella conduttanza.
Edwards ReGIS